JP2019003120A - 光走査装置及び光走査装置における反射部の角度検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、角度検出用の副光源を用いて、反射部に光を入射させて、その反射光をイメージセンサーで検知することにより、反射部の角度を検出することができる(特許文献1)。
しかしながら、この技術では、複雑な光路設計が必要であり、かつ副光源やイメージセンサーを必要とすること等、光走査装置のコストが高くなるという問題があった。
(1) 揺動可能な反射部と、
前記反射部に設けられ、前記反射部と連動する遮断部と、
検知対象を出力する出力部と、前記検知対象を検知する検知部と、を有するセンサ部と、を備え、
前記遮断部は、前記反射部が所定の揺動角度にあるとき、前記出力部と前記検知部との間の前記検知対象の進路を遮断する、光走査装置。
本発明の光走査装置は、揺動可能な反射部を有する光走査装置に関するものである。
本発明において、「反射部」とは、光を反射できる部材をいう。反射部としては、例えば、基体上にアルミニウム薄膜、銀薄膜等の金属薄膜を設けたもの、透明な基体の裏側に金属薄膜を設けた鏡、表面を鏡面加工した金属板等を用いることができる。反射部の形状は、平板状であっても、多面体形状であっても、曲面形状であってもよい。
また、本発明の光走査装置は、光を走査することにより、画像を形成する装置に用いることができ、例えば、プロジェクターや、ディスプレイ、レーザープリンター等にも使用することができる。
<第1の実施形態>
図1は、本発明の光走査装置の第1の実施形態を模式的に示す斜視図である。図1に示されるように、光走査装置1は、回転軸2を中心に+の方向と−の方向に周期的に揺動する反射部3を有している。反射部3には、回転軸2上の点に対して等距離な弧を有する遮断部4が設けられており、反射部3の揺動と連動して遮断部4も揺動する。そして、遮断部4の揺動経路には、遮断部4の位置を検知する光検知部5を有するセンサ部6が設置されており、反射部3の角度が揺動検知角度の範囲であるときに、光検知部5に入射する光が遮断部4で遮断されるようになっている。
これにより、図3に示されるように、反射部3の揺動角が0°であるときには、遮断部4が、センサ部6の検知部に入射する光を遮断した状態になっている。反射部3が、回転軸2を中心に回転することにより、反射部の揺動角が徐々に大きくなる。そして、揺動角が+40°になったときに、遮断部4が、センサ部6の照射部と光検知部から離れて、センサ6の光検知部に光が入射する。これにより、反射部3の揺動角が+40°に達したことを検出することができる。
遮断部は平板状の遮断板とすることが好ましく、遮断板を反射部に取り付ける場合には、遮断板を反射部が有する平面に対して交差するように取り付けることもでき、また、遮断板を反射部が有する平面に対して平行となるように取り付けることもできる。
すなわち、本発明の光走査装置においては、センサ部の位置を、遮断部の揺動軌跡に沿って、移動可能に配置することにより、検知部が遮断部を検知するときの反射部の角度を変更することができる。
揺動検知角度を+側と−側で異なるように設定することで、検出信号のパルス幅も+側と−側で異ならせることができる。このパルス幅検出により、たとえば、制御回路に揺動方向の特定が容易となる。
図6は、センサ部6の照射部からの光を、+側,−側の何れか一方(本実施形態では、−側)でマスクした実施形態を示す図である。
図6は、反射部が揺動する様子を模式的に示す図である。図6では遮断部4は、扇形をなす遮光部の一方の弦に相当する部位はエッジとして形成されている。
一方の弦に相当する部位は反射部3の表面上に位置しており(扇形は反射部3の表面上で閉じており)、照射部からの光は−側でマスクされる。
図7(A)は、揺動角の経時変化を示すグラフであり、図7(B)は、検知信号を示すグラフである。図7(A),(B)からわかるように、検出信号のパルスは+側に表われ、−側には表われない。
本実施形態では、検出信号のパルスは+側にしか表われないので、揺動の周期(T)はこのパルスの間隔を計測することにより検出することができる。
本発明の光走査装置においては、センサ部の数を増やすことにより、検出できる角度を増加させることができる。図8に、複数のセンサ部を設けた第3の実施形態の光走査装置を模式的に示す。図8は、光走査装置を回転軸2の方向から見た図である。
以上のように、図8に示されるように、複数の検知器を設けた第3の実施形態によれば、−45°、−30°、+15°及び+30°の4つの角度の検出を行うことができる。
本発明の光走査装置においては、遮断部の数を増やすことにより、検出できる角度の数を増加させることができる。
図9に、複数の遮断部を設けた第4の実施形態の光走査装置を模式的に示す。図9は、光走査装置を回転軸2の方向から見た図である。図9に示されるように、第4の実施形態の光走査装置は、第1の遮断部401と第2の遮断部402とを有している。第1の遮断部401は、−30°〜+30°の角度範囲において、センサ部6によって検知される。そして、第2の402は、−50°よりも−側に揺動した場合に、センサ部6によって検知される。これにより、第4の実施形態の光走査装置は、−50°、−30°及び+30°の3つの角度を検出することができる。
本発明の光走査装置においては、センサ部の数を複数とするとともに、遮断部の数も複数とし、検出角度の自由度を高めることができる。図10に、複数のセンサ部と複数の遮断部を設けた第5の実施形態の光走査装置を斜視図により模式的に示す。
以上のように、図10に示された第5の実施形態の光走査装置は、反射部3の+方向及び−方向の任意の揺動角度を検出することができる。
ここで、「反射部の両側」とは、反射部の回転軸上の2カ所であり、支持部は当該2カ所において軸部を回転可能に支持している。また、「軸部を回転可能に支持する」とは、軸部が順方向から逆方向に回り、そして、逆方向から順方向に回ることによる揺動が可能となるように支持することを意味し、連続して一方向に回ることを意味しない。
ここで、軸部と支持部とは、それぞれ軸と軸受(すべり軸受)とする構成としてもよく、また、軸部と支持部を連結して捻れ運動により揺動する構成としてもよい。軸部と支持部を連結して捻れ運動させる構成とする場合には、軸と軸受けを有する複雑な機構とすることなく、反射部を揺動させることができるので、光走査装置を小型化するために好ましい。
図11に一部に切り欠きを有する円弧状の遮断板を設けた第6の実施形態の光走査装置を模式的に示す。図11は、光走査装置を回転軸2の方向から見た図である。図11に示されるように、半円状の遮断板4において、−50°から+50°の範囲に切り欠きが設けられている。反射板が、−50°から+50°の範囲を揺動している間、センサ部6の照射部と光検知部との間を遮断板が遮断しないため、センサ部6は、遮断板を検知しないことになる。一方で、反射部3が+の角度方向に50°以上又は−の角度方向に50°以上に揺動したときに、センサ部6の光検知部に入射する光が遮断板4によって遮断されるようになり、センサ部6が反射部の揺動角度を検知することができる。
図12に、歯車形状の遮断部を設けた第7の実施形態の光走査装置を模式的に示す。図12(A)は、第7の実施形態の光走査装置を回転軸2の方向から見た図である。図12(B)は、反射部の揺動角の経時変化をグラフで示したものであり、縦軸は揺動角を示し、横軸は時間を示す。図12(C)は、センサ部によって検知される信号(検知信号)をグラフで示したものであり、縦軸は検知信号の強度を示し、横軸は時間を示す。
図13に、遮断部に反射面の分割機能を持たせた第8の実施形態を斜視図により模式的に示す。図13に示されるように、反射部3には、半円状の遮断部4が設けられており、これにより反射部3の反射面は、光の照射を行うための照射面8と反射光を受光する受光面9に分割されており、意図しない表面拡散反射による反射光の混入が防がれている。
本発明の光走査装置においては、遮断部を平板状の遮断板とし、反射部を揺動させる軸部の軸方向に対して遮断板を略平行に設けることもできる。
図14は、遮断板を回転軸の軸方向に対して平行に設けた第9の実施形態を斜視図により模式的に示す。図14に示されるように、反射部3には、幅の短い遮断板4が回転軸2と平行に設けられている。遮断板4は、反射部3の回転とともに、回転軸2の周りを円周方向に移動し、センサ部6の光検知部5の前を通過するようになっている。遮断板4がセンサ部6内の照射部と光検知部5との間を通過することにより、光検知部5に入射される光が遮断されて、反射部3の揺動角度を検出できる。
本発明の反射部の角度検出方法は、揺動する反射部に連動して遮断部を揺動させ、センサ部により遮断部が所定の揺動角にあることを検知することで、反射部の揺動角度を検出する角度検出方法であり、センサ部は、検知対象を出力する出力部と検知対象を検知する検知部との間の検知対象の進路が、遮断部により遮断されたか否かを検知することで、反射部の揺動角度を検出する方法を提供する。
図16(A)は、反射部が揺動する様子を模式的に示す図面である。図16(B)は、図16(A)のように揺動する反射部の揺動角の経時変化をグラフで示したものであり、縦軸は揺動角を示し、横軸は時間を示す。図16(C)は、センサ部によって検知される信号(検知信号)を示すグラフであり、縦軸は検知信号の強度を示し、横軸は時間を示す。
反射部3及びそれに取り付けられた遮断部4は、図16(A)に示されるように揺動し、揺動角の時間変化のグラフは、図16(B)に示されるような正弦波となる。図16(B)の正弦波の上下の幅(90°)が、反射部の振れ角の大きさを示しているが、次に説明するように、反射部の振れ角の大きさは、検知信号を計測することにより算出することができる。
そして、図16(A)に示されるように、遮断部4が−の方向に揺動を始めると、センサ部6は遮断部4によって遮断され、揺動角が−20°となるまで遮断された状態が継続する。そして、揺動角が−20°よりも−側に大きくなり、折り返して再び−20°に戻るまで、遮断が解除された状態が継続する。このため、図16(C)に示されるように、検知信号がdの時間にわたり検出される。
揺動の周期は、対応する検知信号の間隔(T)として計測することができる。
上記式中、三角関数の計算等、制御部の負担が大きい場合は、適宜、近似式を用いることができる。
本発明の角度検出方法において、遮断部として、反射部の回転軸上の点に対して等距離な弧を複数有する歯車形状の遮断板を使用した場合には、
反射部を回転軸を中心に周期的に揺動させて、
検知部に入射する検知対象が遮断部で遮断されることにより検知部により検知対象が検知されないオフ状態と、遮断が解除されることにより検知部により検知対象が検知されるオン状態とを含むパルスとして、検知対象をセンサ部により検知し、
パルスの幅に基づき、反射部の揺動角度を検出することができる。
2 回転軸
3 反射部
4,401,402 遮断部,遮断板
5 検知部,光検知部
6,601,602 センサ部
7 出力部,照射部
8 照射面
9 受光面
1001,1002 切り欠き
Claims (14)
- 搖動可能な反射部と、
前記反射部に設けられ、前記反射部と連動する遮断部と、
検知対象を出力する出力部と、前記検知対象を検知する検知部と、を有するセンサ部と、を備え、
前記遮断部は、前記反射部が所定の揺動角度にあるとき、前記出力部と前記検知部との間の前記検知対象の進路を遮断する、
光走査装置。 - 前記検知対象は光であり、
前記出力部は、前記光を照射する照射部であり、
前記検知部は、前記照射部から照射された前記光を検知する光検知部である、請求項1に記載の光走査装置。 - 前記センサ部は、前記遮断部の搖動軌跡に沿って、移動可能に配置される、請求項1又は2に記載の光走査装置。
- 前記反射部の両側に設けられる軸部と、
前記軸部を回転可能に支持する支持部と、を備え、
前記軸部が回転することにより、前記反射部が搖動する、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記遮断部は、前記軸部と同軸となる前記反射部の回転軸上の点から等距離な弧を少なくとも一部に有する、請求項4に記載の光走査装置。
- 前記遮断部は、平板状であり、前記反射部を揺動させる前記軸部の軸方向と略平行に配置される、請求項4又は請求項5に記載の光走査装置。
- 前記遮断部は、前記反射部に複数設けられ、前記反射部が第1の位置にあるとき、第1の遮断部が、前記センサ部の前記出力部と前記検知部の間に位置し、前記反射部が第2の位置にあるとき、第2の遮断部が、前記センサ部の出力部と前記検知部の間に位置する、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記センサ部は、前記遮断部の搖動軌跡に沿って、複数配置され、前記反射部が第1の位置にあるとき、前記遮断部は、第1のセンサ部の前記出力部と前記検知部の間に位置し、前記反射部が第2の位置にあるとき、前記遮断部は、第2のセンサ部の前記出力部と前記検知部との間に位置する、請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 走査光を生成する光源を更に備え、
前記反射部は、前記光源からの走査光を受光し第1領域に向けて反射する第1反射領域と、前記第1領域から反射されて戻された走査光を受光し第2領域に向けて反射する第2反射領域とを備える反射面を有し、
前記遮断部は、前記第1反射領域と前記第2反射領域との間に配置される、請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記遮断部が、前記反射部の反射面又は前記反射面に対する裏面にて、前記反射部と一体に形成される、請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記反射部と前記遮断部とを連結する連結部を更に備える、請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記反射部に対する揺動周期、
前記遮断部の形状、及び
前記センサが検出する遮断部の検知情報、
に基づき、前記反射部の振れ角及び振れ角中心ずれを特定する制御部を更に備える、
請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記制御部は、次式に基づき前記振れ角及び前記振れ角中心ずれを特定する、
請求項12に記載の光走査装置。
- 搖動する反射部に連動して遮断部を揺動させ、
センサ部により前記遮断部が所定の揺動角にあることを検知することで、前記反射部の揺動角度を検出する角度検出方法であって、
前記センサ部は、検知対象を出力する出力部と前記検知対象を検知する検知部との間の前記検知対象の進路が、前記遮断部により遮断されたか否かを検知することで前記揺動角度を検出する、ことを特徴とする角度検出方法。
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US15/995,140 US10884239B2 (en) | 2017-06-19 | 2018-06-01 | Optical scanning device and method of detecting angle of reflection unit in optical scanning device |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020187292A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | 船井電機株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP2021096310A (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 船井電機株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP7472629B2 (ja) | 2020-04-28 | 2024-04-23 | 船井電機株式会社 | 投光装置および移動体用投光装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7066987B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2022-05-16 | 船井電機株式会社 | 光走査装置及び光走査装置における反射部の角度検出方法 |
CN110369370B (zh) * | 2019-07-21 | 2020-12-11 | 江苏瑞星减速机有限公司 | 一种齿轮轮齿间隙清洗装置 |
CN112444965A (zh) * | 2019-09-04 | 2021-03-05 | 成都理想境界科技有限公司 | 一种光纤扫描装置、扫描检测方法及扫描显示设备 |
CN112558291B (zh) * | 2019-09-26 | 2024-03-05 | 成都理想境界科技有限公司 | 一种光纤扫描装置、扫描检测方法及扫描显示设备 |
CN111208642B (zh) * | 2020-01-09 | 2022-03-29 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种集成线性角度传感器的微镜 |
KR20210090501A (ko) | 2020-01-10 | 2021-07-20 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 배기 덕트 및 이를 이용하는 배기 덕트 어셈블리와 비행체 |
CN111538101A (zh) * | 2020-04-18 | 2020-08-14 | 桂林优利特医疗电子有限公司 | 一种试管检测装置 |
CN113232613A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-08-10 | 江铃汽车股份有限公司 | 用于检测车辆非标准轮毂运行安全性的系统及控制方法 |
CN116518884B (zh) * | 2023-06-26 | 2023-11-24 | 合肥联宝信息技术有限公司 | 一种光学检测治具以及光学检测系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260812A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 送風機 |
JP2001174256A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傾斜角センサ |
JP2003130622A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Tokai Rika Co Ltd | 回転角度検出装置 |
JP2009232547A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | モータの原点位置検出装置、調光装置、プロジェクタ、およびモータの原点位置検出方法 |
US20110101209A1 (en) * | 2007-01-23 | 2011-05-05 | Benner Jr William R | Rotary position detector and associated methods |
JP2014029558A (ja) * | 2013-10-16 | 2014-02-13 | Canon Inc | ガルバノ装置及びレーザ加工装置 |
JP2017106833A (ja) * | 2015-12-10 | 2017-06-15 | 船井電機株式会社 | 測定装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2356579A (en) * | 1944-08-22 | Zero return for galvanometers | ||
JPS58155972A (ja) | 1982-03-11 | 1983-09-16 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | レ−ザ−感熱プリンタ−における走査ミラ−の角度位置検出機構 |
JP2851927B2 (ja) * | 1990-06-26 | 1999-01-27 | 株式会社トーメー | 光学系の屈折力測定装置 |
JP4008262B2 (ja) * | 2002-02-28 | 2007-11-14 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
JP2006346125A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
JP2008023211A (ja) | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
US20100076316A1 (en) * | 2006-07-25 | 2010-03-25 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Ultrasonic probe |
US8508726B2 (en) * | 2007-01-23 | 2013-08-13 | William R. Benner, Jr. | Rotary position detector and associated methods |
US7992786B2 (en) * | 2007-08-22 | 2011-08-09 | Olympus Corporation | Bar code reader |
CN103348218B (zh) * | 2011-02-21 | 2015-08-05 | 三菱电机株式会社 | 光学式编码器 |
US9307125B2 (en) * | 2012-10-11 | 2016-04-05 | Sony Corporation | Position detection device, lens barrel, and imaging apparatus |
TW201925824A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-07-01 | 原相科技股份有限公司 | 用於可旋轉裝置定位之光學機構 |
DE102013208649A1 (de) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Scanlab Ag | Optischer Winkeldetektor mit Strahlformungselement |
JP6401542B2 (ja) * | 2014-08-07 | 2018-10-10 | 株式会社トプコン | アブソリュートエンコーダ、測量装置 |
KR102250049B1 (ko) * | 2014-10-08 | 2021-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광빔 떨림 광학 모듈 |
TWI633282B (zh) * | 2016-04-15 | 2018-08-21 | 曾信得 | 正向對焦掃描式導光編碼器 |
JP6404970B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2018-10-17 | ファナック株式会社 | ロータリエンコーダ |
JP7066987B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2022-05-16 | 船井電機株式会社 | 光走査装置及び光走査装置における反射部の角度検出方法 |
JP6959835B2 (ja) * | 2017-11-06 | 2021-11-05 | 株式会社東海理化電機製作所 | 回転検出装置 |
-
2017
- 2017-06-19 JP JP2017119255A patent/JP7066987B2/ja active Active
-
2018
- 2018-05-17 CN CN201810472991.1A patent/CN109143573B/zh active Active
- 2018-05-24 EP EP18174042.4A patent/EP3418057B1/en active Active
- 2018-05-24 EP EP21154468.9A patent/EP3845388B1/en active Active
- 2018-06-01 US US15/995,140 patent/US10884239B2/en active Active
-
2020
- 2020-11-24 US US17/102,449 patent/US11327298B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260812A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 送風機 |
JP2001174256A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傾斜角センサ |
JP2003130622A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Tokai Rika Co Ltd | 回転角度検出装置 |
US20110101209A1 (en) * | 2007-01-23 | 2011-05-05 | Benner Jr William R | Rotary position detector and associated methods |
JP2009232547A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | モータの原点位置検出装置、調光装置、プロジェクタ、およびモータの原点位置検出方法 |
JP2014029558A (ja) * | 2013-10-16 | 2014-02-13 | Canon Inc | ガルバノ装置及びレーザ加工装置 |
JP2017106833A (ja) * | 2015-12-10 | 2017-06-15 | 船井電機株式会社 | 測定装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020187292A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | 船井電機株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP7281638B2 (ja) | 2019-05-16 | 2023-05-26 | 船井電機・ホールディングス株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP2021096310A (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 船井電機株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP7338442B2 (ja) | 2019-12-16 | 2023-09-05 | 船井電機株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
JP7472629B2 (ja) | 2020-04-28 | 2024-04-23 | 船井電機株式会社 | 投光装置および移動体用投光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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