JP2018535170A - 黒鉛状炭素シートを作製する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシハフニウム(5.289g、Gelest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(10.0g)を、還流冷却器、機械的撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコに添加した。撹拌しながら、液脱イオン水(0.1219g)及び乳酸エチル(5.1384g)の溶液を次いでフラスコに液滴で供給した。フラスコの内容物を次いで還流温度まで加熱し、還流温度で2時間の期間にわたって、継続的に撹拌しながら維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。オクタン酸(3.375g)及び2−ナフトエ酸(napthoic acid)(2.682g)の乳酸エチル(8.047g)中溶液を次いで、フラスコに撹拌しながら滴加した。フラスコの内容物を次いで60℃の温度まで加熱し及びその温度で2時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法によって、コーティング組成物は、17.5重量%固体を含有することが決定された(下記に記載される重量減少法によって決定)。コーティング組成物の一部分(6.1033g)を乳酸エチル(6.1067g)で希釈して、8.75重量%固体を含有する生成物コーティング組成物を得た。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
およそ0.1gの生成物コーティング組成物をアルミニウムパン中に秤量した。生成物コーティング組成物を形成するために使用したおよそ0.5gの液体キャリア(すなわち、乳酸エチル)をアルミニウムパンに添加して、試験溶液がアルミニウムパンをより均一に覆うようにそれを希釈した。アルミニウムパンを次いで熱オーバー(over)中、およそ110℃で15分間加熱した。アルミニウムパンが室温まで冷却した後、アルミニウムパン及び残留する乾燥固体の重量を決定し、固形分パーセンテージを算出した。
実施例1及び2の各々により調製したコーティング組成物を、0.2μm PTFEシリンジフィルターに通して4回濾過してから、別個のベアシリコンウエハ上に1,500rpmでスピンコーティングし、次いで100℃で60秒間バッキングした。コーティング済み酸化ケイ素ウエハを次いで、1.5インチ×1.5インチウエハ試験片へと切り裂いた。試験片を次いでアニーリング真空オーブン中に配置した。ウエハ試験片を次いで、フォーミングガス(N2中5体積%H2)の減圧下、900℃で20分間、次の温度傾斜プロファイルを用いてアニールした。
ランプアップ:176分間にわたって室温から900℃まで
ソーク:900℃で20分間維持
ランプダウン:176分間よりも若干長くにわたって900℃から室温まで。
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシジルコニウム(230.2mg、Gellest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(2.48mL)を、機械的撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコの中に添加した。フラスコの内容物を次いで60℃まで加熱し、その温度で維持した。撹拌しながら、オクタン酸(43.3mg)及び安息香酸(33.6mg)の混合物を次いでフラスコに添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコ内容物を60℃に維持している間、脱イオン水(7.2μL)を次いでフラスコに撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。オクタン酸(183mg)及び安息香酸(97mg)の乳酸エチル(0.67mL)中溶液を次いで、フラスコの内容物に激しく撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法(実施例1に上述される)によって、コーティング組成物は、15重量%固体を含有することが決定された。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシジルコニウム(230mg、Gellest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(2.48mL)を、磁気撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコ中に添加した。フラスコの内容物を次いで60℃まで加熱し、その温度で維持した。撹拌しながら、オクタン酸(43.3mg)及びアントラセン−9−カルボン酸(66.7mg)の混合物を次いでフラスコに添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコ内容物を60℃に維持している間、脱イオン水(7.2μL)を次いでフラスコに撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。オクタン酸(182.7mg)及びアントラセン−9−カルボン酸(192.8mg)の乳酸エチル(0.67mL)中溶液を次いで、フラスコの内容物に激しく撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法(実施例1に上述される)によって、コーティング組成物は、15重量%固体を含有することが決定された。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
比較例C1及び実施例3の各々により調製したコーティング組成物を、乳酸エチルで5重量%固体に希釈し、次いで0.2μm PTFEシリンジフィルターに通して4回濾過してから、1cm×1cmの別個のベア酸化ケイ素ウエハ試験片上に2,000rpmでスピンコーティングし、次いで100℃で60秒間バッキングした。試験片を次いでアニーリング真空オーブン中に配置した。ウエハ試験片を次いで、フォーミングガス(N2中5体積%H2)の減圧下、900℃で20分間、次の温度傾斜プロファイルを用いてアニールした。
ランプアップ:176分間にわたって室温から900℃まで
ソーク:900℃で20分間維持
ランプダウン:176分間よりも若干長くにわたって900℃から室温まで。
成膜された多層構造の電気伝導率を測定するために、実施例3によるコーティング組成物を使用して得られたコーティング済みウエハ試験片を、4探針法抵抗率測定ツールを使用して評価した。成膜された黒鉛状炭素層についての炭素対酸素(C/O)モル比もまた、表面XPS分析を用いて決定した。これらの測定の結果が表1に提供される。
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシジルコニウム(0.2880g、Gellest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(2.48mL)を、磁気撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコ中に添加した。フラスコの内容物を次いで60℃まで加熱し、その温度で維持した。撹拌しながら、オクタン酸(0.0260g)及び2−ナフトエ酸(napthoic acid)(0.0310g)の混合物を次いでフラスコに添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコ内容物を60℃に維持している間、脱イオン水(7.2μL)を次いでフラスコに撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら1時間の期間にわたって維持した。オクタン酸(0.0577g)及び2−ナフトエ酸(0.0344g)の乳酸エチル(0.672mL)中溶液を次いで、フラスコの内容物に激しく撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら1時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法(実施例1に上述される)によって、コーティング組成物は、15重量%固体を含有することが決定された。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
比較例C1及び実施例2の各々により調製したコーティング組成物を、乳酸エチルで5重量%固体に希釈し、次いで0.2μm PTFEシリンジフィルターに通して4回濾過してから、1cm×1cmの別個のベア酸化ケイ素ウエハ試験片上に2,000rpmでスピンコーティングし、次いで100℃で60秒間バッキングした。試験片を次いでアニーリング真空オーブン中に配置した。ウエハ試験片を次いで、フォーミングガス(N2中5体積%H2)の減圧下、900℃で20分間、次の温度傾斜プロファイルを用いてアニールした。
ランプアップ:176分間にわたって室温から900℃まで
ソーク:900℃で20分間維持
ランプダウン:176分間よりも若干長くにわたって900℃から室温まで。
成膜された多層構造の電気伝導率を測定するために、実施例2によるコーティング組成物を使用して得られたコーティング済みウエハ試験片を、4探針法抵抗率測定ツールを使用して評価した。成膜された黒鉛状炭素層についての炭素対酸素(C/O)モル比もまた、表面XPS分析を用いて決定した。これらの測定の結果が表1に提供される。
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシジルコニウム(0.2880g、Gellest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(2.48mL)を、機械的撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコ中に添加した。フラスコの内容物を次いで60℃まで加熱し、その温度で維持した。撹拌しながら、オクタン酸(0.0260g)及び2−ナフトエ酸(napthoic acid)(0.0310g)の混合物を次いでフラスコに添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコ内容物を60℃に維持している間、脱イオン水(7.2μL)を次いでフラスコに撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら1時間の期間にわたって維持した。オクタン酸(0.0577g)及び2−ナフトエ酸(0.0344g)の乳酸エチル(0.672mL)中溶液を次いで、フラスコの内容物に激しく撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら1時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法(実施例1に上述される)によって、コーティング組成物は、15重量%固体を含有することが決定された。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
実施例3により調製したコーティング組成物を、乳酸エチルで5重量%固体に希釈し、次いで0.2μm TFPEシリンジフィルターに通して4回濾過してから、ベア酸化シリコンウエハ上に800rpmで9秒間、続いて2,000rpmで30秒間スピンコーティングし、次いで100℃で60秒間バッキングした。コーティング済みシリコンウエハを次いで、1.5インチ×1.5インチウエハ試験片へと切り裂いた。試験片を次いでアニーリング真空オーブン中に配置した。ウエハ試験片を次いで、フォーミングガス(N2中5体積%H2)の減圧下、1,000℃で20分間、次の温度傾斜プロファイルを用いてアニールした。
ランプアップ:176分間にわたって室温から1,000℃まで
ソーク:1,000℃で20分間維持
ランプダウン:176分間よりも若干長くにわたって1,000℃から室温まで。
成膜された多層構造の電気伝導率を測定するために、実施例3によるコーティング組成物を使用して得られたコーティング済みウエハ試験片を、4探針法抵抗率測定ツールを使用して評価した。成膜された黒鉛状炭素層についての炭素対酸素(C/O)比もまた、表面XPS分析を用いて決定した。これらの測定の結果が表1に提供される。
液体キャリア中に金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料を含むコーティング組成物を次のように調製した。テトラブトキシジルコニウム(288mg、Gellest,Inc.から入手可能)及び乳酸エチル(2.38mL)を、磁気撹拌子及び添加漏斗を装着したフラスコ中に添加した。フラスコの内容物を次いで60℃まで加熱し、その温度で維持した。撹拌しながら、オクタン酸(43.3mg)及び1−ピレンカルボン酸(37.0mg)の混合物を次いでフラスコに添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコ内容物を60℃に維持している間、脱イオン水(7.2μL)を次いでフラスコに撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。オクタン酸(83.6mg)及び1−ピレンカルボン酸(22.1mg)の乳酸エチル(0.68mL)中溶液を次いで、フラスコの内容物に激しく撹拌しながら添加した。フラスコの内容物を次いで、60℃で撹拌しながら2時間の期間にわたって維持した。フラスコの内容物を次いで室温まで冷却させた。重量減少法(実施例1に上述される)によって、コーティング組成物は、15重量%固体を含有することが決定された。付加された配位子に基づいて、生成物コーティング組成物に含有された金属酸化物/黒鉛状炭素前駆体材料は、次の式の通りであり、
実施例4により調製したコーティング組成物を0.2μm TFPEシリンジフィルターに通して4回濾過した。コーティング組成物を次いで、3つの別個のスピニング溶液中に分割し、このうちの2つを乳酸エチルで希釈して、異なる固体濃度(すなわち、5重量%、10重量%及び15重量%)を得てから、1cm×1cmの別個のベア酸化ケイ素ウエハ試験片上に2,000rpmでスピンコーティングし、次いで100℃で60秒間バッキングした。試験片を次いでアニーリング真空オーブン中に配置した。ウエハ試験片を次いで、フォーミングガス(N2中5体積%H2)の減圧下、1,000℃で20分間、次の温度傾斜プロファイルを用いてアニールした。
ランプアップ:176分間にわたって室温から1,000℃まで
ソーク:1,000℃で20分間維持
ランプダウン:176分間よりも若干長くにわたって1,000℃から室温まで。
成膜された多層構造の電気伝導率を測定するために、実施例4による異なる濃度のコーティング組成物を使用して得られたコーティング済みウエハ試験片を、4探針法抵抗率測定ツールを使用して評価した。成膜された多層膜構造の厚みもまた測定した。これらの測定の結果が表2に提供される。
実施例4による5重量%固体コーティング組成物を使用して調製したコーティング済みウエハ試験片をフッ化水素酸に浸漬した。フッ化水素酸に浸漬した後すぐに、黒鉛状炭素層を多層成膜された膜構造から引き上げ、単離した。自立黒鉛状炭素膜は、透明かつ可撓性であった。引き上げられた黒鉛状炭素膜の透過型電子顕微鏡写真が、図4に提供される。
Claims (10)
- 自立黒鉛状炭素シートを作製する方法であって、
基板を用意することと、
液体キャリア、及び式(I)を有するMX/黒鉛状炭素前駆体材料を含み、
前記コーティング組成物を前記基板上に配設して、複合材料を形成することと、
任意選択で、前記複合材料を焼成することと、
前記複合材料をフォーミングガス雰囲気下でアニールすることであって、それによって、前記複合材料が、前記基板上に配設されたMX層及び黒鉛状炭素層に変換されて、多層構造を提供し、前記MX層が、前記多層構造において前記基板及び前記黒鉛状炭素層との間に挿入される、アニールすることと、
前記多層構造を酸に曝露することと、
前記黒鉛状炭素層を前記自立黒鉛状炭素シートとして回収することと、を含む、方法。 - zは、0であり、nは、1〜5であり、各Xは、Oである、請求項1に記載の方法。
- Mは、Zrである、請求項2に記載の方法。
- 前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の30〜75mol%は、−C(O)−C10−60多環式芳香族基である、請求項2に記載の方法。
- 前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の少なくとも10mol%は、−C(O)−C22−60多環式芳香族基である、請求項2に記載の方法。
- 多環式芳香族添加剤を用意することと、前記多環式芳香族添加剤を前記コーティング組成物に組み込むこととをさらに含み、
前記多環式芳香族添加剤は、少なくとも1つの官能性部分が結合したC10−60多環式芳香族化合物からなる群から選択され、前記少なくとも1つの官能性部分は、ヒドロキシル基(−OH)、カルボキシラート基(−C(O)OH)、−OR3基及び−C(O)R3基からなる群から選択され、R3は、−C1−20直鎖または分岐鎖、置換または非置換アルキル基である、請求項2に記載の方法。 - nは、2〜4であり、前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の少なくとも30〜75mol%は、−C(O)−C10−60多環式芳香族基である、請求項3に記載の方法。
- nは、2〜4であり、前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の30mol%は、ブチル基であり、前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の55mol%は、−C(O)−C7アルキル基であり、前記MX/黒鉛状炭素前駆体材料中の前記R2基の15mol%は、−C(O)−C17多環式芳香族基である、請求項3に記載の方法。
- 多環式芳香族添加剤を用意することと、前記多環式芳香族添加剤を前記コーティング組成物に組み込むこととをさらに含み、
前記多環式芳香族添加剤は、少なくとも1つの官能性部分が結合したC10−60多環式芳香族化合物からなる群から選択され、前記少なくとも1つの官能性部分は、ヒドロキシル基(−OH)、カルボキシラート基(−C(O)OH)、−OR3基、及び−C(O)R3基からなる群から選択され、R3は、−C1−20直鎖または分岐鎖、置換または非置換アルキル基である、請求項3に記載の方法。 - 前記自立黒鉛状炭素シートは、自立酸化グラフェンシートである、請求項1に記載の方法。
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