JP2010537923A - グラファイト層 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
基板を準備する工程と、
基板の表面を必要に応じて改質する工程と、
低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物の単層を基板の表面に、アンカー基を介した共有結合又は物理吸着を用いて適用する工程と、
基板の表面に共有結合により又は物理吸着により結合される、低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物から構成される単層が、(高エネルギー放射を用いて処理される領域において)側方方向に共有結合的に架橋されるように、得られた基板を、少なくとも一部の領域において高エネルギー放射を用いて処理する工程と、
上記の基板から別の、好ましくは熱的に安定な基板に、側方架橋された単層を必要に応じて移動させる工程と、
低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物から構成される単層を少なくとも一部の領域において高エネルギー放射を用いて処理することによって作製される側方架橋された単層を、真空又は不活性気体下で800Kを超える温度まで加熱する工程とを含む。
100nm厚で蒸着した金層を有するシリコンウエハを4−ビフェニルチオールの1mmolエタノール溶液に1時間入れることにより、金上の4−ビフェニルチオールの単層を作製する。続いて、ウエハを取り出し、エタノール(p.a.)で数回すすいで、窒素流で乾燥させる。層を架橋するために、単層を有するウエハに真空チャンバ内で(p=10−5mbar〜10−9mbar)、電子エネルギー100eV及び照射量40000μC/cm2を有する「Leybold flood gun」(model 869000)を用いて照射する。層を、真空チャンバから取り出した後、その利用用途に直ちに使用するか又はさらに化学的官能化させることができる。
ステンレス鋼の表面を従来の有機洗浄液で数回洗浄して、脱イオン水で数回すすいだ後、テルフェニルホスホン酸のジメチルホルムアミド溶液(1mmol)で洗浄した表面を処理することによって、テルフェニル−4−ホスホン酸の単層を調製する。12時間後に、単層が形成され、各々毎に鋼基板を純粋なジメチルホルムアミド及び脱イオン水ですすぐ。続いて、実施例1のように単層を照射し架橋する。ここで、電子エネルギーを200eVまで増大させることができる。30000μC/cm2の照射量は、完璧な架橋に十分なものである。
500μm径のシリコンギアを、30%過酸化水素3部と濃硫酸1部との混合物中に1分間入れる。続いて、これを脱イオン水ですすぎ、4−トリクロロシリルビフェニルのテトラヒドロフラン溶液(1mmol)に入れる。2時間後、ギアを取り出し、テトラヒドロフランですすぎ、窒素流で乾燥させ、実施例1と同様の照射及び架橋手順にかける。安定で連続的に架橋された表面層が得られ、これは機械的な摩耗からギアを効果的に保護するものである。
実施例1と同様に、4,4’−ニトロビフェニルチオールの単層を金表面上に調製する。照射前に、層を金属シャドーマスクで被覆する。実施例1のように行った照射後、曝露スポットにおけるニトロ基はアミノ基へ変換し、層はそれらのスポットで架橋される。層の残りの領域(マスクで被覆される)は変化しないままである。照射により形成されるアミノ基は、例えば、テトラヒドロフラン又はアセトン等の有機溶媒溶液からのイソシアネート、酸塩化物又は酸無水物を用いたその後の処理によってアシル化することができる。
窒化シリコン上に作製される4’−[(3−トリメトキシシリル)プロポキシ]−[1,1’−ビフェニル]−4−カルボニトリルの側方架橋された単層を白金基板に移動させ、10−5mbarで1500Kまで加熱する。
金上に作製される4−ビフェニルチオールの側方架橋された単層を白金基板に移動させ、10−8mbarで1800Kまで加熱する。
金上に作製される4−ビフェニルチオールの側方架橋された単層をイリジウム基板に移動させ、10−6mbarで2000Kまで加熱する。
Claims (15)
- 側方方向に架橋される、低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物を有する少なくとも1つの単層を、真空又は不活性気体下で800Kを超える温度まで加熱する工程を含む、グラファイト層を製造する方法。
- 前記単層が、フェニル、ビフェニル、ターフェニル、ナフタレン及びアントラセンから成る群から選択される芳香族化合物、並びに/又はビピリジン、ターピリジン、チオフェン、ビチエニル、ターチエニル及びピロールから成る群から選択されるヘテロ芳香族化合物から構成される、請求項1に記載の方法。
- 前記低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物が、アンカー基を有する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記アンカー基が、カルボキシ基、チオ基、トリクロロシリル基、トリアルコキシシリル基、ホスホネート基、ヒドロキサム酸基及びリン酸基から成る群から選択される、請求項3に記載の方法。
- 前記アンカー基を、低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物から構成される前記側方架橋された単層と、1〜10のメチレン基長さを有するスペーサにより共有結合させる、請求項3又は4に記載の方法。
- 前記側方架橋された単層が、基板上に物理吸着若しくは化学吸着するか、又は自己保持的に存在する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板が一部の領域にくぼみを有する、請求項6に記載の方法。
- 前記基板が、金、銀、チタン、ジルコニウム、バナジウム、クロム、マンガン、タングステン、モリブデン、白金、アルミニウム、鉄、鋼、シリコン、ゲルマニウム、リン化インジウム、ガリウムヒ素、及びそれらの酸化物若しくは合金、又は混合物、並びにグラファイト、インジウムスズ酸化物(ITO)、及びケイ酸ガラス又はホウ酸ガラスから成る群から選択される、請求項6又は7に記載の方法。
- 低分子量芳香族化合物及び/又は低分子量ヘテロ芳香族化合物から構成される前記単層がその表面上に官能基を担持し、該基が、ハロゲン原子、カルボキシ基、トリフルオロメチル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、チオール基、ヒドロキシ基又はカルボニル基から選択される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記単層がビフェニル単位から構成され、前記アンカー基がチオール基から構成される、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記単層が0.3nm〜3nmの範囲内の層厚を有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 10−7mbar〜10−12mbarの圧力範囲の真空下で加熱を行う、請求項1〜11のいずれかに記載の方法。
- 不活性気体下で加熱を行う、請求項1〜11のいずれかに記載の方法。
- 1600Kを超える温度で前記側方架橋された単層の加熱を行う、請求項1〜13のいずれかに記載の方法。
- 請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法によって得ることができる、グラファイト層。
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