JP2018533736A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018533736A5
JP2018533736A5 JP2018524276A JP2018524276A JP2018533736A5 JP 2018533736 A5 JP2018533736 A5 JP 2018533736A5 JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018533736 A5 JP2018533736 A5 JP 2018533736A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inlet
pressure
gas inlet
vacuum pump
test gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018524276A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6883036B2 (ja
JP2018533736A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102015222213.6A external-priority patent/DE102015222213A1/de
Application filed filed Critical
Publication of JP2018533736A publication Critical patent/JP2018533736A/ja
Publication of JP2018533736A5 publication Critical patent/JP2018533736A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6883036B2 publication Critical patent/JP6883036B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2018524276A 2015-11-11 2016-11-10 試験ガス入口における圧力測定 Active JP6883036B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015222213.6A DE102015222213A1 (de) 2015-11-11 2015-11-11 Druckmessung am Prüfgaseinlass
DE102015222213.6 2015-11-11
PCT/EP2016/077242 WO2017081136A1 (de) 2015-11-11 2016-11-10 Druckmessung am prüfgaseinlass

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018533736A JP2018533736A (ja) 2018-11-15
JP2018533736A5 true JP2018533736A5 (enExample) 2019-12-12
JP6883036B2 JP6883036B2 (ja) 2021-06-02

Family

ID=57288406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018524276A Active JP6883036B2 (ja) 2015-11-11 2016-11-10 試験ガス入口における圧力測定

Country Status (8)

Country Link
US (2) US20180328809A1 (enExample)
EP (1) EP3374746B1 (enExample)
JP (1) JP6883036B2 (enExample)
KR (1) KR102684152B1 (enExample)
CN (1) CN108369151B (enExample)
DE (1) DE102015222213A1 (enExample)
TW (1) TWI718204B (enExample)
WO (1) WO2017081136A1 (enExample)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3069639B1 (fr) * 2017-07-26 2019-08-30 Pfeiffer Vacuum Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites
FR3070489B1 (fr) * 2017-08-29 2020-10-23 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
FR3072774B1 (fr) * 2017-10-19 2019-11-15 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester
CN110007013A (zh) * 2019-02-01 2019-07-12 中国石油天然气集团公司 一种输气管道气体组分实时分析系统及实时分析方法
CN111707423B (zh) * 2020-06-18 2022-04-15 苏州镓港半导体有限公司 真空系统测漏方法及用于真空系统的测漏装置
DE102020132896A1 (de) * 2020-12-10 2022-06-15 Inficon Gmbh Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe
GB2606392B (en) * 2021-05-07 2024-02-14 Edwards Ltd A fluid routing for a vacuum pumping system
DE102021119256A1 (de) 2021-07-26 2023-01-26 Inficon Gmbh Leckdetektoren
DE102022115562A1 (de) * 2022-06-22 2023-12-28 Inficon Gmbh Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung
GB2632683A (en) * 2023-08-17 2025-02-19 Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh Mass spectrometer comprising a vacuum system and a method of operation
WO2025057320A1 (ja) * 2023-09-13 2025-03-20 株式会社島津製作所 試料導入システム
CN118010261A (zh) * 2023-12-27 2024-05-10 北京中科科仪股份有限公司 一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0746074B2 (ja) * 1984-11-27 1995-05-17 日電アネルバ株式会社 真空計
EP0283543B1 (de) 1987-03-27 1991-12-11 Leybold Aktiengesellschaft Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu
DE4140366A1 (de) 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
DE4326264A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
DE19504278A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Leybold Ag Testgas-Lecksuchgerät
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur
DE19735250A1 (de) * 1997-08-14 1999-02-18 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher
DE10324596A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
CN100529705C (zh) * 2003-06-11 2009-08-19 瓦里安有限公司 用于大泄漏测试的方法和装置
JP4374241B2 (ja) * 2003-12-05 2009-12-02 アディクセン スカンディナビア エービー 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法
DE102006034735A1 (de) * 2006-07-27 2008-01-31 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7500381B2 (en) * 2006-08-31 2009-03-10 Varian, Inc. Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures
US8661875B2 (en) * 2012-05-07 2014-03-04 Caterpillar Inc. System and method to detect accumulator loss of precharge
CN103207050B (zh) * 2013-04-15 2015-06-03 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种可延长密封器件候检时间的质谱检漏预充氦法
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018533736A5 (enExample)
CN105556272B (zh) 具有多级隔膜泵的嗅探泄漏探测器
CN108369151B (zh) 测试气体入口处的压力测量
DK2936145T3 (en) Unit and method for testing a sample, in particular for the purpose of distinguishing gas in a sample
US9389152B2 (en) Exhaust gas sampling apparatus
RU2013142185A (ru) Способ эксплуатации двигателя
CN105004479B (zh) 基于标准压力测量的电离真空计和质谱计校准装置及方法
JP6389524B2 (ja) 嗅気型プローブ内の自己浄化型粒子フィルタ
ES2579911A1 (es) Dispositivo de medida de la concentración de gases en aire exhalado y procedimiento de medida empleado
KR102475663B1 (ko) 질량분광분석법에 의한 투과 측정 방법 및 디바이스
JP5419082B2 (ja) 標準混合ガスリーク用微小孔フィルターの校正方法及び校正装置
EP3182122A3 (en) Chemical impairment detection system with an integrated, multi-function breath chamber
US20160209294A1 (en) Tightness Test During the Evacuation of a Film Chamber
RU2017114154A (ru) Устройство и способ калибрования пленочной камеры для обнаружения утечек
JP2017528725A5 (enExample)
JP2018533741A (ja) 酸素を用いたリーク検知
CN104006929A (zh) 基于限压-分流法的大气环境下的质谱单点检漏系统及方法
EP2824432A3 (en) Housing for flow measurements
JP6027616B2 (ja) 特に内燃機関の排ガスである高温ガスにおけるエアロゾルの濃度の検出のための方法及び装置
CN103644111A (zh) 大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法
FR3086756B1 (fr) Banc d'essai de turbomachine
CN108351272B (zh) 在嗅探泄漏搜寻期间检测测试气体的波动
CN102288730A (zh) 雾滴含量测量的方法及其雾滴含量测量装置
JP2018534558A5 (enExample)
JP7150013B2 (ja) 漏洩個所から漏出する試験ガスを妨害ガスから区別する装置および方法