JP2018510120A - ガラス−担体組立体及びフレキシブルガラスシートを処理する方法 - Google Patents
ガラス−担体組立体及びフレキシブルガラスシートを処理する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018510120A JP2018510120A JP2017554249A JP2017554249A JP2018510120A JP 2018510120 A JP2018510120 A JP 2018510120A JP 2017554249 A JP2017554249 A JP 2017554249A JP 2017554249 A JP2017554249 A JP 2017554249A JP 2018510120 A JP2018510120 A JP 2018510120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass sheet
- flexible glass
- main surface
- carrier substrate
- outer edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
- B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/10—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
- B32B38/105—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically on edges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/04—Interconnection of layers
- B32B7/06—Interconnection of layers permitting easy separation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/09—Severing cooled glass by thermal shock
- C03B33/091—Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
- B32B2309/08—Dimensions, e.g. volume
- B32B2309/10—Dimensions, e.g. volume linear, e.g. length, distance, width
- B32B2309/105—Thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
フレキシブルガラスシートを処理する方法であって、
(I)第1の主面、及び該第1の主面に対向する第2の主面を有するフレキシブルガラスシートを用意するステップであって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、担体基板の第1の主面に対して接合され、前記フレキシブルガラスシートの外縁部分が、前記担体基板の外周部から突出し、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さが、約300μm以下である、ステップと、次に
(II)前記フレキシブルガラスシートの接合部分が、前記担体基板の第1の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離するステップであって、前記外縁部分を分離するステップによって、前記フレキシブルガラスシートに、前記分離経路に沿って延びる新しい外縁部がもたらされ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部と前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部との側方距離が、約750μm以下である、ステップと、
を備えた方法。
前記ステップ(I)が、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面を、前記担体基板の前記第1の主面に対して接合するステップを更に含み、前記ステップ(I)において接合される、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の前記第1の主面の表面領域より大きい表面領域を有する、実施形態1の記載の方法。
前記ステップ(I)における接合によって、前記担体基板の前記第1の主面が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分によって囲まれる、実施形態2に記載の方法。
前記ステップ(II)が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面の少なくとも一方の前記分離経路上に、少なくとも1つの傷を形成することを含む、実施形態1〜3のいずれかに記載の方法。
前記少なくとも1つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に複数の傷を含み、該複数の傷が、前記分離経路に沿って互いに離間配置されている、実施形態4に記載の方法。
前記複数の傷の各々の傷が、前記第1の主面から、前記フレキシブルガラスシートの厚さの20%以下の深さまで、前記第1の主面の下方に延びる、実施形態5に記載の方法。
前記複数の傷の隣接する傷と傷との間隔が、約15μm〜25μmの範囲である、実施形態5又は実施形態6に記載の方法。
前記ステップ(II)が、前記第1の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
(a)前記複数の傷のうちの少なくとも1つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
(b)前記完全な傷を、前記分離経路に沿って、前記複数の傷のうちの残りの傷を介して伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の第1の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態5〜7のいずれかに記載の方法。
前記少なくとも1つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの第2の主面に形成され、前記ステップ(II)が、前記第1の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
(a)前記複数の傷のうちの少なくとも1つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
(b)前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の第1の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態4に記載の方法。
前記ステップ(II)が、前記第1の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームに続いて、流体の冷却流を横断させることを更に含み、
(a)前記少なくとも1つの傷を、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
(b)前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の第1の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態4に記載の方法。
前記少なくとも1つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に形成されて成る、実施形態10に記載の方法。
前記少なくとも1つの傷が、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面にケガキ線を含み、前記ステップ(II)が、前記外縁部分に曲げ力を加えて、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離することを更に含む、実施形態4に記載の方法。
前記ステップ(II)の間、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分に対し、前記外縁部分が屈曲され、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に張力が加えられる、実施形態1〜3、5〜8、10、及び11のいずれかに記載の方法。
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約150MPa〜約200MPaの範囲のB10強度を有する、実施形態1〜13のいずれかに記載の方法。
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、側面に沿って、前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部を越えて延びる、実施形態1〜14のいずれかに記載の方法。
前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びる、実施形態1〜14のいずれかに記載の方法。
前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部が、側面に沿って、約250μm以下の距離だけ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びる、実施形態1〜14、及び16のいずれかに記載の方法。
前記ステップ(I)によって、前記担体基板の前記第1の主面の表面領域より大きい表面領域が、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面に与えられる、実施形態1〜17のいずれかに記載の方法。
前記ステップ(I)によって、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分が、前記担体基板の前記第1の主面を側面に沿って包囲する、実施形態18に記載の方法。
前記ステップ(II)の後に、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に、凹状湾曲を生じさせることによって、前記担体基板から、前記フレキシブルガラスシートの少なくとも一部を解放するステップ(III)を更に備えた、実施形態1〜19のいずれかに記載の方法。
ガラス−担体組立体であって、
第1の主面、及び該第1の主面に対向する第2の主面を有するフレキシブルガラスシートであって、前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さが300μm以下である、フレキシブルガラスシート、及び
担体基板であって、第1の主面、及び前記担体基板の前記第1の主面に対向する第2の主面、並びに外周部を有し、前記担体基板の前記第1の主面が、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面に一時的に接合される、担体基板を備え、
前記フレキシブルガラスシートが、前記外周部の周囲の各々の点において、前記担体基板より750μm以下だけ小さい、ガラス−担体組立体。
103 フレキシブルガラスシート
105 フレキシブルガラスシートの第1の主面
107 フレキシブルガラスシートの第2の主面
109 担体基板
111 担体基板の第1の主面
113 担体基板の第2の主面
217 担体基板の第1の主面の外周部
201、203、205、207 フレキシブルガラスシートの新しい外縁部
701 フレキシブルガラスシートの外縁部分
901 フレキシブルガラスシートの接合部分
903、905、907、911 分離経路
1101 複数の傷
1109 電磁放射線のビーム
1201 CO2レーザー
1203、1901、2401 完全な亀裂
1701 第1の傷
1801 機械工具
2103 冷却流
2701 ケガキ線
Claims (14)
- フレキシブルガラスシートを処理する方法であって、
(I)第1の主面、及び該第1の主面に対向する第2の主面を有するフレキシブルガラスシートを用意するステップであって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、担体基板の第1の主面に対して接合され、前記フレキシブルガラスシートの外縁部分が、前記担体基板の外周部から突出し、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さが、約300μm以下である、ステップと、次に
(II)前記フレキシブルガラスシートの接合部分が、前記担体基板の第1の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離するステップであって、前記外縁部分を分離するステップによって、前記フレキシブルガラスシートに、前記分離経路に沿って延びる新しい外縁部がもたらされ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部と前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部との側方距離が、約750μm以下である、ステップと、
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記ステップ(II)が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面の少なくとも一方の前記分離経路上に、少なくとも1つの傷を形成することを含んで成ることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に、複数の傷を含み、該複数の傷が、前記分離経路に沿って互いに離間配置され、更に(i)前記複数の傷の各々の傷が、前記第1の主面から、前記フレキシブルガラスシートの厚さの20%以下の深さまで、前記第1の主面の下方に延び、及び(ii)前記複数の傷の隣接する傷と傷との間隔が、約15μm〜25μmの範囲であるうちの少なくとも一方であることを特徴とする請求項2記載の方法。
- 前記ステップ(II)が、前記第1の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
(a)前記複数の傷のうちの少なくとも1つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
(b)前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って、前記複数の傷のうちの残りの傷を介して伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の第1の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
ことを特徴とする請求項3記載の方法。 - 前記ステップ(II)が、前記第1の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームに続いて、流体の冷却流を横断させることを更に含み、
(a)前記少なくとも1つの傷を、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面及び前記第2の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
(b)前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って、伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の第1の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
ことを特徴とする、請求項2記載の方法。 - 前記少なくとも1つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面の、前記分離経路に沿って、ケガキ線を含み、前記ステップ(II)が、前記外縁部分に曲げ力を加えて、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離することを更に含んで成ることを特徴とする、請求項2記載の方法。
- 前記ステップ(II)の間、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分に対し、前記外縁部分が屈曲され、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第1の主面に張力が加えられることを特徴とする、請求項1及び3〜5いずれか1項記載の方法。
- 前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約150MPa〜約200MPaの範囲のB10強度を有することを特徴とする、請求項1〜7いずれか1項記載の方法。
- 前記ステップ(I)によって、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面が、前記担体基板の前記第1の主面の表面領域より大きい表面領域を備えることを特徴とする、請求項1〜8いずれか1項記載の方法。
- 前記ステップ(I)によって、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分が、前記担体基板の前記第1の主面を側面に沿って包囲することを特徴とする、請求項9記載の方法。
- ガラス−担体組立体であって、
第1の主面、及び該第1の主面に対向する第2の主面を有するフレキシブルガラスシートであって、前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さが300μm以下である、フレキシブルガラスシート、及び
担体基板であって、第1の主面、及び前記担体基板の前記第1の主面に対向する第2の主面、並びに外周部を有し、前記担体基板の前記第1の主面が、前記フレキシブルガラスシートの前記第2の主面に一時的に接合される、担体基板を備え、
前記フレキシブルガラスシートが、前記外周部の周囲の各々の点において、前記担体基板より750μm以下だけ小さいか、又は前記担体基板が、前記外周部の周囲の各々の点において、前記フレキシブルガラスシートより750μm以下だけ小さいことを特徴とするガラス−担体組立体。 - 前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約150MPa〜約200MPaの範囲のB10強度を有することを特徴とする、請求項11記載の組立体。
- 前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、側面に沿って、前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部を越えて延びることを特徴とする、請求項11又は12記載の組立体。
- 前記担体基板の前記第1の主面の前記外周部が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びることを特徴とする、請求項11〜13いずれか1項記載の組立体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562100232P | 2015-01-06 | 2015-01-06 | |
US62/100,232 | 2015-01-06 | ||
PCT/US2016/012300 WO2016112082A1 (en) | 2015-01-06 | 2016-01-06 | A glass-carrier assembly and methods for processing a flexible glass sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018510120A true JP2018510120A (ja) | 2018-04-12 |
JP2018510120A5 JP2018510120A5 (ja) | 2019-02-14 |
Family
ID=55300770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017554249A Pending JP2018510120A (ja) | 2015-01-06 | 2016-01-06 | ガラス−担体組立体及びフレキシブルガラスシートを処理する方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180016179A1 (ja) |
EP (1) | EP3242798A1 (ja) |
JP (1) | JP2018510120A (ja) |
KR (1) | KR20170103855A (ja) |
CN (1) | CN107406294A (ja) |
SG (1) | SG11201705536UA (ja) |
TW (1) | TWI689416B (ja) |
WO (1) | WO2016112082A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11203183B2 (en) | 2016-09-27 | 2021-12-21 | Vaon, Llc | Single and multi-layer, flat glass-sensor structures |
US11243192B2 (en) | 2016-09-27 | 2022-02-08 | Vaon, Llc | 3-D glass printable hand-held gas chromatograph for biomedical and environmental applications |
US10821707B2 (en) * | 2018-05-17 | 2020-11-03 | Vaon, Llc | Multi-layer, flat glass structures |
TW201838024A (zh) | 2017-03-21 | 2018-10-16 | 美商康寧公司 | 載具設備及處理載具設備之方法 |
KR20180124198A (ko) * | 2017-05-10 | 2018-11-21 | 코닝 인코포레이티드 | 기판 처리 방법들 |
TW201914973A (zh) * | 2017-05-11 | 2019-04-16 | 美商康寧公司 | 用於處理設備的設備與方法 |
US10815076B2 (en) * | 2017-09-26 | 2020-10-27 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Panel carrier and loading plate structure thereof |
JPWO2021124799A1 (ja) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284269A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | レーザスクライブ方法および電気光学装置 |
JP2011116611A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状ガラスの切断方法及びその切断装置 |
JP2011162432A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラスフィルム積層体及びその製造方法並びにガラスフィルムの製造方法 |
JP2012506837A (ja) * | 2008-10-23 | 2012-03-22 | コーニング インコーポレイテッド | 非接触ガラス剪断装置及び移動しているガラスシートを罫書くかまたは切断するための方法 |
JP2014104712A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの製造方法および多層ガラス積層体 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004009480A1 (de) * | 2002-07-17 | 2004-01-29 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Bruchsicheres ultra dünnes glas und dessen handhabung |
JP4915294B2 (ja) * | 2007-06-15 | 2012-04-11 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 集積型薄膜太陽電池の製造に用いられるガラス基板の分割方法 |
WO2010051106A2 (en) * | 2008-09-12 | 2010-05-06 | Arizona Board of Regents, a body corporate acting for and on behalf of Arizona State University | Methods for attaching flexible substrates to rigid carriers and resulting devices |
US8051679B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-11-08 | Corning Incorporated | Laser separation of glass sheets |
US8245540B2 (en) * | 2009-02-24 | 2012-08-21 | Corning Incorporated | Method for scoring a sheet of brittle material |
CN102574371B (zh) * | 2009-10-20 | 2015-10-07 | 旭硝子株式会社 | 玻璃层叠体、带支承体的显示装置用面板、显示装置用面板、显示装置及它们的制造方法 |
US20110127242A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-02 | Xinghua Li | Methods for laser scribing and separating glass substrates |
JP5716678B2 (ja) * | 2010-01-25 | 2015-05-13 | 旭硝子株式会社 | 積層体の製造方法および積層体 |
KR20150046219A (ko) * | 2012-08-22 | 2015-04-29 | 코닝 인코포레이티드 | 플렉시블 유리 기판의 가공방법 및 플렉시블 유리 기판 및 캐리어 기판을 포함하는 기판 스택 |
US9610653B2 (en) * | 2012-09-21 | 2017-04-04 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for separation of workpieces and articles produced thereby |
WO2014092015A1 (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-19 | 旭硝子株式会社 | 電子デバイスの製造方法およびガラス積層体の製造方法 |
CN107000953B (zh) * | 2014-12-26 | 2018-09-28 | Agc株式会社 | 剥离开始部制作方法和制作装置及电子器件的制造方法 |
US10516973B2 (en) * | 2016-06-15 | 2019-12-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of providing seamless reception of broadcast service in UE |
-
2016
- 2016-01-06 US US15/541,938 patent/US20180016179A1/en not_active Abandoned
- 2016-01-06 JP JP2017554249A patent/JP2018510120A/ja active Pending
- 2016-01-06 CN CN201680013342.4A patent/CN107406294A/zh active Pending
- 2016-01-06 SG SG11201705536UA patent/SG11201705536UA/en unknown
- 2016-01-06 TW TW105100306A patent/TWI689416B/zh not_active IP Right Cessation
- 2016-01-06 EP EP16702994.1A patent/EP3242798A1/en not_active Withdrawn
- 2016-01-06 KR KR1020177021624A patent/KR20170103855A/ko unknown
- 2016-01-06 WO PCT/US2016/012300 patent/WO2016112082A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284269A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | レーザスクライブ方法および電気光学装置 |
JP2012506837A (ja) * | 2008-10-23 | 2012-03-22 | コーニング インコーポレイテッド | 非接触ガラス剪断装置及び移動しているガラスシートを罫書くかまたは切断するための方法 |
JP2011116611A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状ガラスの切断方法及びその切断装置 |
JP2011162432A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラスフィルム積層体及びその製造方法並びにガラスフィルムの製造方法 |
JP2014104712A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの製造方法および多層ガラス積層体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG11201705536UA (en) | 2017-08-30 |
TW201632359A (zh) | 2016-09-16 |
KR20170103855A (ko) | 2017-09-13 |
TWI689416B (zh) | 2020-04-01 |
US20180016179A1 (en) | 2018-01-18 |
CN107406294A (zh) | 2017-11-28 |
EP3242798A1 (en) | 2017-11-15 |
WO2016112082A1 (en) | 2016-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018510120A (ja) | ガラス−担体組立体及びフレキシブルガラスシートを処理する方法 | |
WO2013151075A1 (ja) | ガラスフィルムの切断方法及びガラスフィルム積層体 | |
TWI641567B (zh) | 可撓性薄玻璃之自由外型切割的方法及設備 | |
JP6286775B2 (ja) | 選択された界面に沿って少なくとも2つの基板を分離するための方法 | |
EP2724993A3 (en) | Methods for laser scribing and separating glass substrates | |
WO2014065248A1 (ja) | ガラスフィルムの切断方法 | |
JP5888158B2 (ja) | ガラスフィルムの割断方法 | |
JP2015096313A (ja) | ガラスフィルム積層体および液晶パネルの製造方法 | |
CN113714650A (zh) | 晶片的制造方法 | |
US7264996B2 (en) | Method for separating wafers bonded together to form a stacked structure | |
WO2015056602A1 (ja) | ガラスフィルム積層体の製造方法、ガラスフィルム積層体、電子デバイスの製造方法 | |
JP4872503B2 (ja) | ウェハおよびウェハの加工方法 | |
KR20180063361A (ko) | 제2 기판에 결합된 제1 기판을 가공하는 방법 | |
JP6222439B2 (ja) | ガラスフィルムの割断方法及びフィルム状ガラスの製造方法 | |
JP2016145123A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2010113338A (ja) | Fpd用ガラス基板の製造方法 | |
CN104556662B (zh) | 刻划工具、刻划工具的制造方法及划线形成方法 | |
JP6327580B2 (ja) | ガラスフィルム積層体および電子デバイスの製造方法 | |
TWI588002B (zh) | 用於脆性基板之分裂夾具及切割方法 | |
JP2016060135A (ja) | ガラスフィルム積層体、及び、電子デバイスの製造方法 | |
WO2016007695A1 (en) | Methods for separating a glass sheet | |
TW202114950A (zh) | 玻璃物品及其製造方法 | |
TW201444676A (zh) | 玻璃膜積層體及電子元件的製造方法 | |
JP2023128345A (ja) | 脆性材料チップ、脆性材料シート、脆性材料シートの製造方法及び脆性材料チップの製造方法 | |
JP2009029048A (ja) | ワークの分割方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191127 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200729 |