JP2018508837A - オートフォーカス方法及びオートフォーカス装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、一般的に、光学的測定技法及び/又は検査技法の分野に関し、より具体的には、非平面状の表面を観察する場合に特に有用なオートフォーカス方法及びオートフォーカス装置に関する。
本発明は、一般的に、光学的測定技法及び/又は検査技法の分野に関し、より具体的には、非平面状の表面を観察する場合に特に有用なオートフォーカス方法及びオートフォーカス装置に関する。
第1の倍率を有する第1の対物レンズを使用して、複数のウェルの選択されたサブセットの少なくとも3つのウェルのそれぞれにおいて、それぞれの該ウェルに対する第1の対物レンズの合焦位置を特定すること;
少なくとも3つの該合焦位置に基づいて、第1の倍率以下の第2の倍率を有する少なくとも1つの対物レンズが該少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する平面を計算すること;及び
該少なくとも1つの対物レンズを使用して、該平面に沿って、プレートの該部分内の複数のウェルのうち少なくともいくつかを走査すること
を含む方法が、提供される。
本明細書における教示の原理、使用及び実施は、付随する説明及び図面を参照してより良く理解され得る。本明細書に存在する説明及び図面を精査して、当業者は、過度の努力又は実験なしに本発明の実現することができる。
Claims (51)
- マルチウェルプレートの少なくとも部分内の複数のウェルの合焦位置を決定するためのオートフォーカス方法であって:
第1の倍率を有する第1の対物レンズを使用して、前記複数のウェルの選択されたサブセットの少なくとも3つのウェルのそれぞれにおいて、それぞれの前記ウェルに対する前記第1の対物レンズの合焦位置を特定すること;
少なくとも3つの前記合焦位置に基づいて、前記第1の倍率以下の第2の倍率を有する少なくとも1つの対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する平面を計算すること;及び
前記少なくとも1つの対物レンズを使用して、前記平面に沿って、前記プレートの前記部分内の前記複数のウェルのうち少なくともいくつかを走査すること
を含む方法。 - 前記少なくとも1つの対物レンズが前記第1の対物レンズであり、前記第1の倍率が前記第2の倍率と等しい、請求項1記載のオートフォーカス方法。
- 前記平面を計算することが、前記第1の対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する平面を計算することを含む、請求項2記載のオートフォーカス方法。
- 前記少なくとも1つの対物レンズが、前記第1の対物レンズと異なる第2の対物レンズであり、前記第2の倍率が、前記第1の倍率よりも小さい、請求項1記載のオートフォーカス方法。
- 前記平面を計算することが:
前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の対物レンズを使用して特定された前記合焦位置のうち少なくとも3つを、前記第2の対物レンズの対応する第2の合焦位置に変換すること;及び
少なくとも3つの前記第2の合焦位置に基づいて、前記平面を計算すること
を含む、請求項4記載のオートフォーカス方法。 - 前記平面を計算することが:
少なくとも3つの前記合焦位置に基づいて、前記第1の対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する第1の平面を計算すること;及び
前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の平面を、前記第2の対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する対応する平面に変換することによって前記平面を計算すること
を含む、請求項4記載のオートフォーカス方法。 - 前記少なくとも1つの対物レンズを使用して前記走査することが、追加的なフォーカス操作を行わずに実施される、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記複数のウェルの前記サブセットが、前記複数のウェルのうち3つ超を含む、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記合焦位置を特定することが、前記サブセットにおけるそれぞれのウェルについて前記合焦位置を特定することを含む、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルのそれぞれが、一般的に円筒状の側壁並びに球、放物線、及び楕円のうち少なくとも1つの部分を含む底面を含む、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルのそれぞれが、U字状の断面を有する、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルのそれぞれが、一般的に円筒状の側壁及び平面状の底面を含む、請求項1〜9のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが矩形断面を有するように、前記平面状の底面が、前記マルチウェルプレートの上面に一般的に平行に配置されている、請求項12記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルのそれぞれが、円錐台形状である、請求項1〜9のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルのそれぞれが、傾斜した側壁、平面状の底、及び台形の断面を有する、請求項1〜9のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記第1の対物レンズを使用することの前に、前記第1の対物レンズを前記ウェルのうち1つの中心の上方に軸方向に配置するように位置合わせすることをさらに含む、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記プレートの前記部分が、前記プレートの象限を含む、前記請求項のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記プレートの前記部分が、前記プレートの全体を含む、請求項1〜16のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- プレートにおけるウェルの少なくとも部分の合焦位置を決定するためのオートフォーカス方法であって、
前記方法が:
第1の倍率を有する第1の対物レンズを使用して、前記ウェルの少なくとも1つの箇所で前記ウェルの少なくとも部分に対する前記第1の対物レンズの第1の合焦位置を特定すること;
前記第1の合焦位置について、前記少なくとも1つの対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の対物レンズと異なり、かつ第2の倍率を有する第2の対物レンズの対応する合焦位置を特定すること;及び
前記少なくとも1つの対物レンズを使用して、前記対応する合焦位置に対応する高さで、前記ウェルの少なくとも前記部分を走査すること
を含み、
前記第2の倍率が、前記第1の倍率よりも小さい、オートフォーカス方法。 - 前記特定することが、前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の合焦位置を、前記第2の対物レンズの前記対応する合焦位置に変換することを含む、請求項19記載のオートフォーカス方法。
- 前記少なくとも1つの対物レンズを使用して前記走査することが、追加的なフォーカス操作を行わずに実施される、請求項19又は20のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが、一般的に円筒状の側壁並びに球、放物線、及び楕円のうち少なくとも1つの部分を含む底面を含む、請求項19〜21のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルがU字状の断面を有する、請求項19〜22のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが、一般的に円筒状の側壁及び平面状の底面を含む、請求項19〜21のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが矩形断面を有するように、前記平面状の底面が、前記プレートの上面に一般的に平行に配置されている、請求項24記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが円錐台形状である、請求項19〜21のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- 前記ウェルが、傾斜した側壁、平面状の底、及び台形の断面を有する、請求項19〜21のいずれか一項記載のオートフォーカス方法。
- ウェルを含むプレートの少なくとも部分に位置する複数のウェルの合焦位置を自動的に決定するためのオートフォーカス装置であって、前記装置が:
対物レンズが、前記プレートの前記部分内の少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する平面を計算するようにプログラムされた計算コンポーネント;
前記計算コンポーネントと機能的に関連付けられた第1の対物レンズであって、前記第1の対物レンズが第1の倍率を有し、前記第1の対物レンズからの画像が、前記複数のウェルの選択されたサブセットの少なくとも3つのウェルのそれぞれについて合焦位置を特定するための前記計算コンポーネントにより使用される、第1の対物レンズ;及び
前記プレートの前記部分内の前記複数のウェルのうち少なくともいくつかを前記平面に沿って走査するための、第2の倍率を有する少なくとも1つの対物レンズであって、前記第2の倍率が第1の倍率以下である、少なくとも1つの対物レンズ
を含み、
前記計算コンポーネントが、少なくとも3つの前記合焦位置に基づいて、前記少なくとも1つの対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する前記平面を計算するように構成されている、オートフォーカス装置。 - 前記少なくとも1つの対物レンズが、追加的なフォーカス操作を行わずに前記平面に沿って前記複数のウェルを走査するように構成されている、請求項28記載のオートフォーカス装置。
- 前記少なくとも1つの対物レンズが前記第1の対物レンズであり、前記第2の倍率が前記第1の倍率と等しい、請求項28又は29記載のオートフォーカス装置。
- 前記少なくとも1つの対物レンズが、前記第1の対物レンズと異なる第2の対物レンズであり、前記第2の倍率が、前記第1の倍率よりも小さい、請求項28又は29記載のオートフォーカス装置。
- 前記計算コンポーネントが:
前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の対物レンズを使用して特定された前記合焦位置のうち少なくとも3つを、前記第2の対物レンズの対応する第2の合焦位置に変換すること;及び
少なくとも3つの前記第2の合焦位置に基づいて前記合焦面を計算すること
によって、前記合焦面を計算するようにプログラムされている、請求項31記載のオートフォーカス装置。 - 前記計算コンポーネントが:
少なくとも3つの前記合焦位置に基づいて、前記第1の対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する前記第1の平面を計算すること;及び
前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の平面を、前記第2の対物レンズが前記少なくとも3つのウェルに対して沿って合焦する対応する平面に変換することによって前記平面を計算すること
によって、前記合焦面を計算するようにプログラムされている、請求項31記載のオートフォーカス装置。 - 前記計算コンポーネントが、前記サブセットにおけるそれぞれのウェルについて前記合焦位置を特定するようにプログラムされている、請求項28〜33のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、前記ウェルのそれぞれが一般的に円筒状の側壁並びに球の部分、放物線、及び楕円の部分のうち少なくとも1つを含む底面を含むプレートでの使用に適応されている、請求項28〜34のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、前記ウェルのそれぞれがU字状の断面を有するプレートでの使用に適応されている、請求項25〜35のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、前記ウェルのそれぞれが一般的に円筒状の側壁及び平面状の底面を含むプレートでの使用に適応されている、請求項28〜34のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 前記ウェルのそれぞれが一般的に矩形の断面を有するように、前記平面状の底面が前記プレートの上面に一般的に平行に配置されている、請求項37に記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、前記ウェルのそれぞれが円錐台形状であるプレートでの使用に適応されている、請求項28〜34のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、前記ウェルのそれぞれが、傾斜した側壁、平面状の底、及び台形の断面を有するプレートでの使用に適応されている、請求項28〜34のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 前記プレートの前記部分が、前記プレートの象限を含む、請求項28〜40のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 前記プレートの前記部分が、前記プレートの全体を含む、請求項28〜40のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- ウェルの少なくとも部分の合焦位置を自動的に決定するためのオートフォーカス装置であって、
前記装置が:
前記ウェルの前記部分の合焦位置を計算するようにプログラムされた計算コンポーネント;
前記計算コンポーネントと機能的に関連付けられた第1の対物レンズであって、前記第1の対物レンズが第1の倍率を有し、前記第1の対物レンズからの画像が、前記ウェルの少なくとも1つの位置において前記ウェルに対する前記第1の対物レンズの第1の合焦位置を特定するための前記計算コンポーネントにより使用される、第1の対物レンズ;及び
第2の倍率を有する第2の対物レンズであって、前記第2の対物レンズが前記第1の対物レンズと異なり、前記第2の倍率が前記第1の倍率よりも小さい、前記ウェルに対する前記少なくとも1つの対物レンズの対応する合焦位置の高さで前記ウェルの少なくとも部分を走査するための、第2の対物レンズ
を含み、
前記計算コンポーネントが、前記少なくとも1つの対物レンズの光学特性に基づいて、前記対応する合焦位置を特定するようにプログラムされている、オートフォーカス装置。 - 前記の少なくとも1つの対物レンズが、追加的なフォーカス操作を行わずに前記ウェルの前記部分を走査するように構成されている、請求項43記載のオートフォーカス装置。
- 前記計算コンポーネントが、前記第2の対物レンズの光学特性に基づいて、前記第1の合焦位置を、前記第2の対物レンズの前記の対応する合焦位置に変換することにより、前記の対応する合焦位置を特定するようにプログラムされている、請求項43又は44記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、一般的に円筒状の側壁並びに球の部分、放物線、及び楕円の部分のうち少なくとも1つを含む底面を含むウェルでの使用に適応されている、請求項43〜45のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、U字状の断面を有するウェルでの使用に適応されている、請求項43〜45のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、一般的に円筒状の側壁及び平面状の底面を含むウェルでの使用に適応されている、請求項43〜45のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 前記ウェルが一般的に矩形の断面を有するように、前記平面状の底面が、前記プレートの上面に一般的に平行に配置されている、請求項48記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、円錐台形状のウェルでの使用に適応されている、請求項43〜45のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
- 該装置は、傾斜した側壁、平面状の底、及び台形の断面を有するウェルでの使用に適応されている、請求項43〜45のいずれか一項記載のオートフォーカス装置。
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