JP2018505410A - ばね力補償を有する加速度センサ - Google Patents
ばね力補償を有する加速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018505410A JP2018505410A JP2017539451A JP2017539451A JP2018505410A JP 2018505410 A JP2018505410 A JP 2018505410A JP 2017539451 A JP2017539451 A JP 2017539451A JP 2017539451 A JP2017539451 A JP 2017539451A JP 2018505410 A JP2018505410 A JP 2018505410A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- trim
- sensor
- sensor material
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 205
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 217
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 80
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 37
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/0054—For holding or placing an element in a given position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/0059—Constitution or structural means for controlling the movement not provided for in groups B81B3/0037 - B81B3/0056
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/131—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0228—Inertial sensors
- B81B2201/0235—Accelerometers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0145—Flexible holders
- B81B2203/0163—Spring holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/04—Electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/05—Type of movement
- B81B2203/051—Translation according to an axis parallel to the substrate
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system
- G01P2015/0882—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system for providing damping of vibrations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
第1トリム電極340および第2トリム電極350が対称的に設計されているため、トリム電極340と第2トリム電極350との間の電極間の隙間を、確実に完全対称に設計できる。したがって、センサ材料320が偏向しない限り、センサ材料320に結果的に作用する力は生じない。センサ材料320の特定の箇所(例えば、センサ材料320の中心)にトリム電極340およびトリム電極350が集中しているため、製造公差の影響をさらに低減できる。
第1トリム電極340および第2トリム電極350が対称的に設計されているため、トリム電極340と第2トリム電極350との間の電極間の隙間を、確実に完全対称に設計できる。したがって、センサ材料320が偏向しない限り、センサ材料320に結果的に作用する力は生じない。センサ材料320の特定の箇所(例えば、センサ材料320の中心)にトリム電極340およびトリム電極350が集中しているため、製造公差の影響をさらに低減できる。
Claims (11)
- 加速度センサ(100)であって、
基板(110)上を移動軸(x)に沿って移動可能に、ばね要素(130)を用いて取り付けられるセンサ材料(120)と、
上記センサ材料(120)に結合される第1トリム電極(140)と、
上記基板(110)に結合されるとともに、上記第1トリム電極(140)に関連付けられる第2トリム電極(150)と、を備えており、
上記センサ材料(120)が上記移動軸(x)に沿って偏向する際、上記センサ材料(120)に作用するばね力(135)が、上記ばね要素(130)によって発生し、
上記センサ材料(120)が偏向する際、上記ばね力(135)に対抗する、上記センサ材料(120)に作用する静電気力(145)が、上記第1トリム電極(140)と上記第2トリム電極(150)との間におけるトリム電圧の印加によって発生することを特徴とする、加速度センサ(100)。 - 上記センサ材料(120)に結合されるセンサ電極(160)と、
上記基板(110)に結合されるとともに、上記センサ電極(160)に関連付けられる検出電極(170)と、を備えており、
上記移動軸(x)に沿った上記センサ材料(120)の偏向は、上記センサ電極(160)と、関連付けられた上記検出電極(170)との間の検出電圧の変化を通して、または上記センサ電極(160)および関連付けられた上記検出電極(170)における電荷の変化を通して決定され得ることを特徴とする、請求項1に記載の加速度センサ(100)。 - 上記センサ電極(260)の一部は、第1トリム電極(240)として形成されており、
第1トリム電極(240)として形成されている上記センサ電極(260)と上記第2トリム電極(250)との間の上記トリム電圧は、上記センサ材料(220)の偏向を減衰させることを特徴とする、請求項2に記載の加速度センサ(200)。 - 上記第1トリム電極(240、340)は、上記移動軸(x)に垂直な対称面に対して対称的に、上記センサ材料(220、320)上に配置されており、
上記第2トリム電極(250、350)は、上記移動軸(x)に垂直な対称軸に対して対称的に、上記基板(210)上に配置されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の加速度センサ(200、300)。 - 上記第1トリム電極(140)および上記第2トリム電極(150)によって発生する上記静電気力(145)は、上記ばね要素(130)によって発生する上記ばね力(135)と等しいことを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の加速度センサ(100)。
- 上記第1トリム電極(240)の一部は、くし型電極として形成されており、
上記第2トリム電極(250)は、電極板として形成されていることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度センサ(200)。 - 上記第1トリム電極(340)の一部は、電極板として形成されており、
電極板として形成されている上記第1トリム電極(340)、および関連付けられている上記第2トリム電極(350)は、平板コンデンサを形成することを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の加速度センサ(300)。 - 上記センサ材料(120)は、上記検出電圧を設定する間、さらなる偏向のために必要な加速度が上記トリム電圧から独立している中立位置に保持されることを特徴とする、請求項2から7のいずれか1項に記載の加速度センサ(100)。
- 演算部は、ばね力が上記センサ材料(120)に作用しない、上記センサ材料(120)の第1の位置の、上記センサ電極および上記検出電極によって発生する力が上記センサ材料(120)に作用しない、上記センサ材料(120)の第2の位置からの偏差を、上記中立位置に基づいて決定することを特徴とする、請求項8に記載の加速度センサ(100)。
- 演算部は、上記中立位置の変化とばね力の打ち消しに必要な上記トリム電圧の変化とに基づいて、上記加速度センサ(100)のエラーを確認することを特徴とする、請求項8または9に記載の加速度センサ(100)。
- 上記加速度センサ(100)は、微小電気機械システムであることを特徴とする、請求項1から10のいずれか1項に記載の加速度センサ(100)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015001128.6 | 2015-01-29 | ||
DE102015001128.6A DE102015001128B4 (de) | 2015-01-29 | 2015-01-29 | Beschleunigungssensor mit Federkraftkompensation |
PCT/EP2016/051693 WO2016120319A1 (de) | 2015-01-29 | 2016-01-27 | Beschleunigungssensor mit federkraftkompensation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6267407B1 JP6267407B1 (ja) | 2018-01-24 |
JP2018505410A true JP2018505410A (ja) | 2018-02-22 |
Family
ID=55237653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017539451A Active JP6267407B1 (ja) | 2015-01-29 | 2016-01-27 | ばね力補償を有する加速度センサ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10168351B2 (ja) |
EP (1) | EP3250931B9 (ja) |
JP (1) | JP6267407B1 (ja) |
CN (1) | CN107209204B (ja) |
DE (1) | DE102015001128B4 (ja) |
IL (1) | IL253385B (ja) |
WO (1) | WO2016120319A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015001128B4 (de) | 2015-01-29 | 2021-09-30 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungssensor mit Federkraftkompensation |
US11099207B2 (en) | 2018-10-25 | 2021-08-24 | Analog Devices, Inc. | Low-noise multi-axis accelerometers and related methods |
CN110062083A (zh) * | 2019-05-27 | 2019-07-26 | 维沃移动通信有限公司 | 一种噪音消除方法和移动终端 |
DE102019114996A1 (de) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungsmessvorrichtung mit verbesserter Biasstabilität |
CN111721970B (zh) * | 2020-06-16 | 2022-03-18 | 维沃移动通信有限公司 | 电容式加速度传感器及其控制方法、控制装置和电子设备 |
DE102020210121A1 (de) | 2020-08-11 | 2022-02-17 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems |
DE102020211454A1 (de) | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanische Struktur und mikromechanischer Sensor |
CN116577525B (zh) * | 2023-07-14 | 2023-09-12 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 | 惯性传感器 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0644008B2 (ja) * | 1990-08-17 | 1994-06-08 | アナログ・ディバイセス・インコーポレーテッド | モノリシック加速度計 |
JPH0656389B2 (ja) * | 1985-04-16 | 1994-07-27 | ソシエテ フランセズ デイクウイプマン プ−ル ラ ナヴイガシオン アエリエンヌ | 加速度計 |
JP2000511282A (ja) * | 1996-05-21 | 2000-08-29 | アライドシグナル・インコーポレーテッド | 加速度計のための静電駆動装置 |
JP3329084B2 (ja) * | 1994-08-23 | 2002-09-30 | 株式会社デンソー | 静電サーボ式の加速度センサ |
JP3430771B2 (ja) * | 1996-02-05 | 2003-07-28 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサの製造方法 |
JP2004347499A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP3657606B2 (ja) * | 1993-05-26 | 2005-06-08 | コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド | 超小形電気機械式横方向加速度計 |
DE102009046807A1 (de) * | 2009-11-18 | 2011-05-19 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur der Empfindlichkeitsbestimmung eines Beschleunigungs- oder Magnetfeldsensors |
JP5705954B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2015-04-22 | ノースロップ グラマン ガイダンス アンド エレクトロニクス カンパニー インコーポレイテッド | フォースリバランス型加速度計におけるバイアス低減 |
JP5711334B2 (ja) * | 2012-10-08 | 2015-04-30 | ノースロップ グラマン システムズ コーポレーションNorthrop Grumman Systems Corporation | 加速度計システムの動的な自己較正 |
JP5960155B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2016-08-02 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計 |
JP2016532854A (ja) * | 2013-10-09 | 2016-10-20 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計制御 |
JP6067926B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2017-01-25 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5565625A (en) * | 1994-12-01 | 1996-10-15 | Analog Devices, Inc. | Sensor with separate actuator and sense fingers |
US5511420A (en) * | 1994-12-01 | 1996-04-30 | Analog Devices, Inc. | Electric field attraction minimization circuit |
KR100363246B1 (ko) * | 1995-10-27 | 2003-02-14 | 삼성전자 주식회사 | 진동구조물및진동구조물의고유진동수제어방법 |
US5914553A (en) * | 1997-06-16 | 1999-06-22 | Cornell Research Foundation, Inc. | Multistable tunable micromechanical resonators |
JP2000206142A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-07-28 | Denso Corp | 半導体力学量センサおよびその製造方法 |
JP2001174264A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Murata Mfg Co Ltd | 共振素子およびその振動調整方法 |
JP2001330623A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
DE10024698A1 (de) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanisches Bauelement |
DE10148858A1 (de) * | 2001-10-04 | 2003-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Sensor mit Selbsttestfunktion und Optimierungsverfahren |
US7185542B2 (en) * | 2001-12-06 | 2007-03-06 | Microfabrica Inc. | Complex microdevices and apparatus and methods for fabricating such devices |
US7089792B2 (en) * | 2002-02-06 | 2006-08-15 | Analod Devices, Inc. | Micromachined apparatus utilizing box suspensions |
EP1603830B1 (en) * | 2003-02-28 | 2016-10-05 | Atlantic Inertial Systems Limited | An accelerometer |
GB0304595D0 (en) * | 2003-02-28 | 2003-04-02 | Bae Systems Plc | An accelerometer |
WO2005083451A1 (en) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Bae Systems Plc | Accelerometer |
KR100899812B1 (ko) * | 2006-12-05 | 2009-05-27 | 한국전자통신연구원 | 정전 용량형 가속도계 |
JP5649810B2 (ja) * | 2009-10-29 | 2015-01-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 静電容量式センサ |
FR2957414B1 (fr) * | 2010-03-15 | 2012-09-28 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de force a bruit reduit |
CN101819215B (zh) * | 2010-04-20 | 2012-06-27 | 浙江大学 | 一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计 |
EP2439172B1 (en) * | 2010-10-06 | 2018-05-02 | Sercel | Anti-stiction method in an inertial MEMS |
US9611139B2 (en) * | 2012-06-29 | 2017-04-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator |
DE102013208688A1 (de) * | 2013-05-13 | 2014-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Sensiereinrichtung für eine mikromechanische Sensorvorrichtung |
US9733268B2 (en) * | 2013-10-07 | 2017-08-15 | Hanking Electronics Ltd. | Systems and methods to determine stiction failures in MEMS devices |
GB201322918D0 (en) * | 2013-12-23 | 2014-02-12 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
US10392243B2 (en) * | 2014-10-02 | 2019-08-27 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Coupled memristor devices to enable feedback control and sensing of micro/nanoelectromechanical actuator and sensors |
DE102015001128B4 (de) | 2015-01-29 | 2021-09-30 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungssensor mit Federkraftkompensation |
-
2015
- 2015-01-29 DE DE102015001128.6A patent/DE102015001128B4/de active Active
-
2016
- 2016-01-27 JP JP2017539451A patent/JP6267407B1/ja active Active
- 2016-01-27 US US15/547,312 patent/US10168351B2/en active Active
- 2016-01-27 EP EP16701776.3A patent/EP3250931B9/de active Active
- 2016-01-27 CN CN201680006360.XA patent/CN107209204B/zh active Active
- 2016-01-27 WO PCT/EP2016/051693 patent/WO2016120319A1/de active Application Filing
-
2017
- 2017-07-10 IL IL253385A patent/IL253385B/en active IP Right Grant
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0656389B2 (ja) * | 1985-04-16 | 1994-07-27 | ソシエテ フランセズ デイクウイプマン プ−ル ラ ナヴイガシオン アエリエンヌ | 加速度計 |
JP3294482B2 (ja) * | 1990-08-17 | 2002-06-24 | アナログ デバイセス インコーポレーテッド | モノリシック加速度計 |
JPH0644008B2 (ja) * | 1990-08-17 | 1994-06-08 | アナログ・ディバイセス・インコーポレーテッド | モノリシック加速度計 |
JP3657606B2 (ja) * | 1993-05-26 | 2005-06-08 | コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド | 超小形電気機械式横方向加速度計 |
JP3329084B2 (ja) * | 1994-08-23 | 2002-09-30 | 株式会社デンソー | 静電サーボ式の加速度センサ |
JP3430771B2 (ja) * | 1996-02-05 | 2003-07-28 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサの製造方法 |
JP2000511282A (ja) * | 1996-05-21 | 2000-08-29 | アライドシグナル・インコーポレーテッド | 加速度計のための静電駆動装置 |
JP2004347499A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
DE102009046807A1 (de) * | 2009-11-18 | 2011-05-19 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur der Empfindlichkeitsbestimmung eines Beschleunigungs- oder Magnetfeldsensors |
JP5960155B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2016-08-02 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計 |
JP5711334B2 (ja) * | 2012-10-08 | 2015-04-30 | ノースロップ グラマン システムズ コーポレーションNorthrop Grumman Systems Corporation | 加速度計システムの動的な自己較正 |
JP5705954B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2015-04-22 | ノースロップ グラマン ガイダンス アンド エレクトロニクス カンパニー インコーポレイテッド | フォースリバランス型加速度計におけるバイアス低減 |
JP6067926B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2017-01-25 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
JP2016532854A (ja) * | 2013-10-09 | 2016-10-20 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計制御 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3250931B9 (de) | 2019-05-22 |
DE102015001128A1 (de) | 2016-08-04 |
DE102015001128B4 (de) | 2021-09-30 |
CN107209204A (zh) | 2017-09-26 |
IL253385B (en) | 2018-03-29 |
CN107209204B (zh) | 2019-02-05 |
JP6267407B1 (ja) | 2018-01-24 |
EP3250931B1 (de) | 2018-11-28 |
US20180024160A1 (en) | 2018-01-25 |
EP3250931A1 (de) | 2017-12-06 |
WO2016120319A1 (de) | 2016-08-04 |
US10168351B2 (en) | 2019-01-01 |
IL253385A0 (en) | 2017-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6267407B1 (ja) | ばね力補償を有する加速度センサ | |
JP5615383B2 (ja) | 補正ユニットを有するコリオリジャイロスコープおよび直交バイアスを低減するための方法 | |
US8210039B2 (en) | Vibrating gyroscope with quadrature signals reduction | |
US10024881B2 (en) | MEMS sensor | |
US9863770B2 (en) | Vibration-resistant rotation rate sensor | |
US10024663B2 (en) | Micromechanical coriolis rate of rotation sensor | |
TWI391662B (zh) | Vibration type sensor | |
US20120265481A1 (en) | Accelerometer systems and methods | |
US8186225B2 (en) | MEMS vacuum sensor based on the friction principle | |
EP1794598B1 (en) | Methods and apparatus for reducing vibration rectification errors in closed-loop accelerometers | |
US20170363493A1 (en) | Dynamic pressure sensor with improved operation | |
JP7028293B2 (ja) | 低ノイズ多軸mems加速度計 | |
US20190033341A1 (en) | Mems-based three-axis acceleration sensor | |
US11796319B2 (en) | Sensor and electronic device | |
US9753057B2 (en) | Acceleration sensor | |
US11365970B2 (en) | Vibration type angular velocity sensor with piezoelectric film | |
JP6041309B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20200393247A1 (en) | Torsional oscillator micro electro mechanical systems accelerometer | |
US20220308085A1 (en) | Accelerometer device with improved bias stability | |
RU2778282C1 (ru) | Акселерометр с улучшенной стабильностью смещения | |
JPH11248741A (ja) | 静電容量型多軸加速度センサ | |
JP6714104B2 (ja) | 微小機械素子 | |
WO2015186772A1 (ja) | Mems構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20170922 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170922 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20170922 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20171117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6267407 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |