JP2018502329A - ホトリソグラフィ装置の露光システムのための自己減衰シャッター - Google Patents

Abstract

ホトリソグラフィ装置の露光システムに用いられる自己減衰シャッター装置は、少なくとも２つのシャッター翼（１）が閉のときに露光領域に対する光源を遮断する前記少なくとも２つのシャッター翼（１）と、シャッター翼（１）を駆動し、同期して開又は閉にするシャッター駆動アーム（２）と、シャッター駆動アーム（２）を駆動又は制動する磁気減衰制動モータ（３）と、を備え、磁気減衰制動モータ（３）は、シャッター駆動アーム（２）を介して、シャッター翼（１）を駆動又は制動する。ホトリソグラフィ装置の露光システムに用いられる自己減衰シャッター装置は、シャッター翼の開又は閉の一貫性を増加させ、露光におけるシャッター装置の光遮断効果を改善し、シャッター翼を開く又は閉じる工程における安定性を向上させる。シャッター翼が開又は閉の動作を完了させるとき、電流は不要である。磁気減衰制動モータよって、シャッター翼は開又は閉の状態を維持し、制御電流の時間を短縮し、熱分散を低減し、エネルギーを節約できる。【選択図】図２ａ

Description

本発明は、フォトリソグラフィの製造に関するものであり、特に、フォトリソグラフィツールの露光のサブシステムに用いるための自己減衰シャッター装置に関するものである。

フォトリソグラフィは、基板の表面に特徴を持ったパターンをプリントするための技術である。共通で使用される基板は、半導体ウェハあるいはガラス基板であり感光性材料で表面が被覆されている。フォトリソグラフィ工程中に、ウェハは、ウェハ台上に配置される。特徴を有するパターンは、その表面上に、フォトリソグラフィ装置に組み込まれた露光装置を介して投影される。

図１を参照して、フォトリソグラフィツールの露光サブシステムに使用されている従来の減衰無しシャッター装置は、少なくとも２つのシャッター翼１００を含む。シャッター翼１００には、シャッター翼１００を開及び閉の構成に駆動するための各ボイスコイルモータ２００が設けられている。シャッター翼１００が開状態又は閉状態となっている程度、ならびに、その開及び閉の構成への動作は、ボイスコイルモータ２００の移動体コイル内に流れる電流を調整して、制御される。図４ａを参照して、減衰無しシャッター装置の動作中、ボイスコイルモータ２００内の移動体コイルは、まず、順電流の影響でｔ／２（例えば、０−ｔ１）の間加速し、それから、逆電流の影響でｔ／２（例えば、ｔ１−ｔ２）の間、その速度が０になるまで減速する。シャッター翼１００が開の構成に到達した後、電流はさらに供給され、シャッター翼１００を開の構成に維持する。図４ａにおいて、ｔ１は、従来の減衰無しシャッター装置が逆電流によって制動され始めたときの瞬間を示す。ｔ１−ｔ２は、従来の減衰無しシャッター装置の制動に要求される期間を示す。Ｑは、時間に対する、従来のボイスコイルモータのそれぞれの移動体コイルに作用するローレンツ力の依存を示す線を示す。Ｗは、時間に対する、移動中の各シャッター翼１００の偏向の角度を表す線を示す。

したがって、シャッター翼１００が開状態又は閉状態となっている程度、ならびに、その開及び閉の構成への動作は、開ループ電流制御に従う。制御側は、露光工程を干渉し、開ループ電流制御は、加速及び制動中に、シャッター翼１００の安定性に影響するかもしれない。さらに、シャッター翼１００は、各ボイスコイルモータ２００によって、分離して制御さるので、シャッター翼１００の不十分な反復性を導く開又は閉の工程と、低下した露光性能との間に一貫性を欠くこととなる。

本発明の目的は、ホトリソグラフィツールの露光サブシステムに使用される自己減衰シャッター装置を提供することであり、シャッター翼間の開又は閉の一貫性を改善し、制御側よる露光工程の干渉を低減し、露光性能を向上させる。

上記目的を達成するために、本発明は、ホトリソグラフィツールの露光システムに使用される自己減衰シャッター装置であって、少なくとも２つのシャッター翼が閉の構成であるときに露光領域に対する光を遮断するように構成された前記少なくとも２つのシャッター翼と、前記少なくとも２つのシャッター翼を、同時に前記閉の構成または開の構成に駆動するように構成されたシャッター動作アームと、前記シャッター動作アームを駆動又は制動し、前記少なくとも２つのシャッター翼を同時に前記開又は閉の構成にする、ように構成された磁気減衰制動モータと、を備える自己減衰シャッター装置を提供する。
前記磁気減衰制動モータは、静翼と、移動体と、磁気減衰制動モジュールと、を有しているのが好ましい。前記移動体は、静翼および前記磁気減衰制動モジュールに対し相対移動可能である。前記移動体は、動作フレームを介して前記シャッター動作アームに連結されている。
前記静翼は、磁石と、鉄コアキャップと、鉄コアと、を有しているのが好ましい。前記磁石は、前記鉄コアキャップと、鉄コアに連結されている。
前記移動体は、移動体コイルが巻かれたコイルボビンを有しているのが好ましい。前記コイルボビンは、軸対称の構造を有している。第１の軸方向磁化減衰磁石（３−７１）および第２の軸方向磁化減衰磁石（３−７２）は、前記コイルボビンの水平の対称軸の上側及び下側のそれぞれに固定して設けられ、前記第１の軸方向磁化減衰磁石および前記第２の軸方向磁化減衰磁石は、その間に配置された第１の通常磁化減衰磁石と、第２の通常磁化減衰磁石と、を有している。
前記コイルボビンの水平の対称軸の上側及び下側に配置された前記第１の軸方向磁化減衰磁石は、同一方向に磁化されているのが好ましい。前記コイルボビンの水平の対称軸の上側及び下側に配置された前記第２の軸方向磁化減衰磁石は、同一方向に磁化されている。前記第１の軸方向磁化減衰磁石および前記第２の軸方向磁化減衰磁石は、反対方向に磁化されている。
前記磁気減衰制動モジュールは、相互に対称の上半分部と下半分部とを有しており、相互に反対に磁化された第１の減衰磁石、および第２減衰磁石を有しているのが好ましい。前記第１の減衰磁石は、第１の減衰バネを介して前記鉄コアに固定して連結されている。前記第２の減衰磁石は、第２の減衰バネを介して前記磁気減衰制動モータに設けられた固定フレームに固定して連結されている。
前記シャッター動作アームは、対称の４バーリンク機構であり、該４バーリンク機構は、前記少なくとも２つのシャッター翼にちょうつがいで接続された第１の端と、前記第１の端に対称で、動作フレームにちょうつがいで接続された第２の端と、を有し、前記動作フレームは前記磁気減衰制動モータに連結されているのが好ましい。
前記少なくとも２つのシャッター翼は、スルース型であるのが好ましい。
前記少なくとも２つのシャッター翼は、硬化されたアルミニウム又はセラミックシートから形成されているのが好ましい。
前記少なくとも２つのシャッター翼は、反射性の材料で表面被覆されているのが好ましい。

従来技術と比較して、本発明に従った自己減衰シャッター装置は、シャッター動作アームとシャッター動作アームを駆動する磁気減衰制動モータとを結合し、シャッター翼は、同時に、開又は閉になる。
これにより、シャッター翼間の開または閉の一貫性、良好な露光再現性、および露光の光の良好な遮断性が改善される。さらに、シャッター翼の開又は閉の工程は、開ループ電流制御に従っておらず、シャッター翼の動作を、制御側で、悪影響から逃し、シャッター翼の開又は閉の工程の安定性を高める。さらに、シャッター翼が、完全な開又は閉の構成に到達すると、磁気減衰制動モータは、それ以上の電流供給を必要とせず、シャッター動作アームによって、シャッター翼をその構成に維持することができる。これにより、電流制御に要する時間を短縮し、分散する熱を低減し、エネルギーを節約できる。さらに、磁気減衰制動モジュールは、それ自身で、シャッター翼の開又は閉を制動し、低減した時間消費、シャッター翼の安定動作、ゴム減衰ロッドを不要とし、優れた非線形の減衰及び高速移動する移動体の急制動を可能とする。

従来のシャッター装置の構造的な概略図である。 本発明の特別な実施形態に従った開構成におけるシャッター翼の構造的な概略図である。 本発明の特別な実施形態に従った閉構成におけるシャッター翼の構造的な概略図である。 本発明の特別な実施形態に従った磁気減衰制動モータの構造的な概略図である。 本発明の特別な実施形態に従った自己減衰シャッター装置における開のシャッター翼の構造的な概略図である。 本発明の特別な実施形態に従った自己減衰シャッター装置における閉のシャッター翼の構造的な概略図である。 移動中の時間に対する従来のシャッター翼の偏向の角度の展開を示す図である。 移動中の時間に対する本発明の特別な実施形態に従ったシャッター翼の偏向の角度の展開を示す図である。

従来技術を示す図において、１００はシャッター翼を示し、２００はボイスコイルモータを示す。

本発明を示す図において、１はシャッター翼、２はシャッター動作アーム、３は磁気減衰制動モータ、３０１は静翼、３０２は移動体、３０３は磁気減衰制動モジュール、３−２は磁石、３−３は鉄コアキャップ、３−４は鉄コア、３−５はコイルボビン、３−６は移動体コイル、３−７１は第１の軸方向磁化減衰磁石、３−７２は第２の軸方向磁化減衰磁石、３−８１は第１の通常磁化減衰磁石、３−８２は第２の通常磁化減衰磁石、３−９は固定フレーム、３−１０１は第１の減衰磁石、３−１０２は第２の減衰磁石、３−１１１は第１の減衰板バネ、３−１１２は第２の減衰板バネ、４は動作フレーム、Ｍは第１磁気回路、Ｎは第２磁気回路を示す。

本発明は、添付する図を参照して詳細に以下に説明されるであろう。
図２ａ及び２ｂを参照して、ホトリソグラフィツールの露光サブシステムに用いるための自己減衰シャッター装置は、閉構成のときに、露光領域に向かう光を遮断するように構成された少なくとも２つのシャッター翼１と、同期させてシャッター翼１を閉または開の構成に駆動するように適合させたシャッター動作アーム２と、シャッター動作アーム２を駆動又は制動するように構成された磁気減衰制動モータ３と、を有している。磁気減衰制動モータ３は、シャッター動作アーム２を介して、シャッター翼１を駆動及び制動する。２つのシャッター翼１は、図２ａ及び２ｂにおいて、記述されているが、当業者は、閉の構成のときに露光領域に向かう光が遮断できれば３つ、４つ又はそれ以上のシャッター翼１が使用されていてもよいことを認識するであろう。

図２ａ、２ｂ及び３ａを参照して、磁気減衰制動モータ３は、静翼３０１、移動体３０２、及び磁気減衰制動モジュール３０３を有している。移動体３０２は、静翼３０１及び磁気減衰制動モジュール３０３に対して相対移動可能である。移動体３０２は、動作フレーム４を介して、シャッター動作アーム２に接続されている。移動体３０２は、動作フレーム４を駆動し、順番で移動する動作フレーム４は、シャッター動作アーム２を駆動し、シャッター翼１を同期し制動する方法で、開又は閉の構成へ移動させる。

図２ａ、２ｂ、及び３ａを参照して、静翼３０１は、磁石３−２を有する。磁石３−２は、一端で鉄コアキャップ３−３に接続され、他端で鉄コア３−４に接続されている。
磁石３−２は、全体で文字“Ｅ”を表すように、鉄コア３−４に組付けられている。

図２ａ、２ｂ、及び３ａを参照して、移動体３０２は、移動体コイル３−６が巻かれたコイルボビン３−５を有している。コイルボビン３−５は、軸対称の構造である。第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１および第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２は、コイルボビン３−５の水平の対称軸の上側面及び下側面のそれぞれに固定して設けられている。第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１および第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２の間に、第１の通常磁化減衰磁石３−８１および第２の通常磁化減衰磁石３−８２が配置されている。

第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１は、コイルボビン３−５の水平の対称軸の反対側に配置されており、同一方向に磁化されている。同様に、コイルボビン３−５の水平の対称軸の反対側にある第２の磁化減衰磁石３−７２も、同一方向に磁化されている。さらに、水平の対称軸のそれぞれの側で、第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１の磁化方向は、第２の軸方向減衰磁石３−７２の磁化方向に対し反対である。

図２ａ及び３ｃを参照して、移動体３０２の初期の待機位置は、シャッター翼１の閉の構成に対応している。この位置で、第１の通常磁化減衰磁石３−８１、鉄コア３−４、磁石３−２、および鉄コアキャップ３−４は、２つの完全な第１磁気回路Ｍを形成し、第１磁気回路Ｍは、移動体３０２に磁力を発生させ、移動体３０２を静止状態に保つ。さらに、移動体３０２は、シャッター翼１を、シャッター動作アーム２を介して引張り、シャッター翼１は、閉の構成で維持される。

図２ｂ及び３ｂを参照して、移動体３０２の移動の端点は、シャッター翼１の開の構成に対応する。電流が移動体３−６に導入された場合、ローレンツ力はそこから生成され、移動体３０２を駆動し、静翼３０１に対して相対的に軸方向へ移動させる。結果として、シャッター翼１は、シャッター動作アーム２によって開かれる。第２の通常磁化減衰磁石３−８２は鉄コアキャップ３−３上の位置に到達すると、第２の通常磁化減衰磁石３−８２、鉄コア３−４、磁石３−２および鉄コアキャップ３−３は、２つの完全な第２の磁気回路Ｎを形成する。磁気回路Ｎは、移動体３０２に捕捉力を発生させ、移動体３０２は徐々に制動させる。制動工程は、以下に詳細に説明される。

コイルボビン３−５は、磁石３−２の外側および鉄コア３−４の内側に配置されている。図２ａ、２ｂ、および３ａを参照して、磁気減衰制動モジュール３０３は、相互に対称で上半分部及び下半分部を有しており、反対に磁化された、第１の減衰磁石３−１０１及び第２の減衰磁石３−１０２を有している。第１減衰磁石３−１０１は、第１の減衰板バネ３−１１１を介して鉄コア３−４に固定して接続されている。第２減衰磁石３−１０２は、第２の減衰板バネ３−１１２を介して磁気減衰制動モータ３に配置された固定フレーム３−９に、固定して接続されている。

図２ａ及び２ｂを参照して、シャッター動作アーム２は、対称の４バーリンク機構であり、この機構は、シャッター翼１にちょうつがいで接続された一端と、それに対称に動作フレーム４にちょうつがいで接続された他端と、を有している。
動作フレーム４は、磁気減衰制動モータ３に接続されている。

４バーリンク機構の使用によって、単一の磁気減衰制動モータ３で２つのシャッター翼１の同期した作動が可能となり、２つのシャッター翼１間の移動の一貫性を高め、露光の再現性を向上させることができる。
シャッター翼１は、スルース型であり、磁気減衰制動モータ３を介して、２つのシャッター翼１の同期した動作を容易にする。

単一の磁気減衰制動モータ３は、シャッター動作アーム２の補助で２つのシャッター翼１を動作させて、これら２つのシャッター翼１、特にスルース型のシャッター翼１間における開及び閉の一貫性を改善し、一方で、良好な露光の再現性を達成すると共に、シャッター装置による露光の光の遮断を高める。

シャッター翼１は、硬化したアルミニウム又はセラミックシートから形成され、最高の動作温度３００℃に耐えることができる。シャッター翼１は、反射性材料で表面被覆されている。

シャッター翼１の閉の構成において、反射性の材料は、露光の光源からの入射光の大部分を反射することができる。結果として、シャッター翼１の熱吸収が低減され、それは、シャッター翼１の通常動作に繋がる。

図２ａ、２ｂ、３ａ乃至３ｃを参照して、シャッター翼１が閉の構成にある場合、移動体３０２は初期位置にあり、第１の通常磁化減衰磁石３−８１、鉄コア３−４、磁石３−２、及び鉄コアキャップ３−３は、２つの完全な第１の磁気回路Ｍを形成する。その磁気回路Ｍは、移動体３０２に磁力を発生させ、移動体３０２を静止状態に維持する。移動体３０２は、シャッター翼１をシャッター動作アーム２を介して引張り、シャッター翼１は、閉の構成で維持される。この点で、第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１と第１の減衰磁石３−１０１との間の反発力が生じ、第１の減衰板バネ３−１１１は圧縮され、弾性の位置エネルギーを保存する。反発力は、移動体３０２に影響を与え、それは第１の磁気回路Ｍによって移動体３０２に生じる磁力よりも小さいため、移動体３０２は静止状態を維持する。

移動体コイル３−６内に電流が流れると、ローレンツ力が移動体コイル３−６から生じ、移動体３０２を駆動し、静翼３０１に対して軸方向に相対移動させる。結果として、移動体３０２は徐々に鉄コア３−４から離れ、第１の軸方向磁化減衰磁石３−７１と第１の減衰磁石３−１０１との距離は、徐々に増加する。これにより、磁気エネルギーを解放させるのと同様に反発力を低減する。さらに、第１の減衰板バネ３−１１１は、徐々に減圧され、弾性の位置エネルギーを解放する。解放された磁気エネルギー及び弾性の位置エネルギーは移動体３０２を軸方向に加速させ、シャッター動作アーム２を介して、２つのシャッター翼１を順番に駆動し、徐々に同時に開の構成へ移動させる。

移動体３０２がローレンツ力により中間位置まで加速されたとき、図４ｂを参照して、時刻ｔ１で移動体コイル３−６は、短絡あるいは非接続になるように制御され、移動体コイル３−６が自身の逆電流から生じる減衰力に従うあるいはいからなる力にも従わない状態となる。結果として、移動体３０２は、制動され減速され始める。

移動体３０２が第２の通常磁化減衰磁石３−８が鉄コアキャップ３−３上となる位置に減速すると、第２の通常磁化減衰磁石３−８２、鉄コア３−４、磁石３−２、及び鉄コアキャップ３−３は、２つの完全な第２の磁気回路Ｎを形成し、この磁気回路Ｎは、移動体３０２に磁力を発生させ、移動体３０２を軸方向に移動させ続ける。この軸方向の移動によって、第２の通常磁化減衰磁石３−８２は徐々に磁石３−２から離れ、第２の磁気回路Ｎによって移動体３０２に生じた磁力は減少する。

移動体３０２がさらに軸方向へ移動することによって、磁力は、第２の減衰磁石３−１０２と第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２との間に生じ、第２の減衰磁石３−１０２が第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２に接近することで、増加する。この磁力は、移動体３０２に制動の影響を与え、減衰制動力として述べられてもよい。減衰制動力は、徐々に、第２の磁気回路Ｎによって移動体３０２に生じる磁力を中性化する。結果として、移動体３０２が僅かに振動した後、移動体３０２のエネルギーの一部は、迅速に、短絡した移動体コイル３−６を介して、熱に変換され、続いてその熱は分散される。そのエネルギーの他の一部は、第２の減衰磁石３−１０２と第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２との間の磁力に変換され、さらに、そのエネルギーの他の一部は、第２の減衰板バネ３−１１２の弾性の位置エネルギーに変換される。減衰制動力の作用で、移動体３０２は、徐々に停止し、シャッター動作アーム２によって、シャッター翼１を同時に完全な開の構成へ駆動する。そのように、シャッター動作アーム２の制動は、磁気減衰制動モータ３によって、達成される。第２の減衰磁石３−１０２と第２の軸方向磁化減衰磁石３−７２との間の磁気エネルギー、および、第２の減衰板バネ３−１１２の弾性の位置エネルギーは、シャッター翼１を開の構成に維持し、エネルギー源として、シャッター翼１の閉の初期化のために機能することができる。

図４ｂを参照して、ｔ１は本発明の磁気的に減衰されたシャッター装置が短絡を介して制動を開始したときの時間を示している。ｔ１−ｔ３は、磁気的に減衰されたシャッター装置の制動に必要とされる時間を示している。Ｐは、時間に関し移動体３０２に作用する磁気減衰力の依存を示す曲線を示す。Ｚは、時間に関し、移動中のシャッター翼１の偏向角度の展開を示す曲線を示す。本発明の磁気的に減衰されたシャッター装置において、シャッター翼１が閉の構成から完全な開の構成へ遷移する工程で、それらが開いているあるいは閉じている間のシャッター翼１の角度位置は、移動体コイル３−６からのローレンツ力と、第１の磁気回路Ｍ及び第２の磁気回路Ｎによって生じる磁気減衰力と、の組合せに依存している。作動中に、電流は、最初に、移動体３０２を駆動し最大速度まで加速させるように供給され、移動体３０２が移動体の端点に接近したときの時間ｔ１で切断される。したがって、磁気減衰制動モータ３は、移動体３０２を減速する逆電流を必要とせず、移動体３０２の制動を達成することができる。従来の減衰無しシャッター装置と比較して、これにより、理論的に、同一の加速度及び駆動力条件で移動体３０２の移動時間の２０％低減を実現できる。曲線Ｗ及びＺ間の比較から、シャッター翼１は時間ｔ２で早くに完全に開の構成を管理し、その構成を維持するので、シャッター翼１の開又は閉の速度は本発明に従って増加される、ということが分かる。これに対し、従来の装置の曲線Ｚに従って、シャッター翼は、時間ｔ３で完全に開となっている。したがって、磁気減衰制動モータ３は、シャッター翼１の開又は閉の速度を増加する。さらに、シャッター翼１の開又は閉の工程は、開ループ電流制御に従っていない。これにより、シャッター翼１の動作を、制御側で、悪影響から逃し、シャッター翼１の開又は閉の工程の安定性を高めることができる。さらに、磁気減衰制動モジュール３０３は、それ自身で、シャッター翼１を制動し、低減した時間消費、シャッター翼１の安定動作、移動中の安定的な位置制限、ゴム減衰ロッドを不要とし、優れた非線形の減衰及び高速移動する移動体３０２の急制動を可能とする。さらに、シャッター翼１が、完全な開又は閉の構成に到達すると、磁気減衰制動モータ３は、それ以上の電流供給を必要とせず、シャッター翼１をその構成に維持することができる。これにより、電流制御に必要な時間を短縮し、分散する熱を低減し、エネルギーを節約し、シャッター翼１の動作における制御側の悪影響を軽減し、シャッター翼１の制動を高める。

様々な変更及び変形が、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、当業者によって本発明に対して行われ得る。したがって、本発明は、添付した請求項及びその均等の範囲内であれば、そのような変更及び変形も含むということを意図している。

Claims (10)

1. ホトリソグラフィツールの露光システムに使用される自己減衰シャッター装置であって、
   少なくとも２つのシャッター翼が閉の構成であるときに露光領域に対する光を遮断するように構成された前記少なくとも２つのシャッター翼（１）と、
   前記少なくとも２つのシャッター翼（１）を、同時に前記閉の構成または開の構成に駆動するように構成されたシャッター動作アーム（２）と、
   前記シャッター動作アーム（２）を駆動又は制動し、前記少なくとも２つのシャッター翼（１）を同時に前記開又は閉の構成にする、ように構成された磁気減衰制動モータ（３）と、
   を備える、自己減衰シャッター装置。
2. 請求項１記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記磁気減衰制動モータ（３）は、静翼（３０１）と、移動体（３０２）と、磁気減衰制動モジュール（３０３）と、を有し、
   前記移動体（３０２）は、前記静翼（３０１）および前記磁気減衰制動モジュール（３０３）に対し相対移動可能であり、
   前記移動体（３０２）は、動作フレーム（４）を介して前記シャッター動作アーム（２）に連結されている、
   自己減衰シャッター装置。
3. 請求項２記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記静翼（３０１）は、磁石（３−２）と、鉄コアキャップ（３−３）と、鉄コア（３−４）と、を有し、
   前記磁石（３−２）は、前記鉄コアキャップ（３−３）と、前記鉄コア（３−４）に連結されている、
   自己減衰シャッター装置。
4. 請求項２記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記移動体（３０２）は、移動体コイル（３−６）が巻かれたコイルボビン（３−５）を有し、
   前記コイルボビン（３−５）は、軸対称の構造を有し、
   第１の軸方向磁化減衰磁石（３−７１）および第２の軸方向磁化減衰磁石（３−７２）は、前記コイルボビン（３−５）の水平の対称軸の上側及び下側のそれぞれに固定して設けられ、
   前記第１の軸方向磁化減衰磁石（３−７１）および前記第２の軸方向磁化減衰磁石（３−７２）は、その間に配置された第１の通常磁化減衰磁石（３−８１）と、第２の通常磁化減衰磁石（３−８２）と、を有する、
   自己減衰シャッター装置。
5. 請求項４記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記コイルボビン（３−５）の水平の対称軸の上側及び下側に配置された前記第１の軸方向磁化減衰磁石（３−７１）は、同一方向に磁化されており、
   前記コイルボビン（３−５）の水平の対称軸の上側及び下側に配置された前記第２の軸方向磁化減衰磁石（３−７２）は、同一方向に磁化されており、
   前記第１の軸方向磁化減衰磁石（３−７１）および前記第２の軸方向磁化減衰磁石（３−７２）は、反対方向に磁化されている、
   自己減衰シャッター装置。
6. 請求項３記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記磁気減衰制動モジュール（３０３）は、相互に対称の上半分部と下半分部とを有しており、第１の減衰磁石（３−１０１）と、反対方向に磁化された第２減衰磁石（３−１０２）と、を有しており、
   前記第１の減衰磁石（３−１０１）は、第１の減衰バネ（３−１１１）を介して前記鉄コア（３−４）に固定して連結されており、
   前記第２の減衰磁石（３−１０２）は、第２の減衰バネ（３−１１２）を介して前記磁気減衰制動モータ（３）に設けられた固定フレーム（３−９）に固定して連結されている、
   自己減衰シャッター装置。
7. 請求項１記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記シャッター動作アーム（２）は、対称の４バーリンク機構であり、
   該４バーリンク機構は、前記少なくとも２つのシャッター翼（１）にちょうつがいで接続された第１の端と、前記第１の端に対称で、動作フレーム（４）にちょうつがいで接続された第２の端と、を有し、
   前記動作フレーム（４）は、前記磁気減衰制動モータ（３）に連結されている、
   自己減衰シャッター装置。
8. 請求項１記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記少なくとも２つのシャッター翼（１）は、スルース型である、
   自己減衰シャッター装置。
9. 請求項１記載の自己減衰シャッター装置であって、
   前記少なくとも２つのシャッター翼（１）は、硬化されたアルミニウム又はセラミックシートから形成されている、
   自己減衰シャッター装置。
10. 請求項１記載の自己減衰シャッター装置であって、
    前記少なくとも２つのシャッター翼（１）は、反射性の材料で表面被覆されている、
    自己減衰シャッター装置。

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