JP2018203579A - クロロシラン類の回収方法及びクロロシラン類回収装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、実施形態ではクロロシラン回収配管9から一部のクロロシラン液をシャワーノズル31に循環させるようにしたが、別工程により用意したクロロシラン液を用いて冷却するようにしてもよい。
2 ガス供給管
3 冷却室
4 懸濁液貯留室
5 分離板
6 じゃま板
8 フィルター
9 クロロシラン回収配管
11 ガス排出口
21 ガス供給口
31 シャワーノズル
32 循環路
33 ポンプ
41 第一の空間部
42 第二の空間部
43 懸濁液抜き取り口
44 排液口
45 円弧板
46 抜取管
47 排液管
48 混合配管
71 センサ
72 制御部
73 調整バルブ
101 クロロシラン類回収装置
Claims (5)
- 金属シリコンと塩化水素の反応により生成されたクロロシラン類を含むガスを容器内に供給し、前記クロロシラン類を含むガスから塩化アルミニウムを除去し、クロロシラン類を回収する方法において、前記容器内に供給された前記クロロシラン類を含むガスにクロロシラン液を噴射して冷却し、冷却により生じたクロロシラン液と固化した塩化アルミニウムとの懸濁液の上澄み液を前記容器から排出し、該上澄み液と前記容器の底部から抜き出した懸濁液とを混合し、その混合液をフィルターに通過させて塩化アルミニウムを除去し、該フィルターを通過したクロロシラン液を回収することを特徴とするクロロシラン類の回収方法。
- 金属シリコンと塩化水素の反応により生成されたクロロシラン類を含むガスを容器内に供給し、前記クロロシラン類を含むガスから塩化アルミニウムを除去し、クロロシラン類を回収する装置において、
前記容器の高さ方向の中央部に、クロロシラン類を含むガスを前記容器内部に供給するガス供給口が設けられ、
前記ガス供給口よりも上方位置に、該ガス供給口から供給されたガスにクロロシラン液を噴射するシャワーノズルを有する冷却室と、該冷却室を通過したガスを取り出すガス排出口とが設けられ、
前記ガス供給口より下方位置に、冷却により生じたクロロシラン液と固化した塩化アルミニウムとの懸濁液を貯留する懸濁液貯留室が設けられ、
前記懸濁液貯留室に、該懸濁液貯留室の底部を除き内部を二分する分離板が上下方向に沿って設けられ、
前記懸濁液貯留室の底部に懸濁液抜き取り口が設けられ、
前記分離板により二分された一方の空間部の上方を覆うようにじゃま板が設けられ、
該じゃま板より下方位置に、前記一方の空間部から懸濁液の上澄み液をオーバーフローさせる排液口が設けられることを特徴とするクロロシラン類回収装置。 - 前記懸濁液抜き取り口から排出される懸濁液と前記排液口から排出される上澄み液とを混合状態で通過させて塩化アルミニウムを除去するフィルターと、
該フィルターを通過したクロロシラン液を回収するクロロシラン回収配管とが設けられることを特徴とする請求項2に記載のクロロシラン類回収装置。 - 前記クロロシラン回収配管に、クロロシラン液の一部を前記シャワーノズルに供給する循環路が接続されていることを特徴とする請求項3に記載のクロロシラン類回収装置。
- 前記懸濁液貯留室に、懸濁液の液面位置を検知するセンサが設けられ、
前記クロロシラン回収配管に、前記センサにより検知される液面位置に応じて、回収するクロロシラン液の液量と前記循環路に供給するクロロシラン液の液量との比率を調節する調整バルブが設けられていることを特徴とする請求項4に記載のクロロシラン類回収装置。
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