JP2018194555A - 物体の幾何学的な計測装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
これに対応する参照体の第2点までの第2距離も測定するように形成されている。距離計測装置を用いて導き出されうる第1距離は、固有の計測信号を示す一方で、計測された第2距離に基づいて、距離計測装置と、これも同様に保持部に可動で配置されている参照体との間の、例えば回転による相対的な位置ずれも導き出しうる。計測されるべき第2距離に基づいた限りで、計測された第1距離についての距離修正を行い得る。
2 延長部分
10 計測装置
12 担体
14 物体
14a 外側縁
14b 外側縁
15 表面
18 参照物体
20 参照物体
21 点
22 参照面
23 点
24 参照面
26 保持部
28 参照体
30 参照面
32 軸受
33 回転軸
34 距離センサー
36 距離センサー
38 距離
40 距離
42 計測点
44 計測点
46 距離
48 距離
50 参照センサー
51 距離
52 参照センサー
53 距離
55 距離
60 制御部
70 距離計測装置
100 装置
102 物体保持部
104 枠部
105 脚部
106 脚部
108 連結梁
110 基部
112 ブーム
114 ブーム
126 保持部
128 参照体
130 参照面
140 距離
144 計測点
150 参照センサー
152 参照センサー
154 参照センサー
Claims (14)
- 物体(14)の幾何学的な計測装置であって、
前記物体(14)用の担体(12)と、
前記担体(12)に対して固定可能な少なくとも1つの参照物体(18、20)と、
少なくとも1つの方向(x、z)で、前記参照物体(18、20)に対して可動である保持部(126)であって、前記保持部に、参照体(128)と距離計測装置(70)とが配置されていて、前記距離計測装置(70)は、前記物体(14)と前記参照体(128)との間の距離(38、140)を計測するために構成されている、保持部と、
を備え、
前記保持部(126)または参照体(128)には、前記参照物体(18、20)側で第1および第2参照センサー(150、152)が互いに距離を置いて配置されていて、前記参照センサーは、前記参照物体(18、20)までの第1および第2距離(51、53)を計測するために形成されている
装置。 - 前記第1参照センサー(150)は、前記参照物体(18)の、前記保持部(126)または参照体(138)側にある参照面(22)の第1点(21)までの前記第1距離(51)を計測するために形成されている請求項1に記載の装置。
- 前記第2センサー(150)は、前記参照物体(18)の、前記保持部(126)または前記参照体(138)側にある前記参照面(22)の第2点(23)までの前記第2距離(53)を計測するために形成されている請求項1に記載の装置。
- 前記参照面(22)の前記第1点(21)と前記第2点(23)との間の距離(d)は、前記第1参照センサーと前記第2参照センサー(150、152)との間の距離(D)に相関する請求項3に記載の装置。
- 前記装置はさらに制御部(60)を有し、前記制御部を用いて、前記第1距離(51)と前記第2距離(52)とから、前記保持部(126)またはその参照体(128)の前記参照物体(18、20)に対する位置および位置合わせを決定可能である請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記保持部(126)は、第1方向(x)および第2方向(z)に伸びた平面(x、z)中で,第1および第2参照物体(18、20)に対して相対的に可動である請求項1から5のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第1参照センサー(150)および前記第2参照センサー(152)は、前記第1参照物体(18)に位置合わせされていて、第3参照センサー(154)は、前記第2参照物体(20)に対して位置合わせされている請求項6に記載の装置。
- 前記第1参照物体(18)は、前記第1方向(x)に平行に位置合わせされていて、前記第2参照物体(20)は、前記第2方向(z)に平行に位置合わせされている上記請求項6または7に記載の装置。
- 前記距離計測装置(70)は、第1距離センサー(34)と第2距離センサー(36)とを有し、前記これらの距離センサーは、前記参照体(128)に対して相対的に回転可能に軸支されている請求項1から8のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第1距離センサー(34)は前記担体(12)側にあり、前記第2距離センサー(36)は前記参照体(128)側にある請求項9に記載の装置。
- 物体保持部(102)が、前記担体(12)に回転可能、または並進的に位置ずれ可能に軸支されている請求項1から10のいずれか1項に記載の装置。
- 前記担体(12)の上方で、基部(110)に可動で配置されている保持部(126)は、前記物体(14)の対向する外側縁(14a、14b)を越えて移動可能である請求項1から11のいずれか1項に記載の装置。
- 上記請求項1から12のいずれか1項に記載の装置を用いた、物体(14)の幾何学的な計測方法であって、前記担体(12)に軸支された物体(14)の表面輪郭(15)を、前記距離計測装置(70)を用いてスキャンし検出する方法が、
前記距離計測装置(70)を用いて、前記物体(14)の複数の計測点(42)と、前記参照体(128)の複数の参照点(140)との間の複数の距離を計測し、前記物体(14)の表面画像を生成する工程と、
前記第1および第2参照センサー(150、152)を用いて、前記参照物体(18、20)に対する、前記保持部(126)またはその参照体(128)の相対的な位置および位置合わせを導き出す工程と、
・前記表面画像を、前記参照物体(18、20)に対する、前記保持部(126)またはその参照体(128)の相対的な位置および位置合わせに基づいて修正する工程と
により行われる方法。 - 上記請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置を用いて、物体(14)の幾何学的な計測をするコンピュータプログラムであって、
前記担体(12)に軸支された物体(14)の前記表面輪郭(15)を、前記距離計測装置(70)を用いて走査を行って検出するためのプログラム手段と、
前記物体(14)の計測点(42)と、前記参照体(128)の参照点(140)との間の複数の距離を計測するための、かつ、前記物体(14)の表面画像を生成するためのプログラム手段と、
第1および第2参照センサー(150、152)を用い、前記保持部(126)またはその参照体(128)の、前記参照物体(18、20)に対する相対的な位置および位置合わせを導き出すためのプログラム手段と、
前記保持部(126)またはその参照体(128)の、前記参照物体(18、20)に対する相対的な前記位置および位置合わせに基づいて、前記表面画像の修正を行うプログラム手段と、
を含むコンピュータプログラム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014007201.0 | 2014-05-19 | ||
DE102014007201.0A DE102014007201B4 (de) | 2014-05-19 | 2014-05-19 | Vorrichtung und Verfahren zur geometrischen Vermessung eines Objekts |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016568807A Division JP6370928B2 (ja) | 2014-05-19 | 2015-05-13 | 物体の幾何学的な計測装置および方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018194555A true JP2018194555A (ja) | 2018-12-06 |
Family
ID=54140387
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016568807A Active JP6370928B2 (ja) | 2014-05-19 | 2015-05-13 | 物体の幾何学的な計測装置および方法 |
JP2018131679A Pending JP2018194555A (ja) | 2014-05-19 | 2018-07-11 | 物体の幾何学的な計測装置および方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016568807A Active JP6370928B2 (ja) | 2014-05-19 | 2015-05-13 | 物体の幾何学的な計測装置および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10371511B2 (ja) |
EP (1) | EP3146293B1 (ja) |
JP (2) | JP6370928B2 (ja) |
CN (1) | CN106461385B (ja) |
DE (1) | DE102014007201B4 (ja) |
WO (1) | WO2015180826A2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014007201B4 (de) * | 2014-05-19 | 2016-03-10 | Luphos Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur geometrischen Vermessung eines Objekts |
JP6769883B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2020-10-14 | 株式会社日立ビルシステム | エレベーター用計測装置およびその計測方法 |
EP3418681B1 (en) * | 2017-06-22 | 2020-06-17 | Hexagon Technology Center GmbH | Calibration of a triangulation sensor |
CN109556880A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 裕隆汽车制造股份有限公司 | 影像式车辆防撞模块的测试装置以及测试方法 |
CN108120412B (zh) * | 2018-01-24 | 2023-08-22 | 三一汽车制造有限公司 | 间隙检测装置和机械设备 |
EP3608626A1 (de) * | 2018-08-10 | 2020-02-12 | Taylor Hobson Limited | Vorrichtung und verfahren zur geometrischen vermessung eines objekts |
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JP2010237189A (ja) | 2009-03-11 | 2010-10-21 | Fujifilm Corp | 3次元形状測定方法および装置 |
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CN102713504B (zh) | 2010-12-17 | 2014-08-27 | 松下电器产业株式会社 | 表面形状测定方法及表面形状测定装置 |
DE102012017015B4 (de) * | 2012-08-20 | 2015-03-19 | Luphos Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung von Oberflächen |
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-
2014
- 2014-05-19 DE DE102014007201.0A patent/DE102014007201B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-05-13 EP EP15763487.4A patent/EP3146293B1/de not_active Not-in-force
- 2015-05-13 US US15/312,481 patent/US10371511B2/en active Active
- 2015-05-13 CN CN201580026472.7A patent/CN106461385B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-05-13 WO PCT/EP2015/000986 patent/WO2015180826A2/de active Application Filing
- 2015-05-13 JP JP2016568807A patent/JP6370928B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-11 JP JP2018131679A patent/JP2018194555A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170089695A1 (en) | 2017-03-30 |
CN106461385A (zh) | 2017-02-22 |
WO2015180826A2 (de) | 2015-12-03 |
CN106461385B (zh) | 2019-08-30 |
US10371511B2 (en) | 2019-08-06 |
DE102014007201B4 (de) | 2016-03-10 |
EP3146293A2 (de) | 2017-03-29 |
WO2015180826A3 (de) | 2016-03-03 |
EP3146293B1 (de) | 2018-12-05 |
DE102014007201A1 (de) | 2015-11-19 |
JP2017519203A (ja) | 2017-07-13 |
JP6370928B2 (ja) | 2018-08-08 |
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Legal Events
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