JP2018194377A - 測定装置 - Google Patents
測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018194377A JP2018194377A JP2017096944A JP2017096944A JP2018194377A JP 2018194377 A JP2018194377 A JP 2018194377A JP 2017096944 A JP2017096944 A JP 2017096944A JP 2017096944 A JP2017096944 A JP 2017096944A JP 2018194377 A JP2018194377 A JP 2018194377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relay
- state
- contact
- relays
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
11 信号出力部
12Ha〜12Hc,12La〜12Lc プローブ
14 測定部
16 処理部
21H 高電位側端子
21L 低電位側端子
22Ha〜22Hc,22La〜22Lc リレー
23Ha〜23Hc,23La〜23Lc 補助リレー
32Hb,32Lb,33Ha,33Hb,33La,33Lb 接点
50 診断処理
C 経路
Rm 抵抗値
Rr 規定値
Sa〜Sd 指示信号
Sm 測定用信号
Claims (3)
- 測定用信号を出力する信号出力部の一方の端子と接触状態の接触対象に当該測定用信号を供給するための第1の測定用端子との接続状態および非接続状態を切り替え指示に従って切り替える第1のリレーと、前記信号出力部の他方の端子と接触状態の前記接触対象に前記測定用信号を供給するための第2の測定用端子との接続状態および非接続状態を前記切り替え指示に従って切り替える第2のリレーと、前記測定用信号を用いて被測定量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、
前記各リレーの動作の良否を診断する診断処理を実行する処理部と、
第1の接点および第2の接点を有して当該各接点間を開閉してオン状態およびオフ状態を切り替えると共に、前記第1のリレーにおける前記第1の測定用端子に接続された接点に前記第1の接点が接続された第1補助リレーと、
第3の接点および第4の接点を有して当該各接点間を開閉してオン状態およびオフ状態を切り替えると共に、前記第2のリレーにおける前記第2の測定用端子に接続された接点に前記第3の接点が接続されかつ前記第1補助リレーにおける前記第2の接点に前記第4の接点が接続された第2補助リレーとを備え、
前記処理部は、前記診断処理において、
前記第1のリレーおよび前記第2のリレーの双方に対して前記接続状態への前記切り替え指示をすると共に前記第1の補助リレーおよび前記第2の補助リレーの双方をオン状態とさせた状態で前記測定部によって測定された前記被測定量に基づいて、当該各リレー、当該各補助リレーおよび前記信号出力部を含む経路が閉状態か開状態かを判定する判定処理を実行し、当該判定処理において前記経路が閉状態と判定したときに前記第1のリレーおよび前記第2のリレーの双方についての前記接続状態への切り替え動作が良好であると診断し、当該判定処理において前記経路が開状態と判定したときに前記第1のリレーおよび前記第2のリレーの少なくとも一方についての前記接続状態への切り替え動作が不良の可能性があると診断する第1工程と、
前記第1工程において前記第1のリレーおよび前記第2のリレーの双方の前記接続状態への切り替え動作が良好であると診断した場合に、当該各リレーのいずれか一方に対して前記非接続状態への前記切り替え指示をした状態で前記判定処理を実行し、当該判定処理において前記経路が開状態と判定したときに当該いずれか一方のリレーについての前記非接続状態への切り替え動作が良好であると診断し、当該判定処理において前記経路が閉状態と判定したときに当該いずれか一方のリレーについての前記非接続状態への切り替え動作が不良であると診断する第2工程とを実行する測定装置。 - 前記処理部は、前記第2工程において、前記接続状態への切り替え動作が良好であると診断した前記各リレーの他方に対して前記非接続状態への前記切り替え指示をした状態で前記判定処理を実行し、当該判定処理において前記経路が開状態と判定したときに当該他方のリレーについての前記非接続状態への切り替え動作が良好であると診断し、当該判定処理において前記経路が閉状態と判定したときに当該他方のリレーについての前記非接続状態への切り替え動作が不良であると診断する請求項1記載の測定装置。
- 前記測定部は、前記処理部によって全ての前記リレーの動作が良好と診断されたときに前記接触対象としての測定対象についての前記被測定量を測定する請求項1または2記載の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017096944A JP6957195B2 (ja) | 2017-05-16 | 2017-05-16 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017096944A JP6957195B2 (ja) | 2017-05-16 | 2017-05-16 | 測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018194377A true JP2018194377A (ja) | 2018-12-06 |
JP6957195B2 JP6957195B2 (ja) | 2021-11-02 |
Family
ID=64570193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017096944A Active JP6957195B2 (ja) | 2017-05-16 | 2017-05-16 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6957195B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112019005155T5 (de) | 2018-10-15 | 2021-07-08 | Denso Corporation | Halbleitervorrichtung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5923676U (ja) * | 1982-08-04 | 1984-02-14 | 株式会社アドバンテスト | 自己診断機能を持つic試験装置 |
JPS63252271A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-19 | Toshiba Corp | 半導体検査装置 |
JP2007212183A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Yokogawa Electric Corp | 半導体検査装置 |
JP2013076633A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
JP2015087272A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 日本電産リード株式会社 | 接触子のメンテナンス方法及び検査装置 |
JP2018189495A (ja) * | 2017-05-08 | 2018-11-29 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
-
2017
- 2017-05-16 JP JP2017096944A patent/JP6957195B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5923676U (ja) * | 1982-08-04 | 1984-02-14 | 株式会社アドバンテスト | 自己診断機能を持つic試験装置 |
JPS63252271A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-19 | Toshiba Corp | 半導体検査装置 |
JP2007212183A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Yokogawa Electric Corp | 半導体検査装置 |
JP2013076633A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
JP2015087272A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 日本電産リード株式会社 | 接触子のメンテナンス方法及び検査装置 |
JP2018189495A (ja) * | 2017-05-08 | 2018-11-29 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112019005155T5 (de) | 2018-10-15 | 2021-07-08 | Denso Corporation | Halbleitervorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6957195B2 (ja) | 2021-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012117991A (ja) | 回路基板検査装置 | |
CN108254671B (zh) | 基于内插器的测试程序评估 | |
JP2012013590A (ja) | 測定装置および基板検査装置 | |
JP6957195B2 (ja) | 測定装置 | |
JP6961385B2 (ja) | 検査装置 | |
JP6238795B2 (ja) | 抵抗測定装置および基板検査装置 | |
JP6918659B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP2012013589A (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6618826B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP5485012B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP4314096B2 (ja) | 半導体集積回路検査装置および半導体集積回路検査方法 | |
JP4858216B2 (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2019007880A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
JP2014074714A (ja) | 回路基板検査装置 | |
JPS63252271A (ja) | 半導体検査装置 | |
JP5101339B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4863786B2 (ja) | 接触試験装置および接触試験方法 | |
JP5988557B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6965110B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2010014597A (ja) | 可動式コンタクト検査装置 | |
JPH04315068A (ja) | プリント回路板の検査装置 | |
JP5512384B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6400329B2 (ja) | 表示制御装置、基板検査装置および表示方法 | |
JP2006058104A (ja) | 半導体装置の検査装置 | |
JPH0613441A (ja) | 半導体集積回路装置の検査測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210921 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211006 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6957195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |