JP2018178846A5

JP2018178846A5 -

Info

Publication number: JP2018178846A5
Application number: JP2017078915A
Authority: JP
Filing date: 2017-04-12
Publication date: 2020-05-21

Claims

メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示または前記メインポンプを停止させるための停止指示を受け付けてスイッチ信号を出力する指示受付部と、
出力された前記スイッチ信号を受け付けて、前記メインポンプを起動または停止させるとともに、前記ブースタポンプの起動／停止を指示するための起動／停止信号を出力するメインポンプインバータと、
前記メインポンプインバータから出力された起動／停止信号を検出して前記ブースタポンプを起動または停止させるブースタポンプインバータと、
を備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
前記メインポンプインバータは、前記メインポンプが起動した後に、前記ブースタポンプの起動を指示するための起動信号を出力しうるように構成され、前記ブースタポンプインバータは、前記メインポンプインバータから出力された前記起動信号に基づいて、前記ブースタポンプを起動するかどうかを判定して、前記ブースタポンプを起動するように構成された請求項1記載の真空ポンプ装置。
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置であって、前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプの運転を制御するメインポンプインバータと、
前記ブースタポンプの運転を制御するブースタポンプインバータと、前記ブースタポンプの運転中の異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部と、
を備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
前記ブースタポンプインバータは、前記指示受付部が前記起動指示を受け付けたときに、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１または３記載の真空ポンプ装置。
前記ブースタポンプインバータは、前記指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間が経過した時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１または３記載の真空ポンプ装置。
前記ブースタポンプインバータは、前記指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項５記載の真空ポンプ装置。
前記ブースタポンプインバータは、前記指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上であり、かつ前記メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項６記載の真空ポンプ装置。
前記真空ポンプ装置は、
前記指示受付部が前記停止指示を受け付けて、前記メインポンプが停止する時に、前記ブースタポンプを停止するかどうかを前記停止指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを停止するブースタポンプ停止部を備えることを特徴とする、請求項３ないし７のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプの異常を検知するメインポンプ異常検知部と、
前記メインポンプ異常検知部が前記メインポンプの異常を検知したときに、前記メインポンプと前記ブースタポンプを停止する異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
前記真空ポンプ装置は、
前記ブースタポンプの異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、
前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の真空ポンプ装置。
前記真空ポンプ装置は、前記メインポンプ及び／又は前記ブースタポンプの回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部を備えることを特徴とする、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御方法であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御方法は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付けるステップと、
前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するステップとを備えることを特徴とする運転制御方法。