JP4820304B2 - 真空ポンプユニット - Google Patents
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Description
前記ブースターポンプは、ルーツ型ポンプであり、前記メインポンプはスクリュー型ポンプ若しくはルーツ型ポンプであることを特徴とする。
11 装置枠体
12 ブースターポンプ設置台
13 ブースターポンプ
14 アジャスタフット
15 床面
16 メインポンプ
17 キャスター
18 アジャスタフット
21 集合吸気管
22 中継集合管
23 集合排気管
31 ポンプ本体
32 駆動用モータ
58 端子板
71 温度センサ
72 温度センサ
73 温度センサ
74 温度センサ
77 背圧センサ
78 圧力センサ
80 冷却水供給源
81 バルブ
82 配管
83 配管
84 配管
85 冷却水流量計
86 バルブ
87 配管
88 冷却水流量計
90 窒素ガス供給源
91 レギュレータ
93 配管
100 制御盤
121 コントローラ
122 制御装置
123 制御装置
124 全体制御部
Claims (8)
- 上下方向の所定位置にブースターポンプ設置台を設けた装置枠体を備え、該ブースターポンプ設置台に複数台のブースターポンプを搭載した装置枠体を床面に設置し、前記ブースターポンプ設置台の下方の床面に複数台のメインポンプを配置し、
前記複数台のブースターポンプの各吸込口を集合吸気管に並列に接続し、該複数台のブースターポンプの各排気口を中継集合管に並列に接続し、該中継集合管に前記複数台のメインポンプの各吸気口を並列に接続し、該複数台のメインポンプの各排気口を集合排気管に接続したことを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1に記載の真空ポンプユニットにおいて、
前記複数台のメインポンプにはそれぞれ移動用キャスターと固定用アジャスタフットを設けていることを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1又は2に記載の真空ポンプユニットにおいて、
前記ブースターポンプは、ルーツ型ポンプであり、前記メインポンプはスクリュー型ポンプ若しくはルーツ型ポンプであることを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の真空ポンプユニットにおいて、
窒素ガス供給手段を設け、
前記ブースターポンプ及びメインポンプのそれぞれは、前記窒素ガス供給手段から、シール用ガスとして窒素ガスが供給され、ポンプケーシング内に潤滑油が流入しない構成であることを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の真空ポンプユニットにおいて、
窒素ガス供給手段を設け、
前記ブースターポンプ及びメインポンプのそれぞれは、排気するプロセスガスによるポンプの腐食、反応副生成物の堆積を低減するためポンプの所定部に前記窒素ガス供給手段から希釈用パージガスとして窒素ガスが供給されることを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の真空ポンプユニットにおいて、
前記ブースターポンプ及びメインポンプのそれぞれは、制御盤により冷却水や窒素ガス等のユーティリティとポンプの各部状態をセンサで確認しながら運転され、ウォーニング信号とアラーム信号の2段階の警報を出力するようになっており、
前記ウォーニング信号は当該真空ポンプユニットが正常範囲を外れているがポンプの運転が継続できる場合に出力し、前記アラーム信号は、当該真空ポンプユニットが正常範囲を外れ、且つ安全上限界でポンプ運転を停止するに場合に出力することを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項1乃至6に記載の真空ポンプユニットにおいて、
複数台の前記ブースターポンプ及び前記メインポンプの制御を集中して制御できる集中制御装置を具備したことを特徴とする真空ポンプユニット。 - 請求項7に記載の真空ポンプユニットにおいて、
複数の前記ブースターポンプ及び前記メインポンプをそれぞれ一括して制御する制御装置を具備したことを特徴とする真空ポンプユニット。
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JP2007009621A JP4820304B2 (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 真空ポンプユニット |
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Family Applications (1)
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- 2007-01-18 JP JP2007009621A patent/JP4820304B2/ja active Active
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