JP6445292B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
においては、作業員が真空ポンプを押したり引いたりして車輪を回転させることにより真空ポンプを移動させている。しかしながら、上述したように近年の真空ポンプの大型化により真空ポンプの重量が大きくなっているので、人力で真空ポンプを移動させることができたとしても、重量物である真空ポンプの移動を停止させるには大きな力を要する。場合によっては、移動している真空ポンプが他の製造設備に衝突してしまったり、移動している真空ポンプと固定された障害物との間に作業員が挟まれたりする恐れがある。
置と、前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記ブレーキ解除部を制御するように構成された制御部と、を有し、前記制御部は、外部からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成される。
9形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの外側に設けられ、障害物との距離を測定する近接センサを有し、前記制御部は、前記近接センサが測定した前記距離が所定値以下のときに、前記真空ポンプが前記障害物に接近したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される。
図2は、第1実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。真空ポンプ30は、筐体39と、真空ポンプ30を移動させるための一対の前車輪35a(図2では一方のみ図示される)及び一対の後車輪35b(図2では一方のみ図示される)と、図1に示した真空容器22内の気体を排気するためのポンプ本体34と、ポンプ本体34を駆動させるためのポンプモータ33と、ポンプモータ33の回転を制御するポンプモータドライバ32と、ポンプモータドライバ32を制御する制御部31と、後車輪35bを制動する機械式ブレーキ38と、機械式ブレーキ38による後車輪35bの回転の制動を解除するためのブレーキワイヤ37と、ブレーキワイヤ37を操作するためのレバー36と、を有する。
bの制動を解除する。続いて、作業者は、後車輪35bの制動を解除したまま任意の方向に真空ポンプ30を押す又は引くことにより、真空ポンプ30を任意の方向に移動させることができる。移動している真空ポンプ30を停止させるときは、作業者はレバー36の操作を止める(レバー36から手を放す)ことにより、機械式ブレーキ38により後車輪35bが制動される。
図3は、第2実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第2実施形態に係る真空ポンプ30は、前車輪35a及び後車輪35bを駆動させる車輪モータ41と、車輪モータ41の回転を制御する車輪モータドライバ40と、前車輪35a及び後車輪35bを制動する電磁ブレーキ43a,43bと、前車輪35a及び後車輪35bの向きを調節可能に構成されたステアリング装置42と、真空ポンプ30に加えられた外力を検出するように構成されたひずみセンサ46と、を有する。
46が検出する外力に応じて、ブレーキ解除部31aで前車輪35a及び後車輪35bの制動を解除し、ステアリング装置42で真空ポンプ30の移動方向を調節し、車輪モータ41を駆動させるように構成される。このため、重量物である真空ポンプ30の移動を電動でアシストすることができ、作業者は容易に真空ポンプ30を所望の方向に移動させることができる。したがって、重量物の真空ポンプ30が高重量のドライ真空ポンプであっても、少ない作業者(例えば一人の作業者)で、所望の方向に移動させることができる。
図4は、第3実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第3実施形態に係る真空ポンプ30は、制御部31と通信可能に構成され、作業者からの指示を入力可能に構成された入力部44を有する。入力部44は、例えばタッチパネルやキーパッド等からなり、作業者が入力部44で入力した情報は、制御部31に送られる。入力部44には、真空ポンプ30を前進、後退、左旋回、及び右旋回させるためのそれぞれのボタンが設けられる。
図5は、第4実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第4実施形態に係る真空ポンプは、図3及び図4に示したポンプモータドライバ32及び車輪モータドライバ40に代えて、ポンプモータ33及び車輪モータ41の回転を制御するモータドライバ48(インバータ)と、モータドライバ48とポンプモータ33との電気的接続を開閉可能に構成された電磁開閉器45a(第1開閉器)と、モータドライバ48と車輪モータ41との電気的接続を開閉可能に構成された電磁開閉器45b(第2開閉器)と、を有する。
動されることがない。このため、ポンプ本体34の駆動中(図1に示した真空容器22内の気体の排気中)に、真空ポンプ30が誤作動により移動することが確実に防止される。
図6は、第5実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第5実施形態に係る真空ポンプ30は、車輪モータ41、ステアリング装置42、及びブレーキ解除部31aに電力を供給可能なバッテリ47を有する。バッテリ47は、基本的には真空ポンプ30が移動するために必要な電力を供給するための電源であるが、制御部31、ひずみセンサ46にも電力を供給するように構成されていてもよい。
図7は、第6実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第6実施形態に係る真空ポンプ30は、筐体39の外側に設けられるバンパ49と、真空ポンプ30の外側にバンパ49を介して設けられる圧力センサ50と、を有する。バンパ49及び圧力センサ50は、真空ポンプ30の周囲を取り囲むように設けることができる。
きの衝撃を和らげる。
図8は、第7実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第7実施形態に係る真空ポンプ30は、図7に示した圧力センサ50に代えて、真空ポンプ30の外側にバンパ49を介して設けられる近接センサ51を有する。近接センサ51は、バンパ49と共に真空ポンプ30の周囲を取り囲むように設けることができる。近接センサ51として、例えば赤外線式の近接センサを採用することができる。
図9は、第8実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第8実施形態に係る真空ポンプ30は、入力部44により入力された情報を記憶可能なメモリ52を制御部31内に有する。メモリ52は、真空ポンプ30が存在する現在地と、真空ポンプ30の目的地と、現在地から目的地までの走行経路を記憶することができる。
図10は、第9実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第9実施形態に係る真空ポンプ30は、GPS(Global Positioning System)衛星から、真空ポンプ30の現在地情報を受信可能に構成されるGPS受信機53を有する。GPS受信機53は、制御部31と通信可能に構成され、受信した真空ポンプ30の現在地情報を制御部31に送信するように構成される。
するので、真空ポンプ30の現在地を手入力することなく、メモリ52に現在地を記憶させることができる。
図11は、第10実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第10実施形態に係る真空ポンプ30は、RFID(Radio Frequency IDentifier)タグを読み取り可能なRFIDリーダ54を有する。RFIDリーダ54は、制御部31と通信可能に構成される。真空ポンプ30の現在地情報を含むRFIDタグを準備し、RFIDリーダ54でRFIDタグを読み取ることで、RFIDリーダ54は、読み取った現在地情報を制御部31に送信するように構成される。
図12は、第11実施形態に係る真空ポンプ30の概略側断面図である。第11実施形態に係る真空ポンプ30は、真空ポンプ30を昇降させることができるジャッキ55を有する。作業者は、入力部44に所望の高さを入力することにより、ジャッキ55が上昇させる真空ポンプ30の高さを設定することができる。
31…制御部
31a…ブレーキ解除部
33…ポンプモータ
34…ポンプ本体
35a…前車輪
35b…後車輪
38…機械式ブレーキ
41…車輪モータ
42…ステアリング装置
43a,43b…電磁ブレーキ
44…入力部
45a,45b…電磁開閉器
46…ひずみセンサ
47…バッテリ
48…モータドライバ
50…圧力センサ
51…近接センサ
52…メモリ
53…GPS受信機
54…RFIDリーダ
55…ジャッキ
Claims (13)
- 気体を排気するための真空ポンプであって、
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体を駆動するためのポンプモータと、
前記真空ポンプを移動させるための車輪と、
前記車輪を制動するように構成されたブレーキと、
前記車輪の制動を解除可能に構成されたブレーキ解除部と、
前記車輪を駆動させるように構成された車輪モータと、
前記車輪の向きを調節することで前記真空ポンプの移動方向を調節するように構成されたステアリング装置と、
前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記ブレーキ解除部を制御するように構成された制御部と、
前記ポンプモータ及び前記車輪モータの回転を制御するモータドライバと、
前記モータドライバと前記ポンプモータとの電気的接続を開閉可能に構成された第1開閉器と、
前記モータドライバと前記車輪モータとの電気的接続を開閉可能に構成された第2開閉器と、を有し、
前記ブレーキは、前記ブレーキ解除部により前記車輪の制動が解除されているときを除いて、前記車輪を制動するように構成され、
前記制御部は、外部からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成され、
前記制御部は、前記第1開閉器及び前記第2開閉器のいずれか一方が閉じ且つ他方が開くように、前記第1開閉器及び前記第2開閉器を制御し、前記第1開閉器及び前記第2開閉器の開閉状態に応じて、前記モータドライバの出力を制御するように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプに加えられた外力を検出するように構成されたセンサを有し、
前記センサは、前記センサが検出した外力の情報を前記制御部に伝達するように構成され、
前記制御部は、前記センサが前記外力を検出したときに、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成され、
前記制御部は、前記センサが前記外力の検出をしないときに、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させ且つ前記車輪モータの駆動を停止させるように構成された、真空ポンプ。 - 請求項2に記載された真空ポンプにおいて、
前記制御部は、前記センサが検出した外力に基づいて前記外力の方向を算出し、前記真空ポンプの移動方向が前記外力の方向に一致するように前記ステアリング装置を制御するように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
作業者からの指示を入力可能に構成された入力部を有し、
前記制御部は、前記入力部に入力された作業者からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記前記ブレーキ解除部に電力を供給するためのバッテリを有する、真空ポンプ。 - 請求項5に記載された真空ポンプにおいて、
前記バッテリは、前記ポンプモータに電力を供給可能に構成され、
前記制御部は、外部電力の停電時に、前記バッテリから前記ポンプモータに電力を供給するように前記バッテリを制御する、真空ポンプ。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの外側に設けられる圧力センサを有し、
前記制御部は、前記圧力センサが所定値以上の圧力値を検出したときに、前記真空ポンプが障害物と接触したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし7のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの外側に設けられ、障害物との距離を測定する近接センサを有し、
前記制御部は、前記近接センサが測定した前記距離が所定値以下のときに、前記真空ポンプが前記障害物に接近したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記制御部は、前記真空ポンプが存在する現在地と、前記真空ポンプの目的地と、前記現在地から前記目的地までの走行経路を記憶可能なメモリを有し、
前記制御部は、作業者からの指示に応じて、前記走行経路に従って前記真空ポンプが移動するように、前記ブレーキ解除部、前記車輪モータ、及び前記ステアリング装置を制御するように構成される、真空ポンプ。 - 請求項9に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの現在地の情報を受信可能なGPS受信機を有し、
前記メモリは、前記GPS受信機で受信した前記現在地の情報を記憶する、真空ポンプ。 - 請求項9に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの現在地の情報を示すRFIDを読み取り可能なRFIDリーダを有し、
前記メモリは、前記RFIDリーダで読み取った前記現在地の情報を記憶する、真空ポンプ。 - 請求項1ないし11のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプを昇降可能なジャッキを有し、
前記ジャッキは、前記制御部からの指示により前記真空ポンプを所定の高さに昇降させるように構成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし12のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプは、ドライ真空ポンプである、真空ポンプ。
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