JP2018174335A5 - - Google Patents
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Claims (24)
- 伸張可能な集積回路(IC)システムであって、
フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板に配置されており、硬質半導体からなる第1の集積回路(IC)デバイスを備える第1のデバイスアイランドと、
前記フレキシブル基板に配置されており、硬質半導体からなる第2の集積回路(IC)デバイスを備える第2のデバイスアイランドと、
前記第1のICデバイスと前記第2のICデバイスと間の電気的な接続を維持しつつ前記第1のICデバイスと前記第2のICデバイスとの間の距離を変更可能であるように前記第1のICデバイスを前記第2のICデバイスに電気的に結合するフレキシブル電気相互接続部と、を備えるシステム。 - 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの各々は、幅または直径が約10〜100マイクロメートル(μm)である薄膜半導体を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は、前記第1のICデバイスを前記第2のICデバイスに電気的および機械的に結合し、前記フレキシブル電気相互接続部は、前記フレキシブル基板が平行移動または回転によって伸張されるとき、前記第1のICデバイスと前記第2のICデバイスと間の電気的な接続および完全性を維持する、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は半導体材料を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部の前記半導体材料は、前記硬質半導体の材料と同じである、請求項4に記載のシステム。
- 前記第1のデバイスアイランドおよび前記第2のデバイスアイランドは前記フレキシブル基板の第1の面に付けられており、前記フレキシブル電気相互接続部は前記フレキシブル基板の第2面から離れている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のデバイスアイランドおよび前記第2のデバイスアイランドはフレキシブル封止層の第1の面に付けられており、前記フレキシブル電気相互接続部は前記フレキシブル封止層の第2面から離れており、前記フレキシブル封止層は前記第1のデバイスアイランドと、前記第2のデバイスアイランドと、前記フレキシブル基板と前記フレキシブル封止層との間の前記フレキシブル電気相互接続部とを封止している、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は、前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスが互いに対し約180度以内で捻れるとき、電気的な接続および完全性を維持するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は単一の導体である、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は、前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスとの間の前記距離が1000%だけ増加するとき、電気的な接続および完全性を維持するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスのうちの少なくとも一方は、物理センサ、生物学センサ、化学センサ、LED、またはそれらの組み合わせを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスのうちの前記少なくとも一方は前記物理センサを含み、前記物理センサは、温度センサ、pHセンサ、光センサ、放射線センサ、圧力センサ、および接触センサから選択される、請求項11に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスのうちの前記少なくとも一方は前記生物学センサを含み、前記生物学センサは、放射線センサ、温度センサ、およびpHセンサから選択される、請求項11に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスのうちの少なくとも一方は、増幅器、バッファ、A/D変換器、D/A変換器、光収集器、電気機械トランスデューサ、圧電アクチュエータ、またはそれらの組み合わせを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスは高性能マイクロプロセッサを含み、前記第2のICデバイスは、物理センサ、生物学センサ、化学センサ、LED、またはそれらの組み合わせを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスは、フレキシブルポリマー材料によりコーティングされている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のデバイスアイランドおよび前記第2のデバイスアイランドは、各デバイスアイランドと前記フレキシブル基板との間のポリマー薄層を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のデバイスアイランド、前記第2のデバイスアイランド、および前記フレキシブル電気相互接続部は、前記フレキシブル基板内に封止されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部は、ポリマーパッシベーション層によって分離されている2つの相互接続層を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレキシブル電気相互接続部はポリマーパッシベーション層を備え、平行移動または回転による歪みがある状態において電気接続を維持する、請求項1に記載のシステム。
- 前記ポリマーパッシベーション層は、前記フレキシブル電気相互接続部のみを覆うようにパターン形成されている、請求項20に記載のシステム。
- 前記ポリマーパッシベーション層は、前記フレキシブル電気相互接続部の周囲に境界を残すようにパターン形成されている、請求項20に記載のシステム。
- 前記ポリマーパッシベーション層はポリイミドを含む、請求項20に記載のシステム。
- ポリイミドを含む前記ポリマーパッシベーション層は、前記第1のデバイスアイランドおよび前記第2のデバイスアイランドの少なくとも一部を覆う、請求項23に記載のシステム。
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