JP2020107660A - フレキシブル配線基板及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】基板にフレキシブル性及び伸縮性を与えることが容易なフレキシブル配線基板及び電子機器を提供する。【解決手段】フレキシブル配線基板は、複数の非伸縮部と、伸縮部とを具備する。上記複数の非伸縮部は、相互に離間する。上記伸縮部は、複数の上記非伸縮部を区画し、隣り合う上記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して上記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする。【選択図】図１

Description

本技術は、フレキシブル配線基板及び電子機器に関する。

特許文献１には、生体の動きに追従できる高い伸縮性を有する生体センサー・デバイスが開示されている。この生体センサー・デバイスは、非伸縮部と、非伸縮部と接続する伸縮自在の伸縮ストリップとを有し、伸縮ストリップが延び縮みすることで十分な伸縮性が呈される。伸縮ストリップは、蛇行状又は渦巻き状に湾曲して構成される。複数の非伸縮部は互いに離間して配置され、伸縮ストリップは隣り合う非伸縮部間に配置される。

特許文献１に記載される生体センサー・デバイスでは、伸縮ストリップ及び非伸縮部に配線層が形成されている。配線層を平面視したとき、複数の非伸縮部間には、伸縮ストリップが存在する領域と、配線層が除去された伸縮ストリップが存在しない領域とがある。

特開２０１７−１１３０８８号公報

特許文献１に記載される生体センサー・デバイスのように、隣り合う非伸縮部間に伸縮ストリップが存在しない領域が存在するように伸縮ストリップを形成する場合、伸縮ストリップが存在しない領域の配線層を除去する必要がある。伸縮ストリップは蛇行状又は渦巻き状に湾曲した形状のため、除去部分が微細である場合、除去すべき配線層が除去しきれないといった不具合が生じやすい。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、基板に伸縮性を与えることが容易なフレキシブル配線基板及び電子機器を提供することにある。

上記目的を達成するため、本技術の一形態に係るフレキシブル配線基板は、複数の非伸縮部と、伸縮部とを具備する。
上記複数の非伸縮部は、相互に離間する。
上記伸縮部は、複数の上記非伸縮部を区画し、隣り合う上記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して上記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする。

このような構成によれば、スリットの形成によって伸縮部に伸縮性を付与することができ、伸縮性を有するフレキシブル配線基板を得ることができる。

上記スリットは、隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する伸縮部と他の隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する伸縮部とを分離する第１のスリットを含んでもよい。

上記スリットは、隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する上記伸縮部に、上記隣り合う２つの非伸縮部それぞれの中心を結んだ仮想線と非平行に延在する第２のスリットを含んでもよい。

上記第２のスリットは、上記仮想線と直交してもよい。

上記第２のスリットは、一端は上記第１のスリットに連結し、他端は上記第１のスリットに連結しなくてもよい。

上記伸縮部には複数の上記第１のスリットが形成され、隣り合う２つの上記第１のスリット間には少なくとも２つの上記第２のスリットが形成され、上記２つの第２のスリットのうち一方の第２のスリットの一端は、上記隣り合う２つの第１のスリットのうち一方の第１のスリットに連結し、他方の第２のスリットの一端は、他方の第１のスリットに連結してもよい。

上記第２のスリットは、上記他端に拡幅部を有してもよい。

上記第２のスリットの他端を覆う補強部を更に具備してもよい。

上記スリットは、互いに異なる方向に延在する形状を有してもよい。

上記スリットは、直線部で構成されてもよい。

上記非伸縮部に設けられた電子部品と、上記電子部品と電気的に接続する上記伸縮部に設けられた配線とを更に具備してもよい。

上記フレキシブル配線基板は導電性部材からなってもよい。

上記目的を達成するため、本技術の一形態に係る電子機器は、相互に離間した複数の非伸縮部と、複数の上記非伸縮部を区画し、隣り合う上記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して上記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする伸縮部とを備えるフレキシブル配線基板を具備してもよい。

本技術の第１の実施形態に係るフレキシブル配線基板の概略平面図である。 上記フレキシブル配線基板に形成されるスリットの形状説明をするための図である。 図１の部分拡大図であり、伸縮部が伸張した状態を示す図である。 本技術の第２の実施形態に係る心拍測定装置の構成例を示す概略図である。 上記心拍測定装置のセンサ本体部の模式断面図である。 上記心拍測定装置に設けられるフレキシブル配線基板の模式平面図である。 本技術の第３の実施形態に係るＬＥＤディスプレイの構成例を示す模式平面図である。 本技術の第４の実施形態に係るアレイセンサの構成例を示す模式平面図である。 本技術の第５の実施形態に係るフレキシブル配線基板の他の例を示す概略平面図である。 本技術の第６の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第７の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第８の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第９の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第１０の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第１１の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第１２の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の例を示す概略平面図である。 本技術の第１３の実施形態に係るフレキシブル配線基板の更に他の構造例を示す概略平面図である。

以下、本技術に係るフレキシブル配線基板及びそれを用いた電子機器について説明する。説明において、同様の構成については同様の符号を付し、既に説明がなされている構成についての説明を省略する場合がある。

＜フレキシブル配線基板の概略構成＞
本技術に係るフレキシブル配線基板は、フレキシブル性及び伸縮性を有する。フレキシブル配線基板は、非伸縮部と、非伸縮状態で当該非伸縮部を区画するように配置された伸縮部とを有する。伸縮部と非伸縮部とは一体的に接続している。伸縮部は、スリットが形成されることにより伸縮性を呈する。このようにフレキシブル配線基板がフレキシブル性及び伸縮性を有することにより、隣り合う非伸縮部の相対位置が変化可能となる。

非伸縮部には電子部品、配線、パッド部、電極等が配置され得る。
伸縮部には、配線、電極等が配置され得る。

電子部品としては、例えば、ＩＣ（integrated circuit）チップ、ＬＥＤ(light emitting diode、発光ダイオード)、フォトダイオード、トランジスタ、各種センサ、太陽電池セル、抵抗器、コンデンサ、トランス、インダクタ等がある。

配線、パッド部、電極には、既存の導電材料のものを用いることができる。例えば、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ）、ルテニウム（Ｒｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）及びタンタル（Ｔａ）等の金属単体又は合金を用いることができる。
その他、銀ナノワイヤ等の伸縮性導電材料を配線材料として用いてもよく、このような材料を用いて伸縮部に配線を形成することにより、伸縮部の変形による配線の断線不良を更に抑制することができる。

フレキシブル配線基板は、例えば、非伸縮部に電子部品等が設けられ、伸縮部に電子部品と電気的に接続する配線が設けられる形態を有する。
また、フレキシブル配線基板は、電子部品は設けられず、パターニングされた配線、パッド部、電極等が設けられる形態であってもよい。
また、フレキシブル配線基板自体が導電性部材から構成され、電極として機能する形態であってもよい。

電子部品や配線等が設けられる形態のフレキシブル配線基板は、例えば、スリットが形成された絶縁性基板と、絶縁性基板上に配置された電子部品や配線等と、を備える。絶縁性基板は、電子部品や配線などを支持する支持部材である。
絶縁性基板には、柔軟性があり、弱い力で繰り返し変形させることが可能であるフレキシブル性を有するものを用いることができる。絶縁性基板には、例えば、ポリイミド、ポリエステル等の樹脂部材、エラストマー等の弾性部材を用いることができる。

また、導電性部材からなり電極として機能するフレキシブル配線基板は、銅、銀、アルミニウム等といった抵抗値の低い導電性部材からなる金属シート単体にスリットが形成された構成を有する。
例えば、厚さ２ｍｍ以下の金属シートを用いることによりフレキシブルな基板とすることができる。このような金属シートにスリットを形成することにより伸縮性及びフレキシブル性を有するフレキシブル配線基板とすることができる。
なお、ここで、厚さ２ｍｍ以下としたが、これは一例であり、この数値に限定されず、用いる部材の種類や大きさ、加工性を考慮して、フレキシブル性を呈するように適宜厚さを設定することができる。

また、更に他の形態として、フレキシブル配線基板は、支持部材と、支持部材上に形成されたベタ膜状の導電層とからなる複合部材から構成され、支持部材及び導電層の双方にスリットが設けられる形態であってもよい。導電層は例えば電極として機能する。

複合部材は、支持部材に金属シートが貼りつけられて構成されてもよいし、支持部材上に導電材料を塗布、印刷、蒸着、スパッタ等により導電層を形成したものであってもよく、限定されない。

複合部材として、柔軟性があり、弱い力で繰り返し変形させることが可能であるフレキシブル性のあるものを用いることができる。支持部材には、上述であげた絶縁性基板を用いることができる。

本技術のフレキシブル配線基板は、力が加わった場合、伸縮部が変形し、当該伸縮部を介して対向配置される非伸縮部の相対位置が変化可能となる。これにより、３次元的にフレキシブル配線基板を変形させることができる。

以下、具体的な実施形態例をあげ、フレキシブル配線基板、フレキシブル配線基板を用いた電子機器について詳細に説明する。以下の各図において、相互に直交する三方向をそれぞれＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向とする。

（第１の実施形態）
本技術の一実施形態に係るフレキシブル配線基板の一構成例を図１〜図３を用いて説明する。本実施形態では、主にフレキシブル配線基板７に形成されるスリットの形状を説明するため、図１〜図３において配線及び電子部品等の図示を省略している。

図１は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板７の部分平面図である。
図２は、図１のフレキシブル配線基板７に形成されるスリットの形状を説明するための図である。図２においては、非伸縮部２０となる領域をドットで埋めて示している。更に、図２（Ａ）においては、非伸縮部２０となる領域の輪郭を点線で示している。

図１及び図２に示すように、本実施形態のフレキシブル配線基板７は、複数の非伸縮部２０と、非伸縮部２０を区画する伸縮部２１と、を有する。
スリット２２が形成されることにより、略正方形状の複数の非伸縮部２０と、伸縮性を有する伸縮部２１とが形成される。非伸縮部２０と伸縮部２１とは接続している。

複数の非伸縮部２０は相互に離間して配置される。非伸縮部２０の周りは伸縮部２１によって囲まれる。図１及び図２において、説明上、複数の非伸縮部２０それぞれを区別するために符号２０ａ〜２０ｉを付しているが、特に区別する必要がない場合は、非伸縮部２０として説明する。
非伸縮部２０には、電子部品、配線、パッド部、電極等が配置可能となっている。

伸縮部２１は、非伸縮状態で、互いに直交するＸ軸及びＹ軸に沿った格子状を有する。
スリット２２が形成されることにより、伸縮部２１に伸縮性が付与され、隣り合う非伸縮部２０の相対位置を変化させることができる。例えば、隣り合う非伸縮部２０間の距離ｄを変化可能とする。

スリット２２は、第１のスリット２２１と、第２のスリット２２２とを有する。スリット２２は複数の直線部で構成される。

スリット２２は、互いに異なる方向に延在する直線部から構成された形状を有する。第２のスリット２２２は、互いに異なるＸ軸方向及びＹ軸方向それぞれに沿って延在するスリットを含む。これにより、多方向で伸縮可能なフレキシブル配線基板７とすることができる。

図２（Ａ）は、第１のスリット２２１と非伸縮部２０との位置関係を説明するための図であり、第２のスリット２２２の図示を省略している。図２（Ｂ）では、第１のスリット２２１と第２のスリット２２２の双方を図示している。

図１及び図２（Ａ）に示すように、第１のスリット２２１は、Ｘ字状を有し、格子状の伸縮部２１となる領域の交点に対応する位置に形成される。
各第１のスリット２２１は、隣り合う２つの非伸縮部２０間に位置する伸縮部２１と他の隣り合う２つの非伸縮部２０間に位置する伸縮部２１とが互いに分離するように形成される。第１のスリット２２１は、隣り合う２つの非伸縮部２０を繋ぐように形成される。

本実施形態では、第１のスリット２２１は、横方向（Ｘ軸方向）で隣り合う２つの非伸縮部２０、縦方向（Ｙ軸方向）で隣り合う２つの非伸縮部２０、斜め方向で隣り合う２つの非伸縮部２０をそれぞれ繋ぐように設けられる。

図１及び図２において、説明上、複数の第１のスリット２２１それぞれを区別するために符号２２１ａ〜２２１ｄを付しているが、特に区別する必要がない場合は、第１のスリット２２１として説明する。

図１において、例えば、第１のスリット２２１ａを構成する互いに交わった２つの直線部のうち１つは斜め方向に隣り合う非伸縮部２０ｂと２０ｄを繋ぐように形成され、他の１つは斜め方向に隣り合う非伸縮部２０ａと２０ｅを繋ぐように形成される。

これにより、第１のスリット２２１ａは、横方向で隣り合う２つの非伸縮部２０ａと２０ｂ、２０ｄと２０ｅ、縦方向で隣り合う２つの非伸縮部２０ａと２０ｄ、２０ｂと２０ｅ、斜め方向で隣り合う２つの非伸縮部２０ａと２０ｅ、２０ｂと２０ｄのそれぞれを繋ぐことになる。
他の第１のスリット２２１ｂ〜２２１ｄにおいても同様である。

第１のスリット２２１が形成されることにより、例えば、隣り合う２つの非伸縮部２０ａと２０ｂとの間に位置する伸縮部２１と、他の隣り合う２つの非伸縮部２０ｄと２０ｅとの間に位置する伸縮部２１と、非伸縮部２０ａと２０ｄとの間に位置する伸縮部２１と、非伸縮部２０ｂと２０ｅとの間に位置する伸縮部２１とは、接続せず、互いに分離される。

図１及び図２（Ｂ）に示すように、第２のスリット２２２は、Ｘ軸方向（横方向）又はＹ軸方向（縦方向）で隣り合う２つの非伸縮部２０間であって、隣り合う２つの第１のスリット２２１間に、複数、本実施形態においては４つ形成される。

第２のスリット２２２は、隣り合う２つの非伸縮部２０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行、本実施形態においては仮想線２に直交して、延在する。第２のスリット２２２は、隣り合う２つの非伸縮部２０間を繋がない形状となっている。

このように、第２のスリット２２２を仮想線２に対して非平行に延在させることにより、第２のスリット２２２を間に介して対向配置される非伸縮部２０間距離ｄを効率よく広げることができる。更に、第２のスリット２２２を仮想線２に対して直交して延在させることにより、非伸縮部２０間距離ｄをより一層効率よく広げることができる。

尚、ここで、直交とは、第２のスリット２２２と仮想線２とのなす角が８５°〜９０°の範囲を含む。

図１において、例えば、非伸縮部２０ｂ及び２０ｅの間に位置する伸縮部２１ａには４つのＸ軸方向に延在する第２のスリット２２２が形成される。これら第２のスリット２２２は、非伸縮部２０ｂ及び２０ｅそれぞれの中心Ｃｂ、Ｃｅを結んだ仮想線２と直交する。
４つの第２のスリット２２２は互いに平行となるように形成される。

第２のスリット２２２の一部は、非伸縮部２０と伸縮部２１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部２０の略正方形状の輪郭を形作るように、形成される。

第２のスリット２２２は、一端２２２ａと他端２２２ｂを有する。一端２２２ａは第１のスリット２２１に連結する。他端は第１のスリット２２１に連結していない。

図１において、隣り合う２つの第１のスリット２２１ａと２２１ｂとの間に位置する伸縮部２１ａを形成する互いに平行な４つの第２のスリット２２２は、上から下に向かって順に、第１のスリット２２１ｂに連結する第２のスリット２２２、第１のスリット２２１ａに連結する第２のスリット２２２、第１のスリット２２１ｂに連結する第２のスリット２２２、第１のスリット２２１ａに連結する第２のスリット２２２というように配列される。

すなわち、第１のスリット２２１ａに連結する第２のスリット２２２と、第１のスリット２２１ｂに連結する第２のスリット２２２とは、互い違いに形成される。

このように、横方向又は縦方向に隣り合う２つの第１のスリット２２１の間に位置する伸縮部２１を形成する複数の第２のスリット２２２は、隣り合う２つの第１のスリット２２１のうち一方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット２２２と、他方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット２２２とが交互に形成される。

これにより、伸縮部２１に対応する領域が第１のスリット２２１によって複数分割された分割領域それぞれに、第２のスリット２２２が形成されることにより細長い帯状体の形態を有する伸縮部２１が形成される。
以下、図２及び図３を用いて説明する。

図３は、図１の部分拡大図であり、伸縮部２１が伸張したときの状態を説明するための模式図である。

図２（Ａ）に示すように、伸縮部２１に対応する領域は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向それぞれにおいて、複数の第１のスリット２２１により、複数の領域に分割される。この分割された分割領域は、当該分割領域を間に介して対向配置される２つの非伸縮部２０それぞれにのみ接続することになる。

更に、図２（Ｂ）及び図３に示すように、第２のスリット２２２の形成により、各分割領域は、Ｚ字状の直線が何度も折り返されたジグザグ形状の細長い帯状体の形態を有する。これにより、複数の非伸縮部２０は、伸縮可能なジグザグ形状の帯状体の伸縮部２１を間に介して、互いに接続した形状を有する。

ジグザグ形状の帯状体とすることにより、伸縮部２１は伸縮性を呈する。
すなわち、本実施形態においては、図１に示すように、フレキシブル配線基板７に何も応力がかかっていない非伸縮の状態では、非伸縮部２０間には、基板が部分的にくり貫かれて形成されるような隙間は生じていない。
しかし、フレキシブル配線基板７に応力がかかって曲げられた状態では、例えば、図３に示すように、ジグザグ形状の帯状体の伸縮部２１が伸張する。このように、スリット２２の形成により伸縮部２１は伸縮性を呈する。ジグザグ形状の帯状体の伸縮部２１が伸張することにより、伸縮部２１に隙間が生じ、非伸縮部２０間の距離ｄが変化する。

このように、フレキシブル配線基板７では、１つのジグザグ形状の帯状体の伸縮部２１は、この伸縮部２１を間に介して対向配置される２つの非伸縮部２０それぞれと接続しているが、それ以外の非伸縮部２０とは接続していない。
このため、１つのジグザグ形状の帯状体の伸縮部２１の変形は、他の帯状体の伸縮部２１の変形に追従しにくく、影響されにくい。

また、伸縮部２１が伸縮可能に構成されているため、フレキシブル配線基板７に応力がかかっても、その応力は伸縮部２１で分散されやすい。このため、１つの帯状体の伸縮部２１を間に介して接続する２つの非伸縮部２０のうちの一方の位置変化が、他方の非伸縮部２０の位置変化に影響を及ぼしにくい。したがって、各非伸縮部２０はほぼ独立してその配置位置が変化可能となる。

従って、フレキシブル配線基板７を３次元的にフレキシブルに変形させることができる。

本実施形態において、フレキシブル配線基板７に何も力が加わっていない状態では、フレキシブル配線基板７には隙間がないため、非伸縮部２０間距離ｄを短く設定することが可能となる。したがって、非伸縮部２０に配置可能な電子部品の配置ピッチを短くすることができ、電子部品の配置の高密度化が可能となる等、フレキシブル配線基板の設計範囲を広くすることができる。

ここで、前述の特許文献１に記載される生体センサー・デバイスでは、平面視したときに、隣り合う非伸縮部間には、伸縮ストリップが存在する領域と、伸縮ストリップが存在しない領域とがある。この伸縮ストリップが存在しない領域は、配線層がくり貫かれて除去されている領域である。

このように、配線層が部分的にくり貫かれて除去されることにより形成される蛇行状又は渦巻き状に湾曲した伸縮ストリップを形成するには、配線層が除去される領域を設ける必要がある。このため、特許文献１に記載される生体センサー・デバイスでは、非伸縮時での伸縮ストリップの長さによって決定する非伸縮部間距離を短く設定することが難しく、電子部品の配置の高密度化が難しい。

これに対して、本実施形態では、単に基板にスリットを形成するのみで基板に伸縮性を付与することができ、基板をくり貫いて除去する必要がないため、隣り合う非伸縮部２０間の距離を短く設定することが可能となる。したがって、非伸縮部２０に配置可能な電子部品間距離を短くすることができ、高密度に複数の電子部品を基板上に配置することが可能となる。

また、スリット２２は、例えばレーザカット加工により形成することができる。本実施形態では、基板を部分的にくり貫く形状にレーザカットをする必要がないため、解像度の低い加工装置であっても、スリットの形成が容易である。

ここで、特許文献１に記載される蛇行状又は渦巻き状の伸縮ストリップを仮にレーザカットにより形成した場合、くり貫き部分の材料除去工程が必要となり、工程数が増えてしまう。また、除去部分のサイズが微細な場合、除去しきれない部分が生じたり、伸縮ストリップが何かに引っかかるなどの不具合が生じる可能性がある。

これに対し、本実施形態においては、部分的にくり貫く形状とする必要がないため、くり貫き部分の材料除去の工程が不要となる。したがって、工程削減でき、歩留りを向上させることができる。

また、本実施形態においては、スリット２２の形状が複数の単純な直線部で構成されているので、例えば解像度の低い加工装置であってもスリットの形成が容易であり、品質の安定したフレキシブル配線基板を安定して得ることができる。

また、スリット２２のパターンが単純な直線部から構成されているので、加工スピードを速くすることが可能となる。

また、第２のスリット２２２の形状が単純な直線状から構成されているので、伸縮部２１に形成するスリット２２の数の調整が容易となる。
例えば、伸縮部２１に、より多くの第２のスリット２２２を形成することが容易であり、折り返し数が多い長い帯状体の伸縮部２１を形成することが可能となる。これにより、フレキシブル配線基板７の伸縮性を向上させることができる。

＜電子機器＞
以下の第２〜第４の実施形態において、本技術の一実施形態に係るフレキシブル配線基板を備える電子機器について説明する。
第２〜第４の実施形態においては、スリットを備える絶縁性基板と、絶縁性基板上に配置された電子部品や配線等と、を備えるフレキシブル配線基板を適用する例をあげて説明する。

（第２の実施形態）
電子機器の一例としての心拍測定装置について、図４〜６を用いて説明する。

［心拍測定装置の概略構成］
図４（Ａ）は心拍測定装置１００の構成例を示す概略図であり、図４（Ｂ）は心拍測定装置１００の概略構成を示す模式断面図である。

心拍測定装置１００は、リストバンド型のＰＰＧ（photoplethysmography）方式の心拍センサであり、ユーザの手首に装着されて使用される。心拍測定装置１００は生体情報処理装置である。

ＰＰＧ方式は、脈波を血流の容積変動によって測定する方式である。ＰＰＧ方式では、例えばＬＥＤ（light emitting diode）等の発光部から皮膚に向けて光線を照射する。照射された光線は数ｍｍ程度の皮膚下に存在する血液および皮下組織で吸収、散乱、又は反射する。この際、皮膚下から戻ってきた光の量を例えば光検出器であるＰＤ（photo diode、
フォトダイオード）等の受光部で計測することで、皮膚下に分布する毛細血管の血流変化を計測する。

図４に示すように心拍測定装置１００は、装着バンド８と、センサ本体部１０とを有する。装着バンド８は、センサ本体部１０に接続され、ユーザの手首に接触してこれを保持する。装着バンド８の具体的な構成は限定されない。

センサ本体部１０は、測定された心拍数が表示される表示部１１を有する。表示部１１は、例えば液晶やＥＬ（Electro-Luminescence）等を用いた表示デバイスである。表示部１１としてタッチパネルが構成され、ユーザの操作が入力可能であってもよい。

図４（Ｂ）に示すように、センサ本体部１０は、第１のＰＰＧセンサ１２、第２のＰＰＧセンサ１３、加速度センサ１４、及びコントローラ１５を有する。第１のＰＰＧセンサ１２、第２のＰＰＧセンサ１３、加速度センサ１４、及びコントローラ１５は、後述するフレキシブル配線基板１７に設けられる。

第１及び第２のＰＰＧセンサ１２及び１３は、ユーザの手首に接触する面側に設けられる。加速度センサ１４及びコントローラ１５は、ユーザの手首に接触する面側に設けられてもよいし、それとは反対側の面側に設けられてもよい。

第１のＰＰＧセンサ１２は、第１の発光部である第１のＬＥＤ（light emitting diode）１２１と、第１の受光部である第１のＰＤ（photo diode）１２２とを有する。
第１のＬＥＤ１２１は、第１の波長域の光として、緑色波長域（例えば約５００ｎｍ〜約５７０ｎｍ）の緑色光を測定部位に向けて出射する。
第１のＰＤ１２２は、測定部位の皮膚下から戻ってきた緑色光の反射光の光量を検出する。
第１のＰＰＧセンサ１２は、主に血流変化を計測するために設けられる。

第２のＰＰＧセンサ１３は、第２の発光部である第２のＬＥＤ１３１と、第２の受光部である第２のＰＤ１３２とを有する。
第２のＬＥＤ１３１は、第２の波長域の光として、赤色波長域（例えば約６２０ｎｍ〜約７５０ｎｍ）の赤色光を測定部位に向けて出射する。
第２のＰＤ１３２は、測定部位の皮膚下から戻ってきた赤色光の反射光の光量を検出する。

第２のＰＰＧセンサ１３から出射される長波長の赤色光は、皮膚下到達が深く体組織まで到達する。従って第２のＰＰＧセンサから出射された赤色光は、例えば指・手首の動き（骨の動き）に伴う体組織の変形により戻り光が変調する。この点に着目して本実施形態では、第２のＰＰＧセンサ１３は、主に指・手首の動きによるノイズと相関が高い参照信号を生成するために設けられる。

本実施形態では、第１及び第２のＰＰＧセンサ１２及び１３により、脈波センサ部が構成される。第１のＰＰＧセンサ１２は、脈波信号用の脈波センサとして機能し、脈波信号を生成する。

加速度センサ１４は、心拍測定装置１００が装着される測定部位のＸＹＺの３軸における加速度を測定する。加速度センサ１４は、主にウォーキング・ジョギング・ランニング等が行われる際の、腕の周期的な動きを計測するために設けられる。加速度センサ１４は体動センサとして機能し、測定される各軸の加速度は体動信号として出力される。加速度センサ１４の具体的な構成は限定されない。また体動センサとして、加速度センサ１４に代えて、あるいは加えて３軸ジャイロセンサ等が用いられてもよい。

本実施形態では、センサ本体部１０の左右方向がＸ軸方向として設定され、上下方向がＹ軸方向として設定される。またＸ軸方向及びＹ軸方向の各々に直交する方向（センサ本体部１０の表面の垂線方向）がＺ軸方向として設定される。またＸ軸方向が測定部位の動脈血流方向としてみなされ、Ｙ軸方向が動脈半径方向としてみなされる。もちろんこれに限定される訳ではない。

コントローラ１５は、第１のＰＰＧセンサ１２及び第２のＰＰＧセンサ１３の動作を制御する。更に、コントローラ１５は、第１のＰＰＧセンサ１２からの脈波信号、第２のＰＰＧセンサ１３からの参照脈波信号、及び加速度センサ１４からの体動信号を用いて、ユーザの心拍情報を生成する。
コントローラ１５は、例えばＩＣチップ１５１（図５参照）で構成される。

図５は、図４（Ａ）の線Ｖ−Ｖで切断した、心拍測定装置のセンサ本体部の模式断面図である。図５は、各電子部品と配線との接続関係を模式的に示している。図５では、スリット２２の図示を省略している。

図６は、心拍測定装置１００の一部を構成するフレキシブル配線基板１７の部分模式平面図である。図６（Ａ）はフレキシブル配線基板を一方の面１ａから平面視したときの部分模式平面図である。図６（Ｂ）はフレキシブル配線基板を他方の面１ｂから平面視したときの部分模式平面図である。

図５に示すように、センサ本体部１０は、表示部１１と、フレキシブル配線基板１７と、を備える。

図６に示すように、フレキシブル配線基板１７は、第１の実施形態のフレキシブル配線基板７と同様に、複数の正方形状の非伸縮部２０と、非伸縮部２０を区画する伸縮部２１を有している。また、フレキシブル配線基板１７には、上述のフレキシブル配線基板７と同様の形状のスリット２２が形成され、伸縮部２１は伸縮可能となっている。スリット２２の形状及びスリット２２を設けることによる作用効果については第１の実施形態と同様である。

図５及び図６に示すように、フレキシブル配線基板１７は、スリット２２が形成された絶縁性基板１と、配線３３〜３８と、電子部品としての第１のＬＥＤ１２１と、第１のＰＤ１２２と、第２のＬＥＤ１３１と、第２のＰＤ１３２と、コントローラ１５を構成するＩＣチップ１５１と、加速度センサ１４と、を有する。

絶縁性基板１は、互いに対向する一方の面１ａと他方の面１ｂとを有する。一方の面１ａは、ユーザが心拍測定装置１００を装着した際にユーザの皮膚側に位置する面である。他方の面１ｂは、表示部１１側に位置する面である。

図５及び図６（Ａ）に示すように、フレキシブル配線基板１７において、絶縁性基板１の一方の面１ａには、第１のＬＥＤ１２１と、第１のＰＤ１２２と、第２のＬＥＤ１３１と、第２のＰＤ１３２と、ＩＣチップ１５１と、配線３３、３４、３７、３８が配置される。

第１のＬＥＤ１２１と、第１のＰＤ１２２と、第２のＬＥＤ１３１と、第２のＰＤ１３２と、ＩＣチップ１５１と、配線３３の両端部それぞれに配されるパッド部（図示せず）、配線３４の両端部それぞれに配されるパッド部（図示せず）、配線３７の両端部それぞれに配されるパッド部３７ａ及び３７ｂ、配線３８の両端部それぞれに配されるパッド部３８ａ及び３８ｂは、それぞれ非伸縮部２０に配置される。

配線３７は、第１のＬＥＤ１２１とＩＣチップ１５１とを電気的に接続する。
配線３７の一端のパッド部３７ａはＩＣチップ１５１に電気的に接続し、他端のパッド部３７ｂは第１のＬＥＤ１２１と電気的に接続する。
配線３７は、第１のＬＥＤ１２１が配置される非伸縮部２０とＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０との間に位置する伸縮部２１に配置される。

配線３８は、ＩＣチップ１５１と第１のＰＤ１２２とを電気的に接続する。
配線３８の一端のパッド部３８ａはＩＣチップ１５１に電気的に接続し、他端のパッド部３８ｂは第１のＰＤ１２２と電気的に接続する。
配線３８は、ＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０と第１のＰＤ１２２が配置される非伸縮部２０との間に位置する伸縮部２１に配置される。

配線３３は、第２のＬＥＤ１３１とＩＣチップ１５１とを電気的に接続する。
配線３３の一端のパッド部はＩＣチップ１５１に電気的に接続し、他端のパッド部は第２のＬＥＤ１３１と電気的に接続する。
配線３３は、第２のＬＥＤ１３１が配置される非伸縮部２０とＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０との間に位置する伸縮部２１に配置される。

配線３４は、ＩＣチップ１５１と第２のＰＤ１３２とを電気的に接続する。
配線３４の一端のパッド部はＩＣチップ１５１に電気的に接続し、他端のパッド部は第２のＰＤ１３２と電気的に接続する。
配線３４は、ＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０と第２のＰＤ１３２が配置される非伸縮部２０との間に位置する伸縮部２１に配置される。

図６（Ａ）に示すように、配線３３、３４、３７、３８は、いずれも、伸縮部２１の帯状体のジグザグ形状に沿って、複数回折り返された形状を有している。このため、配線３３、３４、３７、３８それぞれの全長は、隣り合う非伸縮部２０間の距離よりも長くなっている。

図５及び図６（Ｂ）に示すように、フレキシブル配線基板１７において、絶縁性基板１の他方の面１ｂには、加速度センサ１４と、配線３５及び３６が配置される。

加速度センサ１４と、配線３５の両端部それぞれに配されるパッド部３５ａ及び３５ｂと、配線３６の両端部それぞれに配されるパッド部３６ａ及び３６ｂは、非伸縮部２０に配置される。

配線３５は、ＩＣチップ１５１と加速度センサ１４とを電気的に接続する。
配線３５の一端のパッド部３５ａは、絶縁性基板１に形成されたＺ軸方向に貫通する、内部が銅メッキされたスルーホールビア５を介してＩＣチップ１５１に電気的に接続する。
配線３５の他端のパッド部３５ｂは、加速度センサ１４と電気的に接続する。
スルーホールビア５は、ＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０に形成される。
配線３５は、ＩＣチップ１５１が配置される他方の面１ｂ側の非伸縮部２０と加速度センサ１４が配置される非伸縮部２０との間の伸縮部２１に配置される。

配線３６は、ＩＣチップ１５１と表示部１１とを電気的に接続する。
配線３６の一端のパッド部３６ａは、絶縁性基板１に形成されたＺ軸方向に貫通する、内部が銅メッキされたスルーホールビア６を介してＩＣチップ１５１に電気的に接続する。
配線３６は、絶縁性基板１の周縁部まで引き回され、配線３６の他端に位置するパッド部３６ｂは、表示部１１と電気的に接続する。
スルーホールビア６は、ＩＣチップ１５１が配置される非伸縮部２０に形成される。
配線３６は、ＩＣチップ１５１が配置される他方の面１ｂ側の非伸縮部２０から絶縁性基板１の周縁部までに通る非伸縮部２０及び伸縮部２１に配置される。

図６（Ｂ）に示すように、伸縮部２１に配置される配線３５及び３６は、伸縮部２１の帯状体のジグザグ形状に沿って絶縁性基板１上に配置され、複数回折り返された形状を有している。

本実施形態では、例えば、パッケージ化された電子部品が絶縁性基板１上に実装されてフレキシブル配線基板７が形成される。

例えば、パッケージ化されたＬＥＤは、パッケージ基板と、ＬＥＤ素子と、ボンディングワイヤーと、電極と、封止樹脂を有する。
パッケージ基板は、パッケージの土台となる基板である。
ＬＥＤ素子はパッケージ基板上に設けられる。
電極は電気を流すための金属端子であり、基板に設けられる。
ボンディングワイヤーは、ＬＥＤ素子と基板の電極とを接続する。
封止樹脂は、ＬＥＤ素子を湿気等から保護するためにＬＥＤ素子を覆うように設けられる。

配線３３〜３８には既知の材料が用いられ、例えば銅等が用いられる。また、配線３３〜３８は、伸縮部２１に配置したときに、伸縮部２１におけるフレキシブル配線基板１７のフレキシブル性が損なわれない程度の厚みであることが望ましい。

フレキシブル配線基板１７は、例えば、次のように製造される。
絶縁性基板１の両面に一対の銅膜を備える母材に、貫通孔を設け、電気めっき等により貫通孔に導電材料を充填し、スルーホールビア５及び６を形成する。
次に、片面ずつフォトリソグラフィ工程により銅膜をパターニングし、パッド部を含む配線３３〜３８を形成する。
次に、第１のＬＥＤ１２１、第１のＰＤ１２２、第２のＬＥＤ１３１、第２のＰＤ１３２、ＩＣチップ１５１、加速度センサ１４といった電子部品を異方性導電性フィルムや半田等を用いて対応するパッド部に接続し、絶縁性基板１上に実装する。
その後、レーザカット加工により絶縁性基板１にスリット２２を形成することにより、フレキシブル配線基板１７を製造する。

尚、ここであげた製造方法は一例であり、これに限定されない。
例えば、配線３３〜３８の形成後で、電子部品を実装する前に、レーザカット加工により絶縁性基板１にスリット２２を形成してもよい。

また、本実施形態では、パッケージ化された電子部品を実装する例をあげたが、これに限定されない。例えば、ＬＥＤパッケージを実装せずに、絶縁性基板１上に、ＬＥＤ素子を直接形成し、ＬＥＤ素子と配線とを電気的に接続させ、封止樹脂でＬＥＤ素子を覆うように構成するなど、電子部品を直接、支持部材である絶縁性基板上に形成してもよい。
このように、絶縁性基板１上に電子部品を直接形成し、スリットを形成してフレキシブル配線基板を製造してもよい。

尚、以下の他の実施形態において、電子機器に係るフレキシブル配線基板として、パッケージ化された電子部品が実装される形態を例にあげて説明するが、同様に基板上に直接電子部品を形成してフレキシブル配線基板を製造してもよい。

また、本実施形態では、絶縁性基板１の両面に電子部品を配置する例をあげたが、片面側にのみ電子部品を配置するように構成してもよい。
また、例えば、フレキシブル配線基板が、絶縁性基板上に、電子部品及びこれに接続する第１の配線層、スルーホールが形成された絶縁層、スルーホールを介して電子部品と接続する第２の配線層、カバー絶縁層が順次積層されて構成されるような、電子部品が内包されてなる多層基板であってもよい。

例えば、ＩＣチップに電気的に接続する異なる２つの電子部品それぞれのＩＣチップとの接続用の配線を、同じ領域の伸縮部２１に設ける構成とする場合、それぞれの配線が同層で形成され電気的に接続しないように配線を形成してもよい。
或いは、層間絶縁層を介してそれぞれの配線が異なる層に位置するように構成してもよい。このような層間絶縁層が形成される場合は、スリット２２は、層間絶縁層を含むフレキシブル配線基板を厚み方向に貫通するように形成される。このように多層構造としてもよい。

本実施形態のフレキシブル配線基板１７において、スリット２２が形成されることにより、第１の実施形態と同様に、伸縮部２１は伸縮可能となり、フレキシブル配線基板１７は、３次元的にフレキシブルに変形可能となっている。

このように３次元的に変形が可能なフレキシブル配線基板１７を用いることにより、ユーザが心拍測定装置１００を手首に装着した際、フレキシブル配線基板１７は、ユーザの皮膚に接触して、皮膚の表面形状に沿うように変形し易くなる。

これにより、フレキシブル配線基板１７と皮膚との間の隙間の存在を低減させることができ、ＰＰＧセンサ動作時に、隙間の存在によるＬＥＤから皮膚にむけて照射される光線のもれが低減され、光の利用効率が向上する。更に、皮膚下から戻ってきた光を、効率よく検出することができる。
従って、高精度に、皮膚下に分布する毛細血管の血流変化を計測することができる。

また、フレキシブル配線基板１７は、ユーザの皮膚に沿うように変形しやすくなっているため、装着時に、ユーザに対して体の拘束感や違和感を与えにくく、また、ユーザの動きによるずれが生じにくい。

また、本実施形態において、曲げられてフレキシブル配線基板１７に力が加わったとき、その応力は伸縮可能な伸縮部２１で分散されやすく、電子部品が実装される非伸縮部２０に応力がかかりにくい。これにより、非伸縮部２０に配置される電子部品の破壊の発生が抑制され、度重なる装着によっても、電気的特性が維持された、信頼性の高い心拍測定装置１００とすることができる。

以上のように、本実施形態では、伸縮性があり、自由曲面に追従して変形可能なフレキシブル配線基板１７を用いることにより、高精度で信頼性の高い心拍測定装置とすることができる。

本実施形態においては、手首に装着するウェアラブル装置であるリストバンド型の生体情報処理装置に適用する例をあげたが、これに限定されない。フレキシブル配線基板１７は、３次元に変形可能であるため、手首以外にも様々な体の部位に装着させることができる。例えば、ヘッドバンド型、ネックバンド型、ベルト型等の種々のウェアラブル装置に適用することができ、ユーザの体の部位に沿った形状にフレキシブル配線基板を配置することによって、高精度な生体情報の検出が可能となる。

（第３の実施形態）
電子機器の一例としてのＬＥＤディスプレイについて、図７を用いて説明する。
図７は、ＬＥＤディスプレイの構成例を示す模式平面図である。

図７に示すように、ＬＥＤディスプレイ２００は、フレキシブル配線基板２０７を備える。フレキシブル配線基板２０７は、スリット２２が形成された絶縁性基板１と、絶縁性基板１上に配置された、複数のＬＥＤパッケージ２７と、複数のデータ信号線２３２及び複数のアドレス信号線２３１と、を有する。

複数のＬＥＤパッケージ２７は、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に沿ってマトリクス状に配列される。
電子部品であるＬＥＤパッケージ２７は、絶縁性基板１の非伸縮部２０に配置される。

ＬＥＤパッケージ２７は、赤色ＬＥＤ素子２７２Ｒと、緑色ＬＥＤ素子２７２Ｇと、青色ＬＥＤ素子２７２Ｂと、各ＬＥＤ素子を駆動するＬＥＤ素子毎に設けられた３つのスイッチング素子２７１と、を有する。
尚、各色のＬＥＤ素子毎にスイッチング素子は設けられるが、図面では模式的に図示し、３つのスイッチング素子に対して符号２７１を付している。

赤色ＬＥＤ素子２７２Ｒ、緑色ＬＥＤ素子２７２Ｇ、青色ＬＥＤ素子２７２Ｂの３つのＬＥＤ素子により１つの画素を構成する。

データ信号線２３２は、Ｙ軸方向に沿って複数配列される。アドレス信号線２３１は、Ｘ軸方向に沿って複数配列される。データ信号線２３２とアドレス信号線２３１とは、図示しない層間絶縁層を介して互いに交差して配列される。
データ信号線２３２及びアドレス信号線２３１は、絶縁性基板１の伸縮部２１及び非伸縮部２０に配置され、伸縮部２１に配置されている部分は伸縮部２１の帯状体のジグザグ形状に沿って、複数回折り返された形状を有している。

データ信号線２３２とアドレス信号線２３１の交差毎に薄膜トランジスタ等のスイッチング素子及び当該スイッチング素子に接続するＬＥＤ素子が設けられる。

スイッチング素子は、例えば、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、チャネル領域を形成する半導体層と、一対のソース・ドレイン電極と、を有する。
各ＬＥＤ素子は、例えば、画素電極と、有機層と、対向電極とが順に積層されて構成される。有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層が順次積層されて構成される。

スイッチング素子のソース・ドレイン電極の一方はＬＥＤ素子の画素電極に電気的に接続し、他方はアドレス信号線２３１と電気的に接続する。
データ信号線２３２はスイッチング素子のゲート電極に接続する。

図面上、Ｙ軸方向に沿って１列に並ぶ複数のＬＥＤパッケージ２７に電気的に接続するデータ信号線２３２を１つとして図示しているが、実際にはデータ信号線２３２は各色のＬＥＤ素子毎に設けられるので３つ設けられる。
同じ非伸縮部２０及び伸縮部２１に配置される３つのデータ信号線２３２は、互いが同層で形成され電気的に接続しないように配置されてもよいし、層間絶縁層を介してそれぞれが異なる層に配置されるようにしてもよい。
層間絶縁層が形成される場合は、スリット２２は、層間絶縁層を含むフレキシブル配線基板全体を厚み方向に貫通するように形成される。

同様に、Ｘ軸方向に沿って１行並ぶ複数のＬＥＤパッケージ２７に電気的に接続するアドレス信号線２３１を１つとして図示しているが、実際にはアドレス信号線２３１は各色のＬＥＤ素子毎に設けられるので３つ設けられる。
同じ非伸縮部２０及び伸縮部２１に配置される３つのアドレス信号線２３１は、互いが同層で形成され電気的に接続しないように配置されてもよいし、層間絶縁層を介してそれぞれが異なる層に配置されるようにしてもよい。
層間絶縁層が形成される場合は、スリット２２は、層間絶縁層を含むフレキシブル配線基板全体を厚み方向に貫通するように形成される。

本実施形態のフレキシブル配線基板２０７にはスリット２２が設けられている。スリット２２の形状及びスリット２２を設けることによる作用効果については第１の実施形態のフレキシブル配線基板７と同様である。

本実施形態のフレキシブル配線基板２０７において、スリット２２が形成されることにより、第１の実施形態と同様に、伸縮部２１は変形し伸縮可能となる。これにより、自由曲面に追従して３次元に変形が可能なＬＥＤディスプレイ２００とすることができ、例えば、円筒体、球体、複雑な３次元曲面を有する物体上にＬＥＤディスプレイ２００をその形状に沿わせて配置することができる。

また、例えば四角柱の４つの側面にディスプレイを配置する場合、本実施形態のＬＥＤディスプレイを用いることにより、側面毎にディスプレイを設けることなく、４つの側面分の画像表示を１つのＬＥＤディスプレイで行うことができる。ＬＥＤディスプレイを折り曲げて、四角柱の４つの側面の形状に沿わせてＬＥＤディスプレイを配置することができるので、継ぎ目のないディスプレイとすることができる。また、部品点数を少なくすることができる。

また、本実施形態のＬＥＤディスプレイは、ノート型パーソナルコンピュータ等のモバイル機器、携帯オーディオプレーヤ、携帯電話等の表示部に適用することもできる。

本実施形態においても、第２の実施形態と同様に、曲げられてフレキシブル配線基板２０７に力が加わったとき、その応力は伸縮部２１で分散されやすく、電子部品が実装される非伸縮部２０には応力が生じにくくなっている。これにより、非伸縮部２０に配置されるＬＥＤパッケージの破壊の発生が抑制され、表示信頼性の高いＬＥＤディスプレイとすることができる。

尚、本実施形態では、ＬＥＤパッケージを絶縁性基板上に実装する例をあげたが、絶縁性基板上にスイッチング素子及び各色のＬＥＤ素子を直接形成する形態であってもよい。

また、本実施形態では、１つの非伸縮部２０に対して、赤、青、緑の各色のＬＥＤ素子とスイッチング素子が配置される例をあげたが、これに限定されない。例えば、１つの非伸縮部２０に対し、１つの色のＬＥＤ素子と１つのスイッチング素子が設けられる形態であってもよい。

（第４の実施形態）
本技術の一実施形態に係るフレキシブル配線基板を備える電子機器の一例としてのロボットハンドについて、図８を用いて説明する。

ロボットハンドによる物体の把持等の動作を制御するには、物体とロボットハンドの指先の滑りなど、把持状態を検出する必要がある。

この把持状態の検出に、絶縁性基板上に複数の圧力センサがアレイ状に配置されてなる圧力アレイセンサを用いることができる。本実施形態では、圧力アレイセンサに本技術のフレキシブル配線基板を適用している。以下、フレキシブル配線基板としての圧力アレイセンサについて説明する。

図８は、圧力アレイセンサの構成例を示す模式平面図である。
図８に示すように、圧力アレイセンサ３０７は、スリット２２が形成された絶縁性基板１と、絶縁性基板１上に配置された複数の圧力センサ３０１と、第１の配線３３１及び第２の配線３３２と、を有する。

ロボットハンドは、例えば、肩関節部、上腕部、肘関節部、前腕部、手首部、及び手部から構成される。
圧力アレイセンサ３０７は、例えば、ロボットハンドの手部の一部を構成する掌と各指の指掌面に、それぞれ設けられる。
圧力アレイセンサ３０７に設けられる各圧力センサ３０１により検出される圧力値により、掌、各指の指掌面における圧力分布が検出可能となっている。

第１の配線３３１と第２の配線３３２とは、互いに直交するＸ軸方向とＹ軸方向それぞれに沿って交差して配列される。
第１の配線３３１と第２の配線３３２は、絶縁性基板１の伸縮部２１に配置される。
第１の配線３３１と第２の配線３３２とは、絶縁層を介して配列される。

第１の配線３３１と第２の配線３３２の交差部毎に圧力センサ３０１が設けられる。電子部品としての圧力センサ３０１は非伸縮部２０に配置される。

圧力センサ３０１は、そのセンサ面に垂直な圧力を検出する静電容量型圧力センサである。圧力センサ３０１は、物体が接触した際に、圧力値を検出する。検出された分布圧力値に基づいて、ロボットハンドによる物体の把持の複雑な制御を行うために必要な把持情報である、把持物体と指先間の滑りが検出される。

圧力センサ３０１は、弾性変形する可撓性の圧電材料を第１の電極と第２の電極とで挟み込んだ構造を有する。
第１の電極は第１の配線３３１に電気的に接続される。第２の電極は第２の配線３３２に電気的に接続される。圧力センサ３０１は、圧力センサ３０１に圧力を加えることで生じる第１の電極と第２の電極間の静電容量変化からフレキシブル配線基板上における加圧の位置を検出するものである。

圧力センサ３０１での検出結果は、第１の配線３３１及び第２の配線３３２を介して、図示しないコントローラに出力され、コントローラで把持情報が検出される。

本実施形態の圧力アレイセンサ３０７にも上述の実施形態と同様にスリット２２が設けられている。スリット２２の形状及びスリット２２を設けることによる作用効果については第１の実施形態と同様である。

圧力アレイセンサ３０７において、スリット２２が形成されることにより、上述の実施形態と同様に、伸縮部２１は変形し伸縮可能となる。これにより、３次元的にフレキシブルに変形が可能な圧力アレイセンサ３０７とすることができる。

従って、ロボットハンドの平坦でない掌、各指の指掌面に沿って圧力アレイセンサ３０７を配置することができ、３次元形状の対象物体における圧力分布の高精度の検出が可能となる。
この検出結果を用いて、ロボットハンドによる物体の把持等の動作の制御をより適切に行うことができる。

本実施形態においては、センサとして圧力センサを例にあげて説明したが、温度センサ等、他のセンサをアレイ状に配置してもよい。例えば温度センサをアレイ状に配置したアレイセンサにより、温度分布を検出することができる。

このように、非伸縮部２０にセンサがアレイ状に配置されたアレイセンサとしてもよく、３次元で変形可能であるので、アレイセンサ作成後に、様々な場所にアレイセンサを配置することができ、センサ設置自由度が高い。

アレイセンサは、ＭＥＭＳ（超小型電気的・機械的複合体：Micro Electro Mechanical System）プロセスにより、一括して１ウェハから多数個取りすることができる。これにより、高精度の検出情報を取得することができる高品質のアレイセンサを安定して得ることができる。

また、例えば、空洞を有する弾性体の内部にアレイセンサを設け、空洞の内圧を検出してもよい。このような弾性体を用いて、例えばロボットハンドの指先を構成し、空洞の内圧を検出することで、指先と物体との間に生じている接触力を検出することができる。

また、絶縁性基板として、よりフレキシブル性に優れた柔らかい材質のものを用いてアレイセンサを構成してもよい。

＜非伸縮部の形状、スリットの形状の他の例＞
非伸縮部の形状、スリットの形状は、上述の実施形態に示す形状に限定されない。以下、他の例を第５〜第１３の実施形態として説明する。
尚、以下の実施形態では、配線や電子部品等の図示は省略する。また、図上、非伸縮部の領域をドットで埋めて示している。また、図上、非伸縮部の輪郭を点線で示す場合もある。

以下の各実施形態においても、伸縮部と非伸縮部とは接続しており、スリットが形成されることにより伸縮部は伸縮性を呈し、隣り合う非伸縮部の相対位置が変化可能となっている。これにより、フレキシブル性及び伸縮性が付与された、３次元形状に変形可能なフレキシブル配線基板を得ることができる。

（第５の実施形態）
図９は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板４０１の概略平面図である。図９（Ａ）は、非伸縮部の形状を説明するための図であり、スリットの図示を省略している。図９（Ｂ）は、第１のスリットの形状を説明する図であり、第２のスリットの図示を省略している。図９（Ｃ）は、第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。

図９に示すように、本実施形態のフレキシブル配線基板４０１は、複数の非伸縮部３０と、非伸縮部３０を区画する伸縮部３１と、を有する。

本実施形態のように、各非伸縮部３０は略正六角形状を有していてもよい。複数の非伸縮部３０は、千鳥状に配置され、相互に離間して配置される。このように千鳥状に略正六角形状の非伸縮部３０を設けることにより、隣り合う非伸縮部３０間距離を、基板面内にわたって等間隔とすることができる。

図９（Ｃ）に示すように、スリット３２は、第１のスリット３２１と、第２のスリット３２２を有する。スリット３２は複数の直線部で構成される。

図９（Ｂ）に示すように、第１のスリット３２１は、隣り合う非伸縮部３０間を繋ぐように略Ｙ字状に複数形成される。
本実施形態では、図面上、第１のスリット３２１は、縦方向（Ｙ軸方向）で隣り合う２つの非伸縮部３０、斜め方向で隣り合う２つの非伸縮部３０を繋ぐように形成される。
第１のスリット３２１は、隣り合う２つの非伸縮部３０間に位置する伸縮部３１と、他の隣り合う２つの非伸縮部３０間に位置する伸縮部３１とが接続せず、分離するように形成される。

図９（Ｃ）に示すように、第２のスリット３２２は、隣り合う２つの非伸縮部３０間であって、隣り合う２つの第１のスリット３２１間に、複数、本実施形態においては４つ形成される。

第２のスリット３２２は、当該第２のスリット３２２を間に介して配置される隣り合う２つの非伸縮部３０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行、本実施形態においては仮想線２に直交して、延在する。第２のスリット３２２は、隣り合う２つの非伸縮部３０を繋がないように形成される。

第２のスリット３２２の一部は、非伸縮部３０と伸縮部３１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部３０の略正六角形状の輪郭を形作るように、形成される。

直線状の第２のスリット３２２は、一端３２２ａと他端３２２ｂを有する。一端３２２ａは第１のスリット３２１に連結する。他端３２２ｂは第１のスリット３２１に連結しない。

隣り合う２つの第１のスリット３２１間に位置する４つの第２のスリット３２２のうち２つは、隣り合う２つの第１のスリット３２１のうちの一方の第１のスリット３２１と連結する。
残りの２つの第２のスリット３２２は、他方の第１のスリット３２１と連結する。
一方の第１のスリット３２１と連結する第２のスリット３２２と、他方の第１のスリット３２１と連結する第２のスリット３２２とは、互い違いに形成される。

このようにスリット３２が形成されることにより、ジグザグ形状の帯状体の伸縮部３１とすることができ、フレキシブル配線基板４０１に伸縮性が付与される。

（第６の実施形態）
図１０は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板５０１の概略平面図である。図１０（Ａ）は、非伸縮部の形状を説明するための図であり、スリットの図示を省略している。図１０（Ｂ）は、第１のスリットの形状を説明する図であり、第２のスリットの図示を省略している。図１０（Ｃ）は、第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。

図１０に示すように、本実施形態のフレキシブル配線基板５０１は、複数の非伸縮部４０と、非伸縮部４０を区画する伸縮部４１と、を有する。

図１０に示すように、各非伸縮部４０は正三角形状を有していてもよい。複数の非伸縮部４０は、Ｘ軸方向に沿って一辺を配置したときに、当該一辺よりも上側にその対頂点が位置する三角形状の非伸縮部４０と下側に対頂点が位置する逆三角形状の非伸縮部４０とが交互に並んでＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って配置される。

図１０（Ｃ）に示すように、スリット４２は、第１のスリット４２１と、第２のスリット４２２を有する。スリット４２は複数の直線部で構成される。

図１０（Ｂ）に示すように、第１のスリット４２１は、隣り合う２つ非伸縮部４０を繋ぐように形成される。本実施形態では、図面上、正三角形状の非伸縮部４０が６つ集合して形成される全形が正六角形の集合体の中心に第１のスリット４２１は形成される。この第１のスリット４２１は、集合体を形成する６つの非伸縮部４０のうちＹ軸方向に沿って隣り合う２つの非伸縮部４０を繋ぐ１本の直線と、２組の斜め方向に沿って隣り合う２つの非伸縮部をそれぞれの組ごとで繋ぐ２本の直線とが交差した形状を有する。

このように、隣り合う２つの非伸縮部４０間に位置する伸縮部４１と、他の隣り合う２つの非伸縮部４０間に位置する伸縮部４１とが接続せず、分離するように、第１のスリット４２１は形成される。

図１０（Ｃ）に示すように、第２のスリット４２２は、隣り合う２つの非伸縮部４０であって、隣り合う２つの第１のスリット４１２間に、複数、本実施形態においては４つ形成される。

第２のスリット４２２は、当該第２のスリット４２２を間に介して配置される隣り合う２つの非伸縮部４０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行、本実施形態においては仮想線２に直交して、延在する。第２のスリット４２２は、隣り合う２つの非伸縮部４０を繋がないように形成される。

第２のスリット４２２の一部は、非伸縮部４０と伸縮部４１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部４０の略正三角形状の輪郭を形作るように、形成される。

第２のスリット４２２は、一端４２２ａと他端４２２ｂを有する。一端４２２ａは第１のスリット４２１に連結する。他端４２２ｂは第１のスリット４２１に連結しない。

隣り合う２つの第１のスリット４２１間に位置する４つの第２のスリット４２２のうち２つは、隣り合う２つの第１のスリット４２１のうち一方の第１のスリット４２１と連結する。
残りの２つの第２のスリット４２２は、他方の第１のスリット４２１と連結する。
一方の第１のスリット４２１と連結する第２のスリット４２２と、他方の第１のスリット４２１と連結する第２のスリット４２２とは、互い違いに形成される。

このようなスリット４２が形成されることにより、ジグザグ形状の帯状体の伸縮部４１とすることができる。

（第７の実施形態）
図１１は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板６０１の概略平面図である。図１１（Ａ）は、非伸縮部の形状を説明するための図であり、スリットの図示を省略している。図１１（Ｂ）は、第１のスリットの形状を説明する図であり、第２のスリットの図示を省略している。図１１（Ｃ）は、第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。
図１１（Ｄ）は、他の第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。

図１１に示すように、本実施形態のフレキシブル配線基板６０１は、複数の非伸縮部５０と、非伸縮部５０を区画する伸縮部５１と、を有する。
本実施形態のように、各非伸縮部５０を略円形状としてもよい。円形状の複数の非伸縮部５０は、千鳥状に配置される。

伸縮部５１にはスリット５２が形成される。スリット５２は、第１のスリット５２１と、第２のスリット５２２を有する。
尚、図１１（Ｃ）及び（Ｄ）それぞれに示すスリットは、第１のスリットの形状は同じであるが、第２のスリットの形状が異なる点で相違する。図１１（Ｃ）で示す第２のスリットは直線状であるのに対し、図１１（Ｄ）で示す第２のスリットは円弧状である。

図１１（Ｂ）に示すように、第１のスリット５２１は、隣り合う２つの非伸縮部５０を繋ぐように、略Ｙ字状に形成される。
各第１のスリット５２１は、隣り合う２つの非伸縮部５０間に位置する伸縮部５１と他の隣り合う２つの非伸縮部５０間に位置する伸縮部５１とが分離するように形成される。

図１１（Ｃ）に示すように、直線状の第２のスリット５２２は、隣り合う２つの非伸縮部５０間であって、隣り合う２つの第１のスリット５２１間に、複数、本実施形態においては４つ形成される。
第２のスリット５２２は、隣り合う２つの非伸縮部５０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行、本実施形態においては仮想線２に直交して、延在する。第２のスリット５２２は、隣り合う２つの非伸縮部５０を繋がないように形成される。

図１１（Ｃ）においては、第２のスリット５２２を直線状としているため、非伸縮部５０の輪郭は略正六角形状となり、上述の第５の実施形態と同様のスリット形状となるが、ここでは、正六角形状を略円形とみなしている。

第２のスリット５２２は、一端５２２ａと他端５２２ｂを有する。一端５２２ａは第１のスリット５２１に連結する。他端５２２ｂは第１のスリット５２１に連結しない。
第２のスリット５２２の一部は、非伸縮部５０と伸縮部５１とが接続する部分を残しつつ、略円形状の非伸縮部５０の円形の輪郭を形作るように、形成される。

隣り合う２つの第１のスリット５２１間には、２つの第１のスリット５２１のうち一方の第１のスリット５２１に連結する第２のスリット５２２と、他方の第１のスリット５２１に連結する第２のスリット５２２とが、互い違いに形成されている。
このようなスリット５２が形成されることにより、ジグザグ形状の帯状体の伸縮部５１とすることができる。

尚、図１１（Ｄ）に示すように、第２のスリット５２２は直線状ではなく円弧状であってもよい。第２のスリット５２２は、隣り合う２つの非伸縮部５０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行となる。非伸縮部５０の形状は略円形状となる。

以上の実施形態のように、非伸縮部の形状及びその配置は様々な形態のものとすることができる。

（第８の実施形態）
上述の非伸縮部の形状を正方形状とした第１〜第４の実施形態においては、第１のスリットの形状がＸ字状であったが、これに限定されない。

例えば図１２（Ａ）に示すように、直線から形成される略Ｕ字状の第１のスリット６１１としてもよい。
図１２は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板７０１の概略平面図である。図１２（Ａ）は、第１のスリットの形状を説明する図である。図１２（Ｂ）は、第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。

図１２に示すように、略Ｕ字状の第１のスリット６１１としても、各非伸縮部２０が互いに独立して相対位置が変化可能となるように構成することができる。伸縮部２１が第１のスリット６１１により分割されてなる各分割領域は、当該分割領域を間に介して対向配置される２つの非伸縮部２０にのみ接続する。

このようなＵ字状の第１のスリット６１１に対し、図１２（Ｂ）に示すように、一端が第１のスリット６１１に連結し、他端が第１のスリット６１１に連結しない第２のスリット６１２を複数形成して、スリット６１を形成することにより、フレキシブル配線基板７０１を三次元的に変形可能とすることができる。

（第９の実施形態）
上述の非伸縮部の形状を正方形状とした第１〜第４の実施形態においては、第１のスリットの形状がＸ字状であったが、これに限定されない。

例えば、図１３（Ａ）に示すように、格子状の伸縮部２１が形成される領域の交点となる領域が正方形となるように非伸縮部２０及び伸縮部２１の形状及び位置を設定した場合に、この正方形の４つの頂点をつなぐ線分の長さの総和が最小となる最短分割線の形状に沿って第１のスリット６２１を形成してもよい。

図１３は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板７０２の概略平面図である。図１３（Ａ）は、第１のスリット６２１の形状を説明する図である。図１３（Ｂ）は、第１のスリット６２１及び第２のスリット６２２を有するスリット６２の形状を説明するための図である。

図１３（Ａ）に示すように、最短分割線の形状に沿って第１のスリット６２１を形成してもよく、カット長を短くすることができる。したがって、レーザ加工によりスリットを形成する際、スリット形成時間を短縮することができ、歩留りを向上させることができる。

このような最短分割線の形状の第１のスリット６２１に対し、図１３（Ｂ）に示すように、一端が第１のスリット６２１に連結し、他端が第１のスリット６２１に連結しない第２のスリット６２２を形成して、スリット６２を形成することにより、フレキシブル配線基板７０２を三次元的に変形可能とすることができる。

尚、ここでは、第１のスリットを形成する領域が正方形である場合を例にあげたが、他の形状でもよく、その形状における最短分割線の形状に沿った第１のスリットを設けることにより、カット長を短くすることができる。

（第１０の実施形態）
上述の非伸縮部の形状を正三角形状とした場合の第１のスリットの形状は、第６の実施形態で示した形状に限定されない。

図１４は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板７０３の概略平面図である。図１４（Ａ）は、第１のスリット６３１の形状を説明する図である。図１４（Ｂ）は、第１のスリット６３１及び第２のスリット６３２を有するスリット６３の形状を説明するための図である。

図１４（Ａ）に示すような形状の第１のスリット６３１を形成してもよい。
このような形状の第１のスリット６３１に対し、図１４（Ｂ）に示すように、一端が第１のスリット６３１に連結し、他端が第１のスリット６３１に連結しない第２のスリット６３２を形成して、スリット６３を形成することにより、フレキシブル配線基板７０３を三次元的に変形可能とすることができる。

以上の第８〜第１０の実施形態のように、第１のスリットの形状は様々な形状を取ることができる。また、ここに記載する形状に限定されない。

（第１１の実施形態）
上述の非伸縮部の形状を正方形状とした第１〜第４の実施形態においては、非伸縮部をマトリクス状に配置する例をあげたが、これに限定されない。

図１５は、本実施形態に係るフレキシブル配線基板８０１の概略平面図である。
図１５（Ａ）は、第１のスリットの形状を説明する図である。
図１５（Ｂ）は、第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。
図１５（Ｃ）は、他の第１及び第２のスリットの形状を説明するための図である。
図１５（Ｂ）及び（Ｃ）それぞれに示すスリットは、第１のスリットの形状は同じであるが、第２のスリットの形状が異なる点で相違する。

図１５に示すように、フレキシブル配線基板８０１は、複数の非伸縮部７０と、非伸縮部７０を区画する伸縮部７１と、を有する。
図１５に示すように、複数の正方形状の非伸縮部７０を、相互に離間して、千鳥状に配置してもよい。
伸縮性の伸縮部７１を形成するスリット７２は、第１のスリット７２１と、第２のスリット７２２を有する。

図１５（Ａ）に示すように、第１のスリット７２１は、隣り合う２つの非伸縮部７０を繋ぐようにＹ字状、逆Ｙ字状に複数形成される。図面上、隣り合う非伸縮部７０が３つ集合して形成される全形が略三角形又は略逆三角形の集合体の中心に第１のスリット７２１は形成される。この第１のスリット７２１は、集合体を形成する３つの非伸縮部７０を繋ぐように形成される。
各第１のスリット７２１は、隣り合う２つの非伸縮部７０間に位置する伸縮部７１と他の隣り合う２つの非伸縮部７０間に位置する伸縮部７１とが分離するように形成される。

図１５（Ｂ）に示すように、第２のスリット７２２は、隣り合う２つの非伸縮部７０間であって、隣り合う２つの第１のスリット７２１の間に４つ形成される。
第２のスリット７２２は、隣り合う２つの非伸縮部７０の中心Ｃ間を結んだ仮想線２と非平行に延在する。第２のスリット７２２は、隣り合う２つの非伸縮部７０を繋がないように形成される。

第２のスリット７２２は、一端７２２ａと他端７２２ｂを有する。一端７２２ａは第１のスリット７２１に連結する。他端７２２ｂは第１のスリット７２１に連結していない。

隣り合う２つの第１のスリット７２１間には、２つの第１のスリット７２１のうち一方の第１のスリット７２１に連結する第２のスリット７２２と、他方の第１のスリット７２１に連結する第２のスリット７２２とが、互い違いに形成されている。
このようなスリット７２の形成により、伸縮部７１を細い帯状体とすることができる。

また、第２のスリット７２２の形状は、図１５（Ｂ）に図示される形状に限定されず、図１５（Ｃ）に図示される形状であってもよい。

図１５（Ｃ）に示すように、複数の第２のスリット７２２のうち、その両端のいずれもが第１のスリット７２１に連結しない第２のスリット７２２があってもよい。
図１５（Ｃ）に示す第２のスリット７２２のパターンでは、図１５（Ｂ）に示すパターンと比較して、Ｘ軸方向への伸縮性が小さいものとなる。このように、スリットパターンを変えることにより、フレキシブル配線基板の面内で互いに異なる方向での伸縮量を適宜変化させてもよい。また、スリット配線基板の面内で、スリットの延在方向を異ならせたり、異なるエリアごとにスリットパターンを変えることによって、フレキシブル配線基板の伸縮量を面内で適宜変化させてもよい。

（第１２の実施形態）
図１６を用いて、スリットの形状の変形例について説明する。図１６（Ａ）〜（Ｄ）の各図はいずれもフレキシブル配線基板の概略平面図である。

図１６（Ａ）に示すフレキシブル配線基板９０１は、第１の実施形態と比較して、第２のスリットの形状が異なる点でのみ相違する。
フレキシブル配線基板９０１には、第１のスリット２２１と第２のスリット８２２を有するスリット８２が形成される。

図１６（Ａ）に示すように、複数の第２のスリット８２２のうち、その両端のいずれもが第１のスリット２２１に連結しない第２のスリット８２２があってもよい。
図に示す例では、一端８２２ａが第１のスリット２２１に連結し、他端８２２ｂが第２のスリット２２２に連結する第２のスリット８２２も形成される。
第２のスリット８２２の一部は、非伸縮部２０と伸縮部２１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部２０の略正方形状の輪郭を形作るように、形成される。

図１６（Ｂ）に示すフレキシブル配線基板９０２は、第１の実施形態と比較して、第２のスリットの形状が異なる点でのみ相違する。
フレキシブル配線基板９０２には、第１のスリット２２１と第２のスリット８３２を有するスリット８３が形成される。

図１６（Ｂ）に示すように、第２のスリット８３２が、４つの直線部が連なってなる折り返し部を有する略Ｕ字形状であってもよい。
本実施形態では、隣り合う２つの非伸縮部２０間であって、隣り合う２つの第１のスリット２２１間に第２のスリット８３２が２つ形成される。１つの第２のスリット８３２を形成する４つの直線部のうち２つの直線部は互いに平行に形成され、２つの第２のスリット８３２により、４つの直線部が隣り合う２つの非伸縮部２０間に位置することになる。
スリット８３の形成により、帯状体の伸縮部２１とすることができる。

隣り合う２つの第１のスリット２２１間には、２つの第１のスリット２２１のうち一方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット８３２と、他方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット８３２とが、互い違いに形成されている。
第２のスリット８３２の一端８３２ａは第１のスリット２２１に連結し、他端８３２ｂは第１のスリット２２１に連結しない。
第２のスリット８３２は、非伸縮部２０と伸縮部２１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部２０の略正方形状の輪郭を形作るように、形成される。

図１６（Ｃ）に示すフレキシブル配線基板９０３は、第１の実施形態と比較して、第２のスリットの数が異なる点でのみ相違する。
フレキシブル配線基板９０３には、第１のスリット２２１と第２のスリット８４２を有するスリット８４が形成される。

第１の実施形態では、隣り合う２つの第１のスリット２２１間に直線状の４つの第２のスリット２２２が形成される例をあげたが、第２のスリット２２２の数はこれに限定されず、例えば、図１６（Ｃ）に示すように２つであってもよい。
第２のスリット８４２は、非伸縮部２０と伸縮部２１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部２０の略正方形状の輪郭を形作るように、形成される。

隣り合う２つの第１のスリット２２１間には、２つの第１のスリット２２１のうち一方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット８４２と、他方の第１のスリット２２１に連結する第２のスリット８４２とが、互い違いに形成されている。
第２のスリット８４２の一端８４２ａは第１のスリット２２１に連結し、他端８４２ｂは第１のスリット２２１に連結しない。
スリット８４の形成により、帯状体の伸縮部２１とすることができる。

図１６（Ｄ）に示すフレキシブル配線基板９０４は、第１の実施形態と比較して、第２のスリットの数が異なる点でのみ相違する。
フレキシブル配線基板９０４には、第１のスリット２２１と第２のスリット８５２を有するスリット８５が形成される。

第１の実施形態では、隣り合う２つの第１のスリット２２１に挟まれる領域に直線状の４つの第２のスリット２２２が形成される例をあげたが、第２のスリット２２２の数はこれに限定されず、例えば、図１６（Ｄ）に示すように８つであってもよい。

隣り合う２つの第１のスリット２２１に挟まれる領域に形成される８つの直線状の第２のスリット８５２のうち、４つの第２のスリット８５２は、一方の第１のスリット２２１に連結する。
他の４つの第２のスリット８５２は、他方の第１のスリット２２１に連結する。
一方の第１のスリット２２１に連結する４つの第２のスリット８５２と、他方の第１のスリット２２１に連結する４つの第２のスリット８５２とは、互い違いに配置される。
第２のスリット８５２の一部は、非伸縮部２０と伸縮部２１とが接続する部分を残しつつ、非伸縮部２０の略正方形状の輪郭を形作るように、形成される。
スリット８５の形成により、帯状体の伸縮部２１とすることができる。

以上の実施形態のように、スリット数、スリットの位置、スリット位置の対称性、非伸縮部と伸縮部との接続の位置等は変形可能である。

上述のように第２のスリットの数は適宜設定することができる。第２のスリットの数を調整することによりフレキシブル配線基板に対して付与する伸縮性の度合いを調整することができる。例えば第２のスリットの数を増やすことにより伸縮性を増大させることができる。

隣り合う２つの第１のスリットにより挟まれた領域に、同一直線上に位置しない少なくとも２つの第２のスリットが形成されることが望ましい。そして、これら２つの第２のスリットは、一端が第１のスリットに連結し、他端が第１のスリットに連結しない。２つの第２のスリットのうち一方は、隣り合う２つの第１のスリットの一方の第１のスリットに連結し、他方の第２のスリットは、他方の第１のスリットに連結する。

このようなスリットを形成することにより、伸縮部を伸縮可能な形状とすることができ、隣り合う非伸縮部の相対位置が変化可能なフレキシブル配線基板とすることができる。そして、第２のスリットの数を増加させることにより、伸縮部の伸縮性を増加させることができる。

（第１３の実施形態）
図１７を用いて、変形例について説明する。図１７（Ａ）〜（Ｃ）の各図はいずれもフレキシブル配線基板の概略平面図である。

図１７（Ａ）に示すフレキシブル配線基板１００１は、第１の実施形態と比較して、第２のスリットの他端に拡幅部を有する点でのみ相違する。

フレキシブル配線基板１００１には、第１のスリット２２１と第２のスリット９２２を有するスリット９２が形成される。
第２のスリット９２２は、他端９２２ａが正円形状にカットされ、その他の部分は直線状にカットされる。他端９２２ａが正円形状にカットされることにより、第２のスリット９２２の他端９２２ａに、直線状にカットされる部分のスリット幅よりも広い幅を有する拡幅部９５が形成される。

上述の各実施形態では、スリットを１本の実線で図示したが、図１７（Ａ）では、拡幅部９５の形状をよりわかりやすくするために、直線状にカットされる部分に隙間ができるように図示している。

円形状の拡幅部９５を設けることにより、伸縮部２１の伸縮により第２のスリット９２２の先端（他端９２２ａに相当）にかかる応力を分散させることでき、第２のスリット９２２の先端を起点にフレキシブル配線基板１００１に亀裂が入ることが抑制される。

このような円形状の拡幅部９５を有する第２のスリット９２２は、例えば、レーザ加工時に、第２のスリット９２２の先端のみ加工線幅を太く変えることにより形成することができる。

加工線幅の変更は、レーザのフォーカスを変え解像度を落とすことによって実現できる。或いは、開口径の異なるアパーチャマスクを用いて加工線幅を変更してもよい。いずれにおいても、同一のレーザ加工機で加工線幅を変えて、直線部分と円形状の拡幅部を有する第２のスリット９２２を形成することができる。
このように、レーザ加工機で加工するスリットのパターン自体は直線のみで形成することができ、加工線幅を変更することにより円形状の拡幅部を形成することができる。

また、拡幅部の形状は円形に限定されず、例えば、楕円形状であってもよい。
図１７（Ｂ）に示すフレキシブル配線基板１００２は、図１７（Ａ）に示す形態とは、拡幅部の形状が異なる点でのみ相違する。

フレキシブル配線基板１００２には、第１のスリット２２１と第２のスリット９３２を有するスリット９３が形成される。

第２のスリット９３２は、他端９３２ａが楕円状にカットされ、その他の部分は直線状にカットされる。他端９３２ａが楕円状にカットされることにより、第２のスリット９３２の他端９３２ａに、直線状にカットされる部分のスリット幅よりも広い幅を有する拡幅部９６が形成される。

図１７（Ａ）と同様、図１７（Ｂ）においても、拡幅部９６の形状をよりわかりやすくするために、直線状にカットされる部分に隙間ができるように図示している。

楕円形状の拡幅部９６を設けることにより、伸縮部２１の伸縮により第２のスリット９３２の先端（他端９３２ａに相当）にかかる応力を分散させることでき、第２のスリット９３２の先端を起点にフレキシブル配線基板１００２に亀裂が入ることが抑制される。

このような楕円形状の拡幅部９６は、レーザ加工により、図１７（Ａ）で説明した円形状の拡幅部を２つ繋げるように形成することによって形成することができる。

また、拡幅部を設けずに、図１７（Ｃ）に示すように補強部９７を設けてもよい。
図１７（Ｃ）に示すフレキシブル配線基板１００３は、第１の実施形態と比較して、第２のスリット２２２の他端２２２ｂに補強部９７が更に設けられた構成となっている点でのみ相違する。

補強部９７は、第２のスリット２２２の他端２２２ｂを覆うように設けられる。補強部９７に用いられる材料は特に限定されず、例えば金属を用いることができる。補強部９７を設けることにより、第２のスリット２２２の先端（他端２２２ｂに相当）の強度を向上させることができ、伸縮部２１の伸縮によって第２のスリット２２２の先端を起点にフレキシブル配線基板１００３に亀裂が入ることが抑制される。

図１７（Ａ）〜（Ｃ）を用いて説明したように、第２のスリットの先端に拡幅部を設ける、或いは、補強部を設けることにより、第２のスリット９３２の先端を起点にフレキシブル配線基板に亀裂が入ることが抑制される。
従って、伸縮部２１に配置される配線の断線の発生を抑制することができ、配線の断線不良が低減された信頼性の高いフレキシブル配線基板及びこれを用いた電子機器を得ることができる。

以上のように、本技術においては、スリットを形成することにより、３次元形状に変形可能なフレキシブル配線基板を得ることができる。

本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

例えば、上述した各実施形態を適宜組み合わせてもよく、第２の実施形態で説明した心拍測定装置の表示部に第３の実施形態で説明したＬＥＤディスプレイを用いてもよい。更に、ＬＥＤディスプレイ上に第４の実施形態で説明したタッチパネルを設けて、タッチ入力が可能なディスプレイとしてもよい。

また、上述の実施形態において、フレキシブル配線基板を用いた電子機器の例として、心拍測定装置、ＬＥＤディスプレイ、ロボットハンドを例にあげて説明したが、これらに限定されない。

例えば、心電図、脳波、筋電図等の生体からの電位変動を検出する生体用電極にフレキシブル配線基板を適用することができる。生体用電極は体表面に貼りつけられて使用される。生体用電極として、スリットが形成された伸縮部と非伸縮部を有する金属シートからなるフレキシブル配線基板や支持部材上に金属シートが貼り付けられた複合体にスリットが形成されたフレキシブル配線基板を用いることができる。

他の例として、抵抗膜式や静電容量式等のタッチパネルに本技術に係るフレキシブル配線基板を適用することができる。
また、受光素子として太陽電池を非伸縮部に複数配置したフレキシブル配線基板としてもよい。
また、複数のセル電池を非伸縮部に配置したフレキシブル配線基板とし、フレキシブル性及び伸縮性を有する電池としてもよい。
また、複数のキャパシタを非伸縮部に配置し、各キャパシタを電気的に接続する配線を伸縮部に配置したフレキシブル配線基板としてもよく、各キャパシタの充電を効率よく行うことができる。

また、スマートフォンやタブレット端末等の任意の携帯情報端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistant）、医療機器、ゲーム機器、家電機器等の任意の電子機器等に、本技術に係るフレキシブル配線基板を適用することが可能である。

また、上述の実施形態においては、同じスリット形状が繰り返された面内で均一なスリットパターンとする例をあげたがこれに限定されない。
例えば、複数の非伸縮領域の大きさが基板面内で異なってもよいし、基板面内でスリットパターンが部分的に異なっていてもよい。
このように非伸縮領域の大きさやスリットパターンを面内で部分的に異ならせることにより、伸縮性を面内で異なるものとすることができる。これにより、フレキシブル配線基板を適用する電子機器に求められる形状によって、フレキシブル配線基板の伸縮性を基板面内で異ならせることができる。

また、上述の実施形態では、スリット形成にレーザ加工機を用いる例をあげたが、カッティングプロッタを使用してもよい。

なお、本技術は以下のような構成もとることができる。

（１）
相互に離間した複数の非伸縮部と、
複数の上記非伸縮部を区画し、隣り合う上記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して上記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする伸縮部
を具備するフレキシブル配線基板。

（２）
上記（１）に記載のフレキシブル配線基板であって、
上記スリットは、隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する伸縮部と他の隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する伸縮部とを分離する第１のスリットを含む
フレキシブル配線基板。

（３）
上記（２）に記載のフレキシブル配線基板であって、
上記スリットは、隣り合う２つの上記非伸縮部間に位置する上記伸縮部に、上記隣り合う２つの非伸縮部それぞれの中心を結んだ仮想線と非平行に延在する第２のスリットを含む
フレキシブル配線基板。

（４）
上記（３）に記載のフレキシブル配線基板であって、
上記第２のスリットは、上記仮想線と直交する
フレキシブル配線基板。

（５）
上記（３）又は（４）に記載のフレキシブル配線基板であって、
上記第２のスリットは、一端は上記第１のスリットに連結し、他端は上記第１のスリットに連結しない
フレキシブル配線基板。

（６）
上記（３）〜（５）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記伸縮部には複数の上記第１のスリットが形成され、
隣り合う２つの上記第１のスリット間には少なくとも２つの上記第２のスリットが形成され、
上記２つの第２のスリットのうち一方の第２のスリットの一端は、上記隣り合う２つの第１のスリットのうち一方の第１のスリットに連結し、他方の第２のスリットの一端は、他方の第１のスリットに連結する
フレキシブル配線基板。

（７）
上記（３）〜（６）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記第２のスリットは、上記他端に拡幅部を有する
フレキシブル配線基板。

（８）
上記（３）〜（６）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記第２のスリットの他端を覆う補強部
を更に具備するフレキシブル配線基板。

（９）
上記（１）〜（８）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記スリットは、互いに異なる方向に延在する形状を有する
フレキシブル配線基板。

（１０）
上記（１）〜（９）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記スリットは、直線部で構成される
フレキシブル配線基板。

（１１）
上記（１）〜（１０）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記非伸縮部に設けられた電子部品と、
上記電子部品と電気的に接続する上記伸縮部に設けられた配線と
を更に具備するフレキシブル配線基板。

（１２）
上記（１）〜（１０）のいずれか１つに記載のフレキシブル配線基板であって、
上記フレキシブル配線基板は導電性部材からなる
フレキシブル配線基板。

（１３）
相互に離間した複数の非伸縮部と、複数の上記非伸縮部を区画し、隣り合う上記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して上記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする伸縮部を備えるフレキシブル配線基板
を具備する電子機器。

１…絶縁性基板
２…仮想線
７、１７、２０７、４０１、５０１、６０１、７０１〜７０３、８０１、９０１〜９０４、１００１〜１００３…フレキシブル配線基板
１４…加速度センサ（電子部品）
２０、２０ａ〜２０ｉ、３０、４０、５０、７０…非伸縮部
２１、２１ａ、３１、４１、５１、７１…伸縮部
２２、３２、４２、５２、６１〜６３、７２、８２〜８５、９２、９３…スリット
２７…ＬＥＤパッケージ（電子部品）
３３〜３８…配線
９５、９６…拡幅部
９７…補強部
１００…心拍測定装置（電子機器）
１２１…第１のＬＥＤ（電子部品）
１２２…第１のＰＤ（電子部品）
１３１…第２のＬＥＤ（電子部品）
１３２…第２のＰＤ（電子部品）
１５１…ＩＣチップ（電子部品）
２００…ＬＥＤディスプレイ（電子機器）
２２１、２２１ａ〜２２１ｄ、３２１、４２１、５２１、６１１、６２１、６３１、７２１…第１のスリット
２２２、３２２、４２２、５２２、６１２、６２２、６３２、７２２、８２２、８３２、８４２、８５２、９２２、９３２…第２のスリット
２２２ａ、３２２ａ、４２２ａ、５２２ａ、７２２ａ、８２２ａ、８３２ａ、８４２ａ、８５２ａ、９２２ａ、９３２ａ…第２のスリットの一端（一端）
２２２ｂ、３２２ｂ、４２２ｂ、５２２ｂ、７２２ｂ、８２２ｂ、８３２ｂ、８４２ｂ、８５２ｂ、９２２ｂ、９３２ｂ…第２のスリットの他端（他端）
２３１…アドレス信号線（配線）
２３２…データ信号線（配線）
３０１…圧力センサ（電子部品）
３０７…圧力アレイセンサ（フレキシブル配線基板）
３３１…第１の配線（配線）
３３２…第２の配線（配線）
Ｃ…中心

Claims (13)

1. 相互に離間した複数の非伸縮部と、
   複数の前記非伸縮部を区画し、隣り合う前記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して前記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする伸縮部と
   を具備するフレキシブル配線基板。
2. 請求項１に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記スリットは、隣り合う２つの前記非伸縮部間に位置する伸縮部と他の隣り合う２つの前記非伸縮部間に位置する伸縮部とを分離する第１のスリットを含む
   フレキシブル配線基板。
3. 請求項２に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記スリットは、隣り合う２つの前記非伸縮部間に、前記隣り合う２つの非伸縮部それぞれの中心を結んだ仮想線と非平行に延在する第２のスリットを含む
   フレキシブル配線基板。
4. 請求項３に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記第２のスリットは、前記仮想線と直交する
   フレキシブル配線基板。
5. 請求項４に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記第２のスリットは、一端は前記第１のスリットに連結し、他端は前記第１のスリットに連結しない
   フレキシブル配線基板。
6. 請求項５に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記伸縮部には複数の前記第１のスリットが形成され、
   隣り合う２つの前記第１のスリット間には少なくとも２つの前記第２のスリットが形成され、
   前記２つの第２のスリットのうち一方の第２のスリットの一端は、前記隣り合う２つの第１のスリットのうち一方の第１のスリットに連結し、他方の第２のスリットの一端は、他方の第１のスリットに連結する
   フレキシブル配線基板。
7. 請求項３に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記第２のスリットは、前記他端に拡幅部を有する
   フレキシブル配線基板。
8. 請求項３に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記第２のスリットの他端を覆う補強部
   を更に具備するフレキシブル配線基板。
9. 請求項７に記載のフレキシブル配線基板であって、
   前記スリットは、互いに異なる方向に延在する形状を有する
   フレキシブル配線基板。
10. 請求項９に記載のフレキシブル配線基板であって、
    前記スリットは、直線部で構成される
    フレキシブル配線基板。
11. 請求項３に記載のフレキシブル物配線基板であって、
    前記非伸縮部に設けられた電子部品と、
    前記電子部品と電気的に接続する前記伸縮部に設けられた配線と
    を更に具備するフレキシブル配線基板。
12. 請求項３に記載のフレキシブル配線基板であって、
    前記フレキシブル配線基板は導電性部材からなる
    フレキシブル配線基板。
13. 相互に離間した複数の非伸縮部と、複数の前記非伸縮部を区画し、隣り合う前記非伸縮部間を接続し、スリットが形成されることにより伸縮して前記非伸縮部間の相対位置を変化可能とする伸縮部とを備えるフレキシブル配線基板
    を具備する電子機器。

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