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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL253862B (en) * 2017-08-06 2021-04-29 Elbit Systems Land & C4I Ltd Photoacoustic excitation sensing enhanced by cross-correlated unfocused speckle images
EP3779378B1 (en) * 2018-04-05 2022-05-11 Shimadzu Corporation Vibration measurement device
JP7215134B2 (ja) * 2018-12-17 2023-01-31 株式会社島津製作所 検査装置および検査方法
CN113227781B (zh) * 2018-12-20 2024-02-13 株式会社岛津制作所 缺陷检查装置和缺陷检查方法
EP3699562A1 (en) * 2019-01-27 2020-08-26 Tata Consultancy Services Limited Unobtrusive and automated detection of frequency of vibrating objects using multiple strobe sources
US11977032B2 (en) 2019-01-29 2024-05-07 Shimadzu Corporation Displacement measurement device and defect detection device
JP2020136361A (ja) * 2019-02-14 2020-08-31 ファスフォードテクノロジ株式会社 実装装置および半導体装置の製造方法
CN109669028B (zh) * 2019-03-04 2021-06-15 青岛理工大学 一种钢筋锈胀引起混凝土开裂锈胀力的测量方法
CN113646627B (zh) * 2019-04-17 2024-01-05 株式会社岛津制作所 缺陷检查装置和缺陷检查方法
WO2020241092A1 (ja) * 2019-05-30 2020-12-03 株式会社島津製作所 管状体の接合部の検査方法及び装置
CN110243786B (zh) * 2019-06-10 2024-08-13 佛山科学技术学院 基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置
CN110261052B (zh) * 2019-06-19 2020-11-06 西北工业大学 采用力锤激励和摄影测量的结构振动模态分析系统及方法
JP7283324B2 (ja) * 2019-09-18 2023-05-30 株式会社島津製作所 欠陥検査装置
CN114424060B (zh) * 2019-09-19 2024-09-10 杰富意钢铁株式会社 移动式检查装置、移动式检查方法及钢材的制造方法
CN111982266B (zh) * 2020-06-24 2022-06-28 北京航空航天大学 一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法
US12482086B2 (en) 2020-09-18 2025-11-25 Shimadzu Corporation Defect inspection apparatus
JP7632621B2 (ja) * 2021-06-17 2025-02-19 株式会社島津製作所 欠陥検査システム、欠陥検査装置、および、欠陥検査方法
TWI780777B (zh) * 2021-06-17 2022-10-11 國立中興大學 週期位移測量裝置
CN113442280A (zh) * 2021-06-28 2021-09-28 筑友智造建设科技集团有限公司 振动台的自动控制方法及系统
JP7753791B2 (ja) * 2021-10-25 2025-10-15 株式会社島津製作所 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
DE102022102495B3 (de) * 2022-02-02 2023-06-15 Hochschule Trier, Körperschaft des öffentlichen Rechts System zur shearografischen Messung großflächiger Objekte
JP7757854B2 (ja) 2022-03-28 2025-10-22 株式会社島津製作所 欠陥検出装置

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS606860A (ja) * 1983-06-15 1985-01-14 Hitachi Ltd 非接触式超音波探傷方法およびその装置
US4567769A (en) 1984-03-08 1986-02-04 Rockwell International Corporation Contact-free ultrasonic transduction for flaw and acoustic discontinuity detection
JPS61272605A (ja) * 1985-05-29 1986-12-02 Kyocera Corp 面形状測定用干渉計
US5439157A (en) 1994-07-18 1995-08-08 The Babcock & Wilcox Company Automated butt weld inspection system
US5546187A (en) 1995-03-15 1996-08-13 Hughes Aircraft Company Self-referencing laser-based ultrasonic wave receiver
US6057927A (en) 1998-02-25 2000-05-02 American Iron And Steel Institute Laser-ultrasound spectroscopy apparatus and method with detection of shear resonances for measuring anisotropy, thickness, and other properties
DE19841365C2 (de) * 1998-09-10 2000-11-16 Ubbo Ricklefs Meßverfahren zur Aufnahme und Auswertung von Streifenbildern sich verformender Oberflächen
US6512385B1 (en) * 1999-07-26 2003-01-28 Paul Pfaff Method for testing a device under test including the interference of two beams
NO314323B1 (no) * 2000-03-24 2003-03-03 Optonor As Framgangsmåte og interferometer for måling av mikroskopisk vibrasjon
JP4782958B2 (ja) * 2001-09-21 2011-09-28 株式会社リコー 表面形状測定装置及びその方法、プログラム並びに記憶媒体
JP3955513B2 (ja) * 2002-09-04 2007-08-08 株式会社日立製作所 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
US6882431B2 (en) * 2002-11-26 2005-04-19 Malvin C. Teich Quantum optical coherence tomography data collection apparatus and method for processing therefor
US7463364B2 (en) 2003-07-31 2008-12-09 Ler Technologies, Inc. Electro-optic sensor
CN1710388A (zh) * 2004-06-17 2005-12-21 史铁林 微机电系统动态特性与可靠性三维测量装置
JP4633423B2 (ja) * 2004-09-15 2011-02-16 株式会社トプコン 光画像計測装置
CN2760550Y (zh) * 2004-12-24 2006-02-22 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 具有时间和空间相移功能的电子剪切散斑干涉仪
CN101124478B (zh) 2005-07-06 2010-12-08 财团法人电力中央研究所 超声波探伤检验时的伤高测量方法和装置
EP1742049B1 (en) 2005-07-07 2009-12-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Laser-based maintenance apparatus
JP2007024674A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Hitachi Ltd 表面・表層検査装置、及び表面・表層検査方法
TWI322884B (en) * 2007-03-27 2010-04-01 Ind Tech Res Inst Singal analysis method for vibratory interferometry
JP5095289B2 (ja) * 2007-07-24 2012-12-12 公益財団法人レーザー技術総合研究所 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置
JP2011038829A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Topcon Corp 干渉顕微鏡及び測定装置
US20110284508A1 (en) 2010-05-21 2011-11-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Welding system and welding method
US9304490B2 (en) 2011-05-27 2016-04-05 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and method for irradiating a medium
US9146096B2 (en) * 2012-03-06 2015-09-29 Nikon Corporation Form measuring apparatus, structure manufacturing system, scanning apparatus, method for measuring form, method for manufacturing structure, and non-transitory computer readable medium storing program for measuring form
WO2013185129A2 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Correlated Solutions, Inc. Optical non-contacting apparatus for shape and deformation measurement of vibrating objects using image analysis methodology
WO2014004835A1 (en) 2012-06-29 2014-01-03 The General Hospital Corporation System, method and computer-accessible medium for providing and/or utilizing optical coherence tomographic vibrography
JP6227337B2 (ja) * 2013-01-24 2017-11-08 株式会社日立エルジーデータストレージ 光計測装置
WO2015065999A1 (en) 2013-10-28 2015-05-07 Oakland University Spatial phase-shift shearography system for strain measurement
US10371668B2 (en) * 2014-07-11 2019-08-06 Vanderbilt University Apparatus and methods for probing a material as a function of depth using depth-dependent second harmonic generation
US10345267B2 (en) 2015-12-21 2019-07-09 The Boeing Company Composite inspection
JP6451695B2 (ja) 2016-06-02 2019-01-16 株式会社島津製作所 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
CN106091974B (zh) * 2016-08-04 2020-03-20 北京信息科技大学 一种物体形变测量仪器、方法和设备

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