JP2008003597A - 物体の光学的測定を行うための走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査型顕微鏡は、信号検出部12と信号記憶部13とを備え、信号検出部は走査型顕微鏡の光路内に配置されて、反射光線は信号検出部に集束され、信号記憶部は信号検出部と接続されるとともに、信号検出部の測定信号からなる測定信号列を記憶するように構成され、その際、走査制御部11は信号記憶部と接続されて信号記憶部を制御して、物体上のそれぞれの測定点につき、時間的に順次連続する少なくとも2つの前記測定信号を有する少なくとも1つの測定信号列が記憶される。
【選択図】図1
Description
5:対物レンズ
6:被測定物体
10:変位機構
11:走査制御部
12:信号検出部
13:信号記憶部
14:励起ユニット
20:干渉計
Claims (12)
- 対物レンズ、光源、変位機構および走査制御部を備え、前記光源から送出された測定光線は被測定物体に当たり、前記物体によって反射された測定光線は反射光線として前記対物レンズを通って顕微鏡の光路に入射し、前記走査制御部は前記変位機構と連携するように形成され、前記走査制御部は制御信号によって前記変位機構を制御して、前記物体と測定光線との相対位置を変化させて測定光線が前記物体上の位置の異なる所定の少なくとも2つの測定点に向けられるように構成した、物体の光学的測定を行うための走査型顕微鏡であって、
前記走査型顕微鏡はさらに信号検出部と信号記憶部とを備え、前記信号検出部は前記走査型顕微鏡の光路内に配置されて、前記反射光線は前記信号検出部に集束され、前記信号記憶部は前記信号検出部と接続されるとともに、前記信号検出部の測定信号からなる測定信号列を記憶するように構成され、その際、前記走査制御部は前記信号記憶部と接続されて前記信号記憶部を制御して、物体上のそれぞれの測定点につき、時間的に順次連続する少なくとも2つの前記測定信号を有する少なくとも1つの測定信号列が記憶されることを特徴とする走査型顕微鏡。 - 前記走査制御部は同期入力部を有するとともに、前記同期入力部に与えられる同期信号に応じて前記信号記憶部を制御し、それぞれの測定点につき前記信号記憶部によって記憶された測定信号列は前記同期信号とほぼ同位相となるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査制御部は前記信号記憶部と連携するように構成され、1つの測定点につき記憶された測定信号列は少なくとも所定の数の前記測定信号を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査制御部は前記信号記憶部と連携するように構成され、それぞれの測定点につき所定の時間にわたって測定信号が所定のサンプリングレートで記憶されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記信号検出部と前記信号記憶部とは測定信号が少なくとも1kHzのサンプリングレートで記憶されるように形成されていることを特徴とする請求項4に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査型顕微鏡は、前記信号記憶部に接続された評価装置を備えるとともに、異なった測定点に関する個々の測定信号列を互いに相関させるように構成され、前記評価装置は少なくとも1つの測定点につき運動の速度又は振幅あるいはその両方を求めるように構成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査型顕微鏡は共焦点走査型顕微鏡として形成され、この顕微鏡光路に配置されるとともに、前記対物レンズの焦点外の点から前記対物レンズに入射する焦点外光線を遮光する空間フィルタを備えていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査型顕微鏡はさらに、前記物体と前記対物レンズの焦点面との間の相互距離を調整するフォーカス調整機構を備えており、
前記フォーカス調整機構は前記走査制御部と接続され、前記走査制御部は前記フォーカス調整機構、前記変位機構および前記信号記憶部を制御して、それぞれの測定点につき、前記物体と前記焦点面との間のそれぞれ少なくとも2つの所定の距離毎に前記信号検出部の測定信号からなる1つの測定信号列を記憶させることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記評価装置は異なった測定点毎に、及び前記物体と前記対物レンズの焦点面との間のそれぞれの距離毎に、個々の測定信号列を互いに相関させて、少なくとも1つの測定点につき運動の速度又は振幅あるいはその両方を求めるように構成されていることを特徴とする請求項6に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査型顕微鏡は、前記走査型顕微鏡の光路に配置された干渉計を備え、前記干渉計は、この干渉計から送出された干渉測定光線が前記対物レンズを経て前記物体上の測定点に集束され、前記物体によって反射された干渉測定光線が干渉反射光線として再び前記対物レンズと前記顕微鏡の光路とを経て前記干渉計に集束されるように配置されており、前記干渉計は干渉計測定データから干渉測定光線と平行な前記物体の運動を評価する干渉計評価部を有し、前記干渉計評価部は前記信号記憶部と接続され、前記信号記憶部は前記物体上のそれぞれの測定点につき前記信号検出部の測定信号からなる測定信号列に加えて、前記測定点につき前記干渉計評価部によって得られた運動データも記憶することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記干渉計は周波数の異なる2つの光波が重ね合わされるヘテロダイン干渉計として形成されていることを特徴とする請求項10に記載の走査型顕微鏡。
- 前記干渉計は前記信号検出部として構成され、前記干渉計測定信号のキャリア強度から面内運動に関する測定信号が得られることを特徴とする請求項10又は11に記載の走査型顕微鏡。
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