JP2018147946A - 半導体膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ドライエッチング以外の方法として、マスキング材を利用したダイヤモンドの選択成長が考えられるが、気相合成法によって基材上でダイヤモンドを結晶成長させると、マスキング材が高温(例えば、700℃以上)になることから、マスキング材は熱安定性を有することが重要である。
また、マスキング材は、ダイヤモンド膜を成膜した後に基材から容易に除去できることを要する。
そして、マスキング材の熱安定性や基材からの除去の容易性は、選択成長の対象が、ダイヤモンドである場合に限定されず、例えば、窒化ガリウムやシリコンカーバイド等、化学気相蒸着が高温下で行われる半導体膜に対して有効である。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、熱安定性を有し、化学気相蒸着後に基材から容易に除去可能なマスキング材を用いて、半導体膜を所定パターンに安定的に設けることが可能な半導体膜形成方法を提供することを目的とする。
図1(A)〜(E)に示すように、本発明の一実施の形態に係る半導体膜形成方法は、基材10に半導体膜11を所定のパターンで設ける方法であって、基材10表面の所定領域にマスキング材であるSiCNO膜12を形成する第1工程と、水素ラジカルの発生と基材10の加熱を伴う化学気相蒸着によって、基材10表面のSiCNO膜12の非形成領域に半導体膜11を設けると共に、SiCNO膜12を脆化させる第2工程と、脆化したSiCNO膜12を基材10から除去する第3工程とを有する。以下、詳細に説明する。
第1工程では、まず、基材(例えば、シリコン基板)10の表面に堆積したフォトレジスト13に対し露光、現像を行い、図1(A)に示すように、基材10表面にフォトレジスト13が成膜された領域とフォトレジスト13が無い領域を設ける。
そして、マイクロ波、ラジオ波又は熱フィラメント等を利用した化学気相蒸着によって、図1(B)に示すように、基材10の表面側全体、即ち、フォトレジスト13の成膜領域及びフォトレジストが無い領域の双方にSiCNO膜12を成膜する。
化学気相蒸着に熱フィラメント法を採用する場合、フィラメント材として使用する金属(例えばタングステン)が蒸発して、SiCNO膜12に最大で2原子%程度混入することがある。
本実施の形態では、第2工程で半導体結晶14(図1(D)参照)の核生成密度を高める観点から、第1工程後、あるいは、第1工程でフォトレジスト13を基材10表面に設ける前に、ダイヤモンド粉末等を用いた研磨処理によって基材10表面に疵を設けている。
熱フィラメント法による化学気相蒸着は、プラズマ等で問題となるエッチングの影響が比較的少ないことから、本実施の形態では熱フィラメント法を採用している。
従って、基材10表面で半導体結晶14が成長する際、基材10表面に設けられたSiCNO膜12はマスキング材として作用し、基材10において、SiCNO膜12の非形成領域のみに半導体膜11が形成される。
ここで、基材10表面にSiCNO膜12が設けられた状態は、半導体膜11形成の開始から完了まで維持され、更に、基材10のSiCNO膜12の形成領域に損傷等は生じないことから、SiCNO膜12は、半導体膜11を形成する際のマスキング材として機能することが分かる。
アセトン及び純水を用いた超音波洗浄を施したシリコン基板の表面の約半分をマスクし、原料気体にヘキサメチルジシラザン及びアンモニアを用いて、熱フィラメントCVD装置によって、シリコン基板表面の非マスク領域にSiCNO膜を成膜した。SiCNO膜の成膜処理は、圧力:10Pa、フィラメント温度:1600℃、シリコン基板温度:400℃の条件下で3時間行った。
また、ダイヤモンド膜の成膜処理後のSiCNO膜の形成領域の断面を撮像した顕微鏡写真は、図3(A)、(B)に示すようになり、ダイヤモンド膜の成膜処理によって、SiCNO膜の表面側が、SiCNO膜のその他の部分と見た目が異なっており、変性したのが確認できた。そして、SiCNO膜の変性した表面側は、軽い拭き取り処理でSiCNO膜表面に設けられたダイヤモンド結晶と共に除去できたことから、脆化していたのが分かった。
また、SiCNO膜によって形成されていたパターニングが、ダイヤモンド膜の成膜処理後も維持されていたこと、及び、シリコン基板表面のSiCNO膜が成膜されていた領域に損傷等は無かったことが確認できた。
例えば、半導体膜は、SiCNO膜を脆化する条件の化学気相蒸着によって基材表面に成膜されるものであればよい。従って、半導体膜は、ダイヤモンド膜に限定されず、例えば、窒化ガリウム(GaN)やシリコンカーバイド(SiC)の結晶成長によって形成されるものであってもよい。
そして、フォトレジスト以外のもの(例えば、金属マスク)を用いて、SiCNO膜を基材表面に所定のパターンで設けることもできる。
更に、SiCNO膜を生成する原料として、ヘキサメチルジシラザン及びアンモニア以外のものを使用してもよく、例えば、炭素源にメタン等の炭化水素を使用し、珪素源にシラン等の水素化珪素を使用することができる。
Claims (4)
- 基材に半導体膜を所定のパターンで設ける半導体膜形成方法において、
前記基材表面の所定領域にマスキング材であるSiCNO膜を形成する第1工程と、
水素ラジカルの発生及び前記基材の加熱を伴う化学気相蒸着によって、前記基材表面の前記SiCNO膜の非形成領域に前記半導体膜を設けると共に、前記SiCNO膜を脆化させる第2工程と、
脆化した前記SiCNO膜を前記基材から除去する第3工程とを有することを特徴とする半導体膜形成方法。 - 請求項1記載の半導体膜形成方法において、前記SiCNO膜の組成をSixCyNzO(1−x−y−z)として、該組成の原子数比は、0.40<x<0.60、0.10<y<0.30、0.10<z<0.30、0<1−x−y−z<0.20であることを特徴とする半導体膜形成方法。
- 請求項2記載の半導体膜形成方法において、前記原子数比は、0.50<x<0.60、0.10<y<0.20、0.15<z<0.25、0.05<1−x−y−z<0.15であることを特徴とする半導体膜形成方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体膜形成方法において、前記半導体膜は、ダイヤモンド、窒化ガリウム又はシリコンカーバイドの結晶成長によって形成されることを特徴とする半導体膜形成方法。
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JP2013140944A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-07-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
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JP2003332422A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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