JP2008222488A - 立方晶窒化ホウ素の製造方法 - Google Patents
立方晶窒化ホウ素の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008222488A JP2008222488A JP2007062629A JP2007062629A JP2008222488A JP 2008222488 A JP2008222488 A JP 2008222488A JP 2007062629 A JP2007062629 A JP 2007062629A JP 2007062629 A JP2007062629 A JP 2007062629A JP 2008222488 A JP2008222488 A JP 2008222488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boron nitride
- substrate
- plasma
- potential
- cubic boron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】ホウ素、窒素、フッ素を含む分子種から、プラズマを用い窒化ホウ素を析出させる方法において、反応容器あるいは参照電極に対し、基体に正の電圧あるいは零電圧のバイアスをかけること、あるいは基体をフロート電位にすることにより、イオン衝撃の弱い状態で立方晶窒化ホウ素を含む窒化ホウ素を合成する。従来は立方晶窒化ホウ素の気相合成では、基板負バイアスや加速したイオンビームを用いて45eV以上のイオン衝撃を用いることが必須条件であった。
【選択図】図3
Description
本発明は、このような問題を解決することができる立方晶窒化ホウ素の製造方法を提供することを課題とした。
c−BN膜の作成、応用の障害となっていた、イオン衝撃による悪影響が除かれ、c−BN膜の研究の発展、実用化の可能性の増大に大きく寄与すると思われる。
本発明の合成法において、用いるプラズマは非平衡プラズマでも、平衡(熱)プラズマでもいずれでもよく、また、プラズマ発生用電源は、直流、低周波交流、高周波、マイクロ波いずれでもよい。また、反応器への結合方法も容量結合、誘導結合、アンテナによる結合、共振器による結合、表面波励起等のいずれでもよい。ただし、プラズマ密度1010cm−3以上の高密度プラズマが望ましく、プラズマ密度1012cm−3以上の高密度プラズマがさらに望ましい。
本発明の合成法において、原料となるホウ素はホウ素を含むガス種からでも、あるいはホウ素を含む固体から蒸発、スパッター、あるいはガスによるエッチングで気相中にもたらしてもよい。ホウ素を含むガス種としては、ジボラン,デカボラン等のホウ素の水素化物、三塩化ホウ素,三フッ化ホウ素等のホウ素のハロゲン化物等のうちの一種または数種を同時に用いる。ホウ素を含む固体としては、固体ホウ素、B4C、窒化ホウ素焼結体、水素化ホウ素ナトリウム等の水素化ホウ素化合物、ホウフッ化アンモニウム等のホウフッ化物、トリエトキシボロン等の有機ホウ素化合物等が用いられる。
本発明の合成法において、用いる気相の圧力は、10−6〜102気圧が用いられるが、反応速度、取り扱いの点で10−5〜1気圧が望ましい。
本発明の合成法において、窒化ホウ素を析出させる基体は、シリコン等の半導体、石英等の絶縁体、炭化タングステン等の半金属、モリブデン等の金属あるいは合金のいずれでも用いることができ、特に制限はない。
本発明の合成法においては、プラズマによる活性化を用いているため、室温から1400℃の広い範囲の基体温度を用いることができるが、特に結晶性の良いc−BNの合成のためには500〜1300℃の基板温度が望ましい。
この方法により得られた窒化ホウ素のX線回折図を図2に示す。図2においてc−BNの111,200,220,311反射が現れている。また、六方晶窒化ホウ素の002,乱層構造窒化ホウ素の001反射もみられるが、六方晶窒化ホウ素の100,101,004等の反射は強くない。
赤外吸収スペクトルを図3に示す。図3より1100 cm−1近傍にc−BNの残留線の吸収が強く現れており、また1360〜1400 cm−1近傍と800 cm−1近傍に六方晶窒化ホウ素および乱層構造窒化ホウ素および非晶質窒化ホウ素(3者を合わせてsp2−BNと表現)による吸収が現れているが、c−BNの吸収ほど強くはない。これらより、得られた窒化ホウ素膜は、c−BNの優勢な窒化ホウ素膜であることがわかる。
図4はこの膜の赤外吸収スペクトルである。図4よりc−BNが含まれた窒化ホウ素が生成していることがわかる。
図5はこの膜の赤外吸収スペクトルである。図5よりc−BNが含まれた窒化ホウ素が生成していることがわかる。
この作成条件と同じ条件下でのプラズマのプラズマ電位をエミッシブプローブで測定したところ、+100Vと基板印加電圧と同じ値となり、基板入射イオンエネルギーはほぼ0eVであると推定される。
2 基体ホルダー
3 反応室
4 反応官
5 真空ポンプ
6 覗き窓
7 ガス供給器
8,8’バルブ
9 高周波電源
10 ワークコイル
11 バイアス電源
12 参照電極
Claims (3)
- プラズマ装置の反応容器内において、基体上に窒化ホウ素を堆積させることにより立方晶窒化ホウ素を製造する方法であって、フッ素あるいはフッ素を含むガス種を含む気相をプラズマによって活性化し、反応容器壁あるいは反応容器内に設置した参照電極に対し、基体の時間平均電位を同電位あるいは正にバイアスすること、或いはフロート電位にすることにより、立方晶窒化ホウ素を含む窒化ホウ素を堆積させることを特徴とする立方晶窒化ホウ素の製造方法。
- 基体に印加する電圧として、直流電圧または直流+高周波を用いる請求項1に記載の立方晶窒化ホウ素の製造方法。
- 基体の時間平均電位をプラズマ電位と同電位あるいは正の電位にすることを特徴とする請求項1あるいは2に記載の立方晶窒化ホウ素の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007062629A JP4827061B2 (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 立方晶窒化ホウ素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007062629A JP4827061B2 (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 立方晶窒化ホウ素の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008222488A true JP2008222488A (ja) | 2008-09-25 |
JP4827061B2 JP4827061B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=39841532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007062629A Expired - Fee Related JP4827061B2 (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 立方晶窒化ホウ素の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4827061B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009043858A1 (de) | 2008-08-29 | 2010-03-04 | Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi | Autobatteriesystem |
WO2012011480A1 (ja) * | 2010-07-21 | 2012-01-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 層間絶縁層形成方法及び半導体装置 |
KR20170133442A (ko) * | 2015-03-31 | 2017-12-05 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 붕소-함유 화합물들, 조성물들, 및 붕소 함유 막들을 증착시키는 방법들 |
KR20190103693A (ko) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 한국에너지기술연구원 | 기상반응에 의한 질화붕소 증착코팅 방법 |
KR20230114487A (ko) | 2022-01-25 | 2023-08-01 | 성균관대학교산학협력단 | 입방정계 질화붕소 박막 제조방법 및 이를 포함하는 구조체 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102827A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Natl Res Inst For Metals | 金属窒化物微粒子の製造法 |
JPH0234787A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素を主成分とする被膜を有する複合体 |
JPH038705A (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 窒化ホウ素製造法 |
JPH03174397A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質物質の合成方法およびその合成装置 |
JPH04228572A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-08-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質窒化ホウ素合成法 |
JPH08208207A (ja) * | 1993-12-15 | 1996-08-13 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 窒化ホウ素の気相合成法 |
JP2001302218A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-10-31 | National Institute For Materials Science | 立方晶窒化ホウ素及びその気相合成法 |
JP2005008988A (ja) * | 1999-12-27 | 2005-01-13 | National Institute For Materials Science | 立方晶窒化ホウ素膜 |
JP2007331981A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Kobe Steel Ltd | 立方晶窒化ホウ素の形成方法およびそのための装置 |
-
2007
- 2007-03-12 JP JP2007062629A patent/JP4827061B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102827A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Natl Res Inst For Metals | 金属窒化物微粒子の製造法 |
JPH0234787A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素を主成分とする被膜を有する複合体 |
JPH038705A (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 窒化ホウ素製造法 |
JPH03174397A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質物質の合成方法およびその合成装置 |
JPH04228572A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-08-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質窒化ホウ素合成法 |
JPH08208207A (ja) * | 1993-12-15 | 1996-08-13 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 窒化ホウ素の気相合成法 |
JP2001302218A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-10-31 | National Institute For Materials Science | 立方晶窒化ホウ素及びその気相合成法 |
JP2005008988A (ja) * | 1999-12-27 | 2005-01-13 | National Institute For Materials Science | 立方晶窒化ホウ素膜 |
JP2007331981A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Kobe Steel Ltd | 立方晶窒化ホウ素の形成方法およびそのための装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009043858A1 (de) | 2008-08-29 | 2010-03-04 | Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi | Autobatteriesystem |
WO2012011480A1 (ja) * | 2010-07-21 | 2012-01-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 層間絶縁層形成方法及び半導体装置 |
CN103026473A (zh) * | 2010-07-21 | 2013-04-03 | 东京毅力科创株式会社 | 层间绝缘层形成方法和半导体装置 |
JPWO2012011480A1 (ja) * | 2010-07-21 | 2013-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 層間絶縁層形成方法 |
KR20170133442A (ko) * | 2015-03-31 | 2017-12-05 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 붕소-함유 화합물들, 조성물들, 및 붕소 함유 막들을 증착시키는 방법들 |
JP2018516233A (ja) * | 2015-03-31 | 2018-06-21 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | ホウ素含有化合物、組成物、及びホウ素含有膜の堆積方法 |
KR102178735B1 (ko) * | 2015-03-31 | 2020-11-13 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 붕소-함유 화합물들, 조성물들, 및 붕소 함유 막들을 증착시키는 방법들 |
KR20200130500A (ko) * | 2015-03-31 | 2020-11-18 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 붕소-함유 화합물들, 조성물들, 및 붕소 함유 막들을 증착시키는 방법들 |
KR102434246B1 (ko) * | 2015-03-31 | 2022-08-18 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 붕소-함유 화합물들, 조성물들, 및 붕소 함유 막들을 증착시키는 방법들 |
KR20190103693A (ko) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 한국에너지기술연구원 | 기상반응에 의한 질화붕소 증착코팅 방법 |
KR102123016B1 (ko) * | 2018-02-28 | 2020-06-16 | 한국에너지기술연구원 | 기상반응에 의한 질화붕소 증착코팅 방법 |
KR20230114487A (ko) | 2022-01-25 | 2023-08-01 | 성균관대학교산학협력단 | 입방정계 질화붕소 박막 제조방법 및 이를 포함하는 구조체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4827061B2 (ja) | 2011-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Deshpandey et al. | Diamond and diamondlike films: Deposition processes and properties | |
KR910001367B1 (ko) | 기상 합성 다이아몬드막 및 그 합성방법 | |
US7645513B2 (en) | Cubic boron nitride/diamond composite layers | |
EP0755460A1 (en) | Process to produce diamond films | |
JP4827061B2 (ja) | 立方晶窒化ホウ素の製造方法 | |
JPWO2018128193A1 (ja) | 六方晶窒化ホウ素薄膜とその製造方法 | |
US6383465B1 (en) | Cubic boron nitride and its gas phase synthesis method | |
Chng et al. | Nitrogen-mediated aligned growth of hexagonal BN films for reliable high-performance InSe transistors | |
JP3605634B2 (ja) | 立方晶窒化ホウ素の気相合成法 | |
Yamamoto et al. | Synthesis of c-BN films by using a low-pressure inductively coupled BF3–He–N2–H2 plasma | |
TWI429779B (zh) | 鑽石成核方法 | |
Nakamura et al. | High quality chemical vapor deposition diamond growth on iron and stainless steel substrates | |
JP2569423B2 (ja) | 窒化ホウ素の気相合成法 | |
JP6944699B2 (ja) | 六方晶系窒化ホウ素膜の製造方法 | |
JPS63128179A (ja) | 硬質窒化硼素の合成方法および合成装置 | |
Montasser et al. | A transparent boron-nitrogen thin film formed by plasma CVD out of the discharge region | |
US20040161609A1 (en) | Cubic boron nitride/diamond composite layers | |
JPS63277767A (ja) | 高圧相窒化ホウ素の気相合成法 | |
JP4480192B2 (ja) | 高純度ダイヤモンドの合成方法 | |
JP2005008988A (ja) | 立方晶窒化ホウ素膜 | |
KR910001360B1 (ko) | 다이아몬드 벌크재의 합성방법 | |
JPS6369973A (ja) | 立方晶系窒化ホウ素膜の製造方法 | |
JPH01201098A (ja) | ダイヤモンドの合成方法 | |
Chang et al. | CVD diamond growth | |
KR100312008B1 (ko) | 플라즈마제트를이용하여다이아몬드를고속으로제조하는방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100125 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110615 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110816 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110906 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4827061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |