JP2018144371A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018144371A5
JP2018144371A5 JP2017042616A JP2017042616A JP2018144371A5 JP 2018144371 A5 JP2018144371 A5 JP 2018144371A5 JP 2017042616 A JP2017042616 A JP 2017042616A JP 2017042616 A JP2017042616 A JP 2017042616A JP 2018144371 A5 JP2018144371 A5 JP 2018144371A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
flow rate
gas
switching valve
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017042616A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6785690B2 (ja
JP2018144371A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017042616A priority Critical patent/JP6785690B2/ja
Priority claimed from JP2017042616A external-priority patent/JP6785690B2/ja
Priority to KR1020180023367A priority patent/KR102232403B1/ko
Priority to CN201810181874.XA priority patent/CN108568928B/zh
Priority to TW107107504A priority patent/TWI666105B/zh
Publication of JP2018144371A publication Critical patent/JP2018144371A/ja
Publication of JP2018144371A5 publication Critical patent/JP2018144371A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6785690B2 publication Critical patent/JP6785690B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2017042616A 2017-03-07 2017-03-07 樹脂封止装置、樹脂成形方法および樹脂成形品の製造方法 Active JP6785690B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017042616A JP6785690B2 (ja) 2017-03-07 2017-03-07 樹脂封止装置、樹脂成形方法および樹脂成形品の製造方法
KR1020180023367A KR102232403B1 (ko) 2017-03-07 2018-02-27 수지 밀봉 장치, 수지 성형 방법 및 수지 성형품의 제조 방법
CN201810181874.XA CN108568928B (zh) 2017-03-07 2018-03-06 树脂成形方法以及树脂成形品的制造方法
TW107107504A TWI666105B (zh) 2017-03-07 2018-03-07 樹脂密封裝置、樹脂成形方法以及樹脂成形品

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017042616A JP6785690B2 (ja) 2017-03-07 2017-03-07 樹脂封止装置、樹脂成形方法および樹脂成形品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018144371A JP2018144371A (ja) 2018-09-20
JP2018144371A5 true JP2018144371A5 (https=) 2019-04-25
JP6785690B2 JP6785690B2 (ja) 2020-11-18

Family

ID=63575873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017042616A Active JP6785690B2 (ja) 2017-03-07 2017-03-07 樹脂封止装置、樹脂成形方法および樹脂成形品の製造方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6785690B2 (https=)
KR (1) KR102232403B1 (https=)
CN (1) CN108568928B (https=)
TW (1) TWI666105B (https=)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7345322B2 (ja) 2019-09-03 2023-09-15 株式会社ディスコ 樹脂の被覆方法及び樹脂被覆装置
CN111906982B (zh) * 2020-07-21 2021-04-02 南昌华越塑料制品有限公司 一种可调节输出塑料量的挤压装置
WO2023145366A1 (ja) * 2022-01-31 2023-08-03 株式会社フジ機工 真空減圧装置並びにそれを用いたアンダーフィル充填方法及び脱泡充填方法
JPWO2024111255A1 (https=) * 2022-11-21 2024-05-30
WO2025243753A1 (ja) * 2024-05-22 2025-11-27 株式会社村田製作所 圧縮樹脂封止成形装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5723152A (en) * 1995-08-01 1998-03-03 Bridgestone Corporation Apparatus for vacuum molding expanded synthetic resin parts
JP3581759B2 (ja) * 1996-04-26 2004-10-27 Ｔｏｗａ株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置
JP3539100B2 (ja) * 1996-10-24 2004-06-14 株式会社ブリヂストン 合成樹脂発泡成形品の成形金型及び成形方法
JPH1119967A (ja) * 1997-06-30 1999-01-26 Dainippon Printing Co Ltd 射出成形同時絵付け装置及びその方法
JP2000073102A (ja) 1998-08-28 2000-03-07 Toyota Motor Corp 減圧ガス濃度推定方法およびガス濃度推定を利用したガス経路切替方法
JP5148175B2 (ja) * 2007-06-06 2013-02-20 住友重機械工業株式会社 樹脂封止装置および樹脂封止方法
JP4990039B2 (ja) * 2007-06-18 2012-08-01 大亜真空株式会社 圧力センサの出力補正方法及び圧力センサの出力補正装置
JP4551931B2 (ja) * 2008-01-08 2010-09-29 住友重機械工業株式会社 樹脂封止方法
KR20110082422A (ko) * 2010-01-11 2011-07-19 삼성전자주식회사 몰딩 장치 및 몰딩 방법
CN104619759B (zh) * 2012-07-31 2018-03-30 科思创德国股份有限公司 制备聚氨酯泡沫的真空辅助式方法
JP6598477B2 (ja) * 2015-03-11 2019-10-30 株式会社Ｓｕｂａｒｕ 複合材の成形装置及び複合材の成形方法
JP6491508B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-27 Ｔｏｗａ株式会社 樹脂封止装置及び樹脂成形品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018144371A5 (https=)
JP6929098B2 (ja) メタルダイヤフラムバルブ
US11269362B2 (en) Flow rate control method and flow rate control device
JP3220350U (ja) 電磁比例制御バルブの二段式気体導入及び二段式排気構造
JP2006260385A (ja) 整圧器及びその処理方法
TWI495863B (zh) The air pressure circuit of the tire test device
KR102232403B1 (ko) 수지 밀봉 장치, 수지 성형 방법 및 수지 성형품의 제조 방법
US10520958B2 (en) Pressure control device
JP7555409B2 (ja) 制御された弁流量のための構成及び方法
US10684632B2 (en) Pressure control device and pressure control system
JP2010153737A (ja) 真空処理装置
JP2001105298A (ja) 流体加圧式キャリアの内圧安定化装置
US11326914B2 (en) Flow rate measurement apparatus and method for more accurately measuring gas flow to a substrate processing system
CN101813205A (zh) 压力控制系统及其调压阀
CN101498942A (zh) 气动的压力调节阀
JP6903946B2 (ja) 質量流量制御装置及び質量流量制御方法
TW202033935A (zh) 流量計算系統、流量計算系統用程式、流量計算方法及流量計算裝置
JP4526900B2 (ja) 圧力調整器
JP2023103769A (ja) 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御プログラム
JP6585997B2 (ja) 蒸気システム
KR102166414B1 (ko) 밀폐형 압력조절밸브와 이의 압력조절방법
JP6320852B2 (ja) 圧力調整器
CN106935494A (zh) 一种博世工艺刻蚀硅基片的方法
US20090004384A1 (en) Processing Assembly and Method for Processing a Wafer in Such a Processing Assembly
JP2025040818A (ja) 熱成形装置