JP2018121029A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
Description
支持体4を構成する金属として、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、ステンレス鋼またはニッケル(Ni)あるいはこれらの金属の合金を使用してもよい。また、支持体4の構造は、特に限定されるものではないが、気体または液体等の熱媒体を循環させるための冷却用の流路を備えていてもよい。この場合には、熱媒体として水またはシリコーンオイル等の液体あるいはヘリウム(He)または窒素(N2)等の気体を用いることができる。
2:発熱抵抗体
3:静電吸着用電極
4:支持体
41:第1貫通孔
5:接合層
52:第2貫通孔
6:第1リードピン
7:第2リードピン
10:試料保持具
11:試料保持面
Claims (7)
- セラミックスからなり上面が試料保持面である基体と、該基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、前記基体の内部に設けられた発熱抵抗体と、金属からなり上面で前記基体の下面を覆う支持体と、前記基体と前記支持体とを接合する環状の接合層と、前記静電吸着用電極に接続されるとともに、前記基体の内部から前記接合層の内側を通って前記支持体の下面にまで引き出された第1リードピンと、前記発熱抵抗体に接続されるとともに、前記基体の内部から前記接合層の内側を通って前記支持体の下面にまで引き出された第2リードピンと、を備えたことを特徴とする試料保持具。
- 前記第1リードピンと前記接合層とが離れていることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記第2リードピンが複数設けられているとともに、前記複数の第2リードピンが前記第1リードピンを囲んでいることを特徴とする請求項2に記載の試料保持具。
- 前記複数の第2リードピンが前記第1リードピンを中心とする同心円状に位置していることを特徴とする請求項3に記載の試料保持具。
- 平面透視したときに、前記試料保持面の中心と、前記第1リードピンとが重なっていることを特徴とする請求項4に記載の試料保持具。
- 前記第2リードピンと前記接合層とが離れていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に対して垂直な面を見たときに、前記接合層が前記基体との境界に沿ってメニスカス形状になっている部分を有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の試料保持具。
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- 2017-01-27 JP JP2017013384A patent/JP6829087B2/ja active Active
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