JP2018121000A - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】撓みを備えたループ形状を有するワイヤを備えた発光装置を、容易に形成する方法を提供する。【解決手段】発光素子上の第1接続点と、第1接続点から+X方向に位置する基板上の第2接続点とをワイヤで接続する工程を含む発光装置の製造方法であって、ワイヤのイニシャルボールを、発光素子上の第1接続点に当接してボール部を接続する第1接続工程と、キャピラリを第1接続点の上方の+Z方向に位置する第1点まで移動させる第1移動工程と、キャピラリを、第1点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2点まで移動させる第2移動工程と、キャピラリを第2点から、基板上の第2接続点の上方を通り超えて+X方向であって、かつ、+Z方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、キャピラリを第3点から−X方向に位置する第2接続点まで移動して、ワイヤを第2接続点に接合する第2接続工程と、を備える発光装置の製造方法。【選択図】図4B

Description

本発明は、発光装置の製造方法に関する。
基板上に、発光素子や保護素子などの半導体素子が搭載されたLED(Light Emitting Diode)などの発光装置が知られている。半導体素子は、例えばワイヤを介して基板上の導電部材と電気的に接合されている。さらに、半導体素子及びワイヤは、例えば、外部環境から保護する等の目的のために、樹脂材料を用いた封止部材で封止されている。
ワイヤのループ形状は目的や用途に応じて種々の形状が知られている。例えば、撓みを備えたループ形状が知られている。例えば、第1ボンド点と第2ボンド点の間に、円弧部と水平部と傾斜部とを備えたループ形状が知られている(例えば、特許文献1)。このような形状のループ形状は、圧着ボールの上方においてキャピラリをリバース動作させることによって形成されている。
また、第2ボンディング点でのワイヤを滑走路ループ形状とする方法が知られている(例えば、特許文献2)。このようなループ形状は、第2ボンディング点に接続した後、再度、第2ボンディング点付近のワイヤの一部をキャピラリで潰すことで形成される。)
特開2008−160149号公報 特開2005−142314号公報
撓みを備えたループ形状を有するワイヤを備えた発光装置を、容易に形成することができる方法を提供する。
本発明の実施形態は、以下の構成を含む。
基板上に載置された発光素子上の第1接続点と、第1接続点から+X方向に位置する基板上の第2接続点とをワイヤで接続する工程を含む発光装置の製造方法であって、発光素子が載置された前記基板を準備する工程と、キャピラリに挿通されたワイヤにイニシャルボールを形成し、イニシャルボールを発光素子上の第1接続点に当接してボール部を接続する第1接続工程と、キャピラリを、第1接続点の上方の+Z方向に位置する第1点まで移動させる第1移動工程と、キャピラリを、第1点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2点まで移動させる第2移動工程と、キャピラリを、第2点から、基板上の第2接続点の上方を通り超えて+X方向であって、かつ、+Z方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、キャピラリを、第3点から−X方向に位置する第2接続点まで移動して、ワイヤを第2接続点に接合する第2接続工程と、ワイヤを封止する封止部材を形成する封止部材形成工程と、を備える発光装置の製造方法。
上記により、撓みを備えたループ形状を有するワイヤを備えた発光装置を、容易に形成することができる。
図1Aは、実施形態に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略上面図である。 図1Bは、図1Aの1B−1B線における概略断面図である。 図1Cは、図1Bの部分拡大図である。 図2は、実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する概略端面図である。 図3Aは、実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する概略端面図である。 図3Bは、実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する概略端面図である。 図4Aは、実施形態に係る発光装置の製造方法において、キャピラリの移動軌跡を示す概略端面図である。 図4Bは、図4Aの部分拡大図である。 図5は、図4Bに示す移動軌跡による各時点でのワイヤの形状を示す概略図である。 図6は、実施形態に係る発光装置の製造方法において、キャピラリの移動軌跡を示す概略端面図である。 図7は、実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する概略端面図である。 図8A、実施形態に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略上面図である。 図8Bは、図8Aの部分拡大図である。 図9Aは、実施形態に係る発光装置の製造方法において、キャピラリの移動軌跡を示す概略端面図である。 図9Bは、図9Aの部分拡大図である。 図10は、図9Bに示す移動軌跡による各時点でのワイヤの形状を示す概略図である。
本発明を実施するための形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置の製造方法を例示するものであって、本発明は、発光装置の製造方法を以下に限定するものではない。
また、本明細書は、特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。特に、実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限りは、本開示の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。尚、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。
図1Aは実施形態に係る発光装置の製造方法によって得られる発光装置100の概略上面図を示す。図1Bは、図1Aの1B−1B線における概略断面図を示す。図1Cは、図1Bのワイヤ30を含む部分を拡大した部分拡大図である。発光装置100は、発光素子20と、基板10と、ワイヤ30と、を備える。更に、発光素子20及びワイヤ30を被覆する封止部材40と、を備える。
発光素子20は、半導体層をふくむ積層構造体と、積層構造体の上面の電極と、を備える。電極の上面は、ワイヤ30が接続される第1接続点J1を備える。
基板10は、絶縁性の基材11と、発光素子20に給電するための電極として機能する導電部材12と、を備える。導電部材12は、ワイヤ30が接続される第2接続点J2を備える。
ワイヤ30は、第1接続点J1と第2接続点J2とに接続されている。ワイヤ30は、第1接続点J1と接続されるボール部32と、第2接続点J2と接続される接続部34と、を備える。ボール部32と接続部34との間のループ部33は、ボール部32上のネック部331と、ループ部33で最も高い位置となる屈曲部332と、を備える。さらにループ部33は、屈曲部332と接続部34との間に、撓み部333を有する。撓み部333は、屈曲部332と接続部34とを直線で結んだ最短仮想線L1の長さよりも長い。さらに、撓み部333は、最短仮想線L1よりも下側に位置するように撓んだ形状である。
このような撓み部333を備えたループ形状のワイヤ30とすることで、封止部材40の伸縮によってワイヤ30が断線することを抑制することができる。
上述のような発光装置100は、以下の製造方法によって得ることができる。図2〜図7は、実施形態に係る製造方法を説明した概略図である。
実施形態に係る発光装置の製造方法は、主として以下の工程を備える。すなわち、発光素子が載置された基板を準備する基板準備工程と、ワイヤ接続工程と、封止部材形成工程と、を主として備える。更に、ワイヤ接続工程は、第1接続工程、第1移動工程、第2移動工程、第3移動工程、第2接続工程、を備える。以下、各工程について詳説する。
<発光素子が載置された基板を準備する工程>
図2に示すように、発光素子20が載置された基板10を準備する。尚、図2では、1つの発光装置となる基板10を例示しているが、工程内において、基板10は、複数の発光装置となる部分を複数備えた集合基板として用いられる。
発光素子20は、発光層を含む半導体層を備えた積層構造体と、その積層構造体に通電するための電極と、を備える。電極は、後述のワイヤが接続される第1接続点J1を有する。
積層構造体は、例えば、半導体層としてInAlGa1−X−YN(0≦X、0≦Y、X+Y≦1)等の窒化物系化合物半導体が好適に用いられる。素子基板としては、例えば、サファイア、GaN等が挙げられる。
発光素子が有する一対の電極は、積層構造体の上面に配置される。第1接続点J1は、一対の電極のそれぞれに備えらえる。一対の電極が、積層構造体の対向する二つの面に配置されている場合は、第1接続点J1は1つである。電極としては、例えば、Au、Pt、Pd、Rh、Ni、W、Mo、Cr、Ti等が挙げられる。電極の厚みは、例えば、数μm程度が好ましい。
発光素子は、1個又は複数個を備えることができる。例えば、図1Aに示す例では、それぞれ発光波長の異なる3つの発光素子(青色発光素子、緑色発光素子、赤色発光素子)を備えることができる。これに限らず同じ発光波長の発光素子を複数個備えることができる。また、紫外発光の発光素子を用いてもよい。また、発光素子に加えて、ツェナーダイオード、ブリッジダイオードなどの保護素子を備えていてもよい。
発光素子は、基板10の上に、導電性又は絶縁性の接合部材によって固定されている。1つの発光装置は、1つ、又は複数個の発光素子を備えることができる。
基板10は、電極として機能する導電部材12と、それを保持する基材11とを備える。基板10は、図2に示すような凹部13を備えることができる。あるいは、基板10は平板状であってもよい。
基板10の導電部材12は、後述のワイヤが接続される第2接続点J2を備える。
基板10は、当該分野で用いられる基板を用いることができる。例えば、基材11として成形樹脂を備え、導電部材12としてリードとを備えた樹脂パッケージを用いることができる。また、基材11としてセラミックを備え、導電部材12として配線を備えたセラミックパッケージ等を用いることができる。
準備された基板10を、ワイヤボンダの所定の位置に固定する。
<ワイヤ接続工程>
図3A〜図5は、ワイヤの接続工程を説明した概略図である。図4A、図4Bは、キャピラリの移動軌跡Tを示す概略図であり、図4Bは図4Aを部分的に拡大した図である。図5は、図4Bに示す移動軌跡Tによる各時点でのワイヤ30の形状を示す概略図である。
尚、図4Bに示すように、右方向を+X方向、その反対側の左方向を−X方向として説明する。さらに、第1接続点J1の+X方向に第2接続点J2が位置しているものとして説明する。尚、第1接続点と第2接続点との位置関係によって、X方向の向きが規定される。そのため、図面において第1接続点の左方向に第2接続点がある場合は、その第2接続点が位置する方向を+X方向とする。
また、+X方向及び−X方向は、水平方向のみを指すものではない。+X方向及び−X方向は、水平方向から上下方向に30度程度傾斜した方向も含む。
ワイヤ接続工程は、第1接続工程、第1移動工程、第2移動工程、第3移動工程、第2接続工程、を備える。尚、これらの工程は、1本のワイヤの接続工程を説明するものであり、複数のワイヤを接合する場合は、ワイヤごとに以下の工程を行う。複数のワイヤを接続する場合は、それらすべてのワイヤに対して以下の工程を適用してもよく、あるいは、一部のワイヤに対してのみ適用してもよい。
(第1接続工程)
第1接続工程は、ワイヤ30を第1接続点J1に接続させる工程である。そして、第1接続工程は、ワイヤ30のボール部32を形成する工程である。第1接続工程では、まず、図3Aに示すように、キャピラリ50に挿通されたワイヤ30にイニシャルボール31を形成する。詳細には、ワイヤ30の先端を電気放電等によって溶融させることでイニシャルボール31を形成する。電気放電等の条件は、ワイヤ30の組成、径、目的とするイニシャルボール31の大きさ等に応じて適宜選択することができる。
次に、図3B及び図5(a)に示すように、イニシャルボール31を発光素子20上の第1接続点J1に当接し、圧着接続させる。第1接続点J1は発光素子20の上面の電極上に位置しており、この電極とイニシャルボール31とを圧着接続させる。これにより、イニシャルボール31がボール部32となる。
(第1移動工程)
第1移動工程は、キャピラリ50を上方向に移動させる工程である。そして、第1移動工程は、ワイヤ30のネック部331を形成する工程である。第1移動工程は、詳細には、図4B、図5(b)に示すように、キャピラリ50を、第1接続点J1の上方の+Z方向に位置する第1点P1まで移動させる工程である。第1移動工程内において、ボール部32から延伸するワイヤ30は、キャピラリ50の貫通孔内に挿通されており、固定されていない。そのため、第1移動工程によって、キャピラリ50が移動するのに伴い、キャピラリ50の先端からワイヤ30が繰り出されることになる。後述の第2移動工程、及び第3移動工程においても、キャピラリ50は先端からワイヤ30を繰り出しながら移動する。
第1点P1は、ワイヤ30のループ形状において、ネック部331の長さを規定するための位置である。つまり、この第1点P1の位置によってネック部331の長さが決まる。第1点P1は、第1接続部J1の直上が好ましい。すなわち、ボール部32の直上が好ましい。更に好ましくは、ボール部32の中心の直上が好ましい。
第1接続点J1から第1点P1までの距離D1、すなわち、第1移動工程の距離D1は、任意に設定できるが、80μm以上ある方が好ましい。
(第2移動工程)
第2移動工程は、キャピラリ50を第1点P1から第2点P2まで移動させる工程である。そして、第2移動工程は、ワイヤ30の屈曲部332を形成する工程である。第2点P2は、図4Bに示すように、第1点P1からみて−X方向に位置する。この第2移動工程におけるキャピラリの動作は、いわゆるリバース動作と称される動きである。第2移動工程においてキャピラリ50を第2点P2まで移動させることで、図5(c)に示すように、ワイヤ30は、ボール部32から斜め方向に引っ張られる。
第2点P2は、ワイヤ30のループ形状において、屈曲部332を規定するための位置であり、この第2点P2の位置によって屈曲部332の形状が決められる。
第1点P1から第2点P2までの距離D2、すなわち、第2移動工程の距離D2は、任意に設定できるが、100μm以下であることが好ましい。
(第3移動工程)
第3移動工程は、キャピラリ50を第2点P2から第3点P3まで移動させる工程である。そして、第3移動工程は、ワイヤ30の撓み部333を形成する工程である。第3点P3は、図4に示すように、第2点P2からみて+X方向に位置する。さらに、第3点P3は、基板10上の第2接続点J2の上方を通り超えて+X方向に位置している。詳細には、第3点P3は、第2接続点J2よりも距離D5だけ+X方向に位置した位置にある。つまり、第3点P3は、第2接続点J2よりも遠い位置にある。
第3点P3は、ワイヤ30のループ形状において、撓み部333の長さを規定するための位置であり、この第3点P3の位置によって撓み部333の長さが決められる。
第3点P3は、第2点P2から+Z方向に距離D3の位置であって、かつ、第2点P2から+X方向に距離D4(上面視における距離)の位置にある。換言すると、第3点P3は、第2点P2から斜め上方向に位置する。第3移動工程によって、図5(d)に示すように、ワイヤ30は斜め上方向に引っ張られる。
距離D3は、距離D4と同等であるか、短い方が好ましい。また、距離D3と距離D4の比率は、例えば、D3:D4=1:1〜1:5程度が好ましい
また、第2接続点J2と第3点P3との上面視における距離D5は、例えば、30μm〜150μm程度が好ましい。
(第2接続工程)
第2接続工程は、ワイヤ30を第2接続点J2に接続させる工程である。そして、第2接続工程は、ワイヤ30の接続部34を形成する工程である。第2接続点J2は基板10上の導電部材12上に位置しており、この導電部材12とワイヤ30とを接続させる。第2接続点J2は、図4に示すように、第3点P3からみて−X方向に距離D5の位置に位置している。
第2接続点J2が、第3点P3よりも−X方向に位置していることで、第3移動工程によってキャピラリ50から繰り出されたワイヤ30の長さは、第3点P3と第2接続点J2との最短距離よりも長い。これにより、図5(d)に示すように、ワイヤ30を、第3点P3と第2接続点J2との間で撓ませることができる。つまり、第2接続点J2よりも遠い位置にある第3点P3までキャピラリ50を移動させることで、キャピラリ50から繰り出されるワイヤ30の長さを長くすることができる。これにより、撓み部333を形成する。
以上の工程により、図1Cに示すような撓み部333を備えたループ33形状を備えたワイヤ30とすることができる。
上述のようなワイヤ接続工程は、ワイヤごとに行われる。例えば、図1Aに示すように、発光素子20の上面にp電極及びn電極となる2つの電極を備え、それらの上にそれぞれ第1接続点を備えている場合を例に挙げる。
まず、1本のワイヤを接続するために、図4Aに示すような移動軌跡Tでキャピラリを移動させてワイヤを接続する。次に、2本目のワイヤを接続するために、図6に示すような移動軌跡T‘でキャピラリを移動させてワイヤを接続する。2本目のワイヤを接続する際の移動軌跡T’は、1本目のワイヤの移動軌跡Tを左右反転させた移動軌跡である。このようにすることで、複数のワイヤが、それぞれ撓み部を備えたワイヤとして接続される。
以上に説明したループ形状は、屈曲部を1つ備えた略三角形状のループである。このような三角形状のループとすることで、熱衝撃性を改善することができる。
ループ形状としては、上述のような三角形状のループのほかの形状とすることもできる。以下、変形例として、台形状のループ形状を備えたワイヤについて説明する。変形例においても、撓み部を備える点においては上述の三角形状のループと同じ効果が得られる。
図8Aは、屈曲部を2つ備えたループ形状(台形状のループ)を備えたワイヤ30Aを備えた発光装置100Aを示す概略断面図である。図8Bは、図8Aのワイヤ30Aを含む部分を拡大した部分拡大図である。図1B等で示した発光装置100とは、ワイヤのループ部の形状が異なるのみであり、他の構成は同じである。そのため、以下においては主としてワイヤのループ部の説明をし、それ以外の説明は適宜省略する。
ワイヤ30Aは、第1接続点J1と接続されるボール部32と、第2接続点J2と接続される接続部34と、を備える。ボール部32と接続部34との間のループ部33は、ボール部32上のネック部331と、ループ部33で最も高い位置となる第1屈曲部332aと、第2屈曲部332bと、を備える。さらにループ部33は、第2屈曲部332bと接続部34との間に、撓み部333を有する。撓み部333は、第2屈曲部332bと接続部34とを直線で結んだ最短仮想線L2の長さよりも長い。さらに、撓み部333は、最短仮想線L2よりも下側に位置するように撓んだ形状である。
このような撓み部333を備えたループ形状のワイヤ30Aとすることで、封止部材40の伸縮によってワイヤ30Aが断線することを抑制することができる。さらに、屈曲部を二つ備えることで、ワイヤ30Aが発光素子20に接触しにくくすることができる。
上述のようなループ形状は、以下のワイヤ接続工程によって形成することができる。ワイヤ接続工程は、第1接続工程、第1移動工程、第2移動工程、第2a移動工程、第2b移動工程、第3移動工程、第2接続工程、を備える。つまり、第2移動工程と、第3移動工程の間に、更に別の工程を備えている。これにより、例えば、屈曲部を複数備えたループ形状(台形状のループ)とすることができる。その場合も、第2接続点よりも+X側にある第3点にまでキャピラリを移動させる第3移動工程を経ることで、撓み部を備えたループ形状とすることができる。
図9A、図9Bは、キャピラリの移動軌跡T2を示す概略図であり、図9Bは図9Aを部分的に拡大した図である。図10は、図9Bに示す移動軌跡T2による各時点でのワイヤ30Aの形状を示す概略図である。
尚、第1接続工程、第1移動工程、及び、第2接続工程については、図4A、図4B、図5の説明と重複するため必要な個所以外は省略する。
(第2a移動工程)
第2a移動工程は、第2移動工程のあとに行われる工程である。第2a移動工程は、キャピラリ50を第2点P2から第2a点P2aまで移動させる工程である。第2a点P2aは、図9Bに示すように、第2点P2からみて+Z方向に位置する。第2点Pa点の位置によって、第1屈曲部332aと第2屈曲部332bまでの距離が決められる。
第2点P2から第2a点P2aまでの距離D2a、すなわち、第2a移動工程の距離D2aは、任意に設定できる。好ましくは、発光素子と接しない程度の距離に設定することが好ましい。
キャピラリ50を上方向に移動させる工程である。
(第2b移動工程)
第2b移動工程は、キャピラリ50を第2a点P2aから第2b点P2bまで移動させる工程である。そして、第2b移動工程は、ワイヤ30Aの第2屈曲部332bを形成する工程である。第2b点P2bは、図9Bに示すように、第2a点P2aからみて−X方向に位置する。この第2b移動工程におけるキャピラリの動作は、いわゆるリバース動作と称される動きである。第2b移動工程においてキャピラリ50を第2b点P2bまで移動させることで、図10(e)に示すように、ワイヤ30Aは、斜め方向に引っ張られる。
第2b点P2bは、ワイヤ30Aのループ形状において、第2屈曲部332bを規定するための位置であり、この第2b点P2bの位置によって第2屈曲部332bの形状が決められる。
第2a点P2aから第2b点P2bまでの距離D2b、すなわち、第2b移動工程の距離D2bは、任意に設定できる。
以上のようなループ形状を備えたワイヤは、金、銅、白金、アルミニウム等の金属及び少なくともそれらの金属を含有する合金を用いた導電性ワイヤが挙げられる。特に、熱抵抗等に優れた金を用いるのが好ましい。ワイヤの径は、18μm〜30μmが好ましい。ワイヤの線膨張係数は、14.2×10-6以上19.7×10-6以下が好ましく、更に、17.6×10-6以上18.9×10-6以下が好ましい。
<封止部材形成工程>
次に、図7に示すように、発光素子20及びワイヤ30を封止する封止部材40を形成する。ここでは、基板10が凹部13を備えている例を示しており、封止部材40は、凹部13内に形成される。封止部材40は、液状又はペースト状の樹脂材料をディスペンスノズル等で供給し、その後、熱又は光で硬化させることで形成することができる。
封止部材の材料としては、発光素子からの光を透過可能な透光性を有し、且つ、耐光性を有するものが好ましい。また、線膨張係数が3×10-6以上350×10-6以下であるものが好ましい。具体的な材料としては、シリコーン樹脂組成物、変性シリコーン樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、変性エポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物等の、発光素子からの光を透過可能な透光性を有する絶縁樹脂組成物を挙げることができる。また、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フッ素樹脂及びこれらの樹脂を少なくとも1種以上含むハイブリッド樹脂等も用いることができる。さらにまた、これらの有機物に限られず、ガラス、シリカゾル等の無機物も用いることができる。このような材料に加え、所望に応じて着色剤、光拡散剤、光反射材、各種フィラー、波長変換部材(蛍光体)などを含有させることもできる。
蛍光体としては、例えば、酸化物系、硫化物系、窒化物系の蛍光体などが挙げられる。例えば、発光素子として青色発光する窒化ガリウム系発光素子を用いる場合、青色光を吸収して黄色〜緑色系発光するYAG系、LAG系、緑色発光するSiAlON系(βサイアロン)、赤色発光するSCASN、CASN系、KSF系蛍光体(K2SiF6:Mn)、硫化物系蛍光体、ナノ蛍光体等の少なくとも1種、又は2種以上を用いることができる。これらの蛍光体は、封止部材中に5質量%以上120質量%以下含有させるのが好ましい。
以上のようにして、図1Bで示すような、撓んだループ形状を備えたワイヤ30を有する発光装置100を得ることができる。
本開示の発光装置は、ワイヤを備えた種々の用途の発光装置に好適に用いられる。
100、100A…発光装置
10…基板
11…基材
12…導電部材
13…凹部
20…発光素子
30、30A…ワイヤ
31…イニシャルボール
32…ボール部
33…ループ部
331…ネック部
332…屈曲部(332a…第1屈曲部、332b…第2屈曲部)
333…撓み部
34…接続部
40…封止部材
50…キャピラリ
60…ノズル
J1…第1接続点
J2…第2接続点
P1…第1点
P2…第2点(P2a…第2a点、P2b…第2b点)
P3…第3点
L1、L2…最短仮想線
T、T‘、T2…移動軌跡

Claims (3)

  1. 基板上に載置された発光素子上の第1接続点と、前記第1接続点から+X方向に位置する前記基板上の第2接続点とをワイヤで接続する工程を含む発光装置の製造方法であって、
    前記発光素子が載置された前記基板を準備する工程と、
    キャピラリに挿通されたワイヤにイニシャルボールを形成し、前記イニシャルボールを前記発光素子上の前記第1接続点に当接してボール部を接続する第1接続工程と、
    前記キャピラリを、前記第1接続点の上方の+Z方向に位置する第1点まで移動させる第1移動工程と、
    前記キャピラリを、前記第1点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2点まで移動させる第2移動工程と、
    前記キャピラリを、前記第2点から、前記基板上の前記第2接続点の上方を通り超えて+X方向であって、かつ、+Z方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、
    前記キャピラリを、前記第3点から−X方向に位置する前記第2接続点まで移動して、前記ワイヤを前記第2接続点に接合する第2接続工程と、
    前記ワイヤを封止する封止部材を形成する封止部材形成工程と、
    を備える発光装置の製造方法。
  2. 前記第3点と前記第2接続点との上面視における距離は、30μm〜150μmである請求項1記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記第2移動工程の後に、前記前記キャピラリを前記第2点の上方に位置する第2a点まで移動させる第2a移動工程と、
    前記キャピラリを、前記第2a点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2b点まで移動させる第2b移動工程と、
    前記第3移動工程として、前記キャピラリを、前記第2b点から、前記基板上の前記第2接続点の上方を通り超えて+X方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、
    を備える、請求項1又は請求項2記載の発光装置の製造方法。
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