JP2012204558A - ワイヤーボンディング構造 - Google Patents

ワイヤーボンディング構造 Download PDF

Info

Publication number
JP2012204558A
JP2012204558A JP2011067006A JP2011067006A JP2012204558A JP 2012204558 A JP2012204558 A JP 2012204558A JP 2011067006 A JP2011067006 A JP 2011067006A JP 2011067006 A JP2011067006 A JP 2011067006A JP 2012204558 A JP2012204558 A JP 2012204558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
substrate
electrode
wire bonding
sealing resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011067006A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5917817B2 (ja
Inventor
Kazuya Ishihara
一哉 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Holdings Co Ltd
Citizen Electronics Co Ltd
Original Assignee
Citizen Holdings Co Ltd
Citizen Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Holdings Co Ltd, Citizen Electronics Co Ltd filed Critical Citizen Holdings Co Ltd
Priority to JP2011067006A priority Critical patent/JP5917817B2/ja
Publication of JP2012204558A publication Critical patent/JP2012204558A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5917817B2 publication Critical patent/JP5917817B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/2919Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/4501Shape
    • H01L2224/45012Cross-sectional shape
    • H01L2224/45015Cross-sectional shape being circular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • H01L2224/48228Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item the bond pad being disposed in a recess of the surface of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48471Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area being a ball bond, i.e. wedge-to-ball, reverse stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/8385Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85181Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85186Translational movements connecting first outside the semiconductor or solid-state body, i.e. off-chip, reverse stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92247Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress
    • H01L2924/3511Warping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

【課題】 発光装置等における素子と配線パターンとを接続するワイヤーの断線が起き難いワイヤーボンディング構造を提供することにある。
【解決手段】 このワイヤーボンディング構造のワイヤー17,18は、発光素子15から発光素子近傍の基板11の表面に接近した位置まで垂れ下がる降下部17a,18aと、この降下部の先端から基板11の表面近くで且つ基板11の表面に沿って延伸する延伸部17b,18bを有している。このため、封止樹脂19の上部に位置する部分が減り、ワイヤー17,18は封止樹脂19の変形による影響を受けにくくなる。また、延伸部17b,18bは、封止樹脂11の変形が最も少ない下部内に位置しているので、ワイヤー17,18が動くことを防いでいる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、携帯用電子機器の照明やバックライト等に使用する発光装置等における基板上に取り付けられた素子と配線パターンとを接続するワイヤーボンディング構造に関するものである。
従来、LED等の発光装置では、大きく山形状あるいは放物線状にワイヤーを張るワイヤーボンディングにより、基板上の発光素子と配線パターンとを接続していた。このように大きく山形状等にワイヤーを張るワイヤーボンディングは、ワイヤーのたるみ又はワイヤーの変形によるショートを防ぐことを目的として高くワイヤーを引き上げて張っており、同じ目的で、ワイヤーを下から支えてたるみを防ぐもの等も提案されていた(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、ワイヤーの変形によるショートや断線は、その多くが素子とワイヤーを封止する封止樹脂の膨張と収縮に起因するものであることが確認されている。図15に示すように、基板1の表面上に取り付けられた発光素子2は、大きな山形状あるいは放物線状をなすワイヤー3により基板上の配線パターンに接続されている。この発光素子2とワイヤー3は、エポキシ樹脂等の封止樹脂4によって封止されている。この封止樹脂4は、その下部が基板1に密着していて変形が制限されているため、周囲の温度変化に応じて下部より上部が大きく膨張、収縮して変形する。即ち、この封止樹脂4は、温度が上昇すると膨張して上面が凸状に膨れ上がると共に側面上方が外側に傾き(図15中、二点鎖線4A)、温度が下降すると収縮して上面が内側に下がると共に側面上方が内側に傾くことになる(図15中、二点鎖線4B)。
このように封止樹脂4の上部が大きく膨張、収縮して変形すると、封止樹脂4の上部内に位置するワイヤー3に大きなストレスがかかることになる。特に、このワイヤー3は、前述したように、大きく山形状あるいは放物線状をなすように形成されていたため、変形量が大きい封止樹脂4の上部にワイヤー3の大半が位置することになっていた。従って、封止樹脂4の上部が大きく変形すると、ワイヤー3は大きく動かされて、変形、断線が生じる可能性が高くなるという問題があった。
特開平5−102224号公報
本発明が解決しようとする課題は、上記従来技術の問題点を解決し、発光装置等における素子と配線パターンとを接続するワイヤーの断線が起き難いワイヤーボンディング構造を提供することにある。
本発明のワイヤーボンディング構造は、基板上に取り付けられた素子のファースト電極と前記基板上に形成されたセカンド電極とをワイヤーにより接続し且つ封止樹脂で封止されるワイヤーボンディング構造であって、前記ワイヤーが、前記素子のファースト電極から前記素子近傍の前記基板の表面に接近する位置まで垂れ下がる降下部と、この降下部の先端から前記基板の表面に沿って延伸して前記セカンド電極に接続される延伸部とを有している。このワイヤーボンディング構造における前記素子は、前記基板のダイボンド電極上にダイボンディングされ、前記ダイボンド電極と前記セカンド電極との間に延伸部が配置されている。
また、このワイヤーボンディング構造における前記セカンド電極には、前記延伸部に適合する位置に切欠き又は孔からなる凹欠部が設けられている。また、このワイヤーボンディング構造における前記ダイボンド電極には、前記延伸部に適合する位置に切欠きからなる凹欠部が設けられている。
本発明のワイヤーボンディング構造では、ワイヤーに素子から基板の表面に接近した位置まで垂れ下がる降下部を設けることで、封止樹脂の上部に位置する部分を減らしている。その結果、ワイヤーは封止樹脂の変形による影響を受けにくくなり、ファーストボンディング付近の断線を防ぐことができる。また、ワイヤーは、基板の表面近傍で且つ基板の表面に沿って延伸する延伸部を有し、この延伸部が基板上のセカンド電極に接続されるので、封止樹脂の変形が最も少ない下部内にワイヤーを位置させてワイヤーが動くことを防ぎ、セカンドボンディング付近の断線を防ぐことができる。このように、本発明のワイヤーボンディング構造は、ワイヤーボンディングの信頼性を高めることができる。
また、セカンド電極とダイボンド電極に、ワイヤーの延伸部に適合する凹欠部を設けているので、ワイヤーの延伸部をより基板表面に近付けて且つ長く基板の表面に沿って配置し易くすることができる。
更に、この凹欠部を設けることで、封止樹脂と基板とが密着する部分の形状が入り組んで封止樹脂の変形による動きをより制限することができ、凹欠部周辺での断線が更に起きにくい状態にすることができる。
本発明の一実施例に係るワイヤーボンディング構造を示す発光装置の平面図である。 図1のA−A線断面図である。 図1に示したワイヤーボンディング構造の一部変更例を示す発光装置の平面図である。 図3のB−B線断面図である。 ワイヤーボンディングを施すキャピラリ先端を示す断面図である。 ファーストボンディング直前のキャピラリ先端を示す断面図である。 発光素子にファーストボンディングしたときの状態を示すキャピラリ先端の断面図である。 図7に示すキャピラリ先端の拡大断面図である。 発光素子からワイヤーを立ち上げたときの状態を示すキャピラリ先端の断面図である。 従来の形状にワイヤーを張ったときの状態を示すワイヤーの側面図である。 ワイヤーに降下部を形成した状態を示すワイヤーの側面図である。 図11に示す降下部の先端から基板に沿って延伸する延伸部を形成した状態を示すワイヤーの側面図である。 基板上の配線パターンにセカンドボンディングしたときの状態を示すキャピラリ先端の断面図である。 基板側にファーストボンディングした後、素子側にセカンドボンディングする場合のワイヤー形状を示す側面図である。 発光素子とワイヤーを封止する封止樹脂の膨張、収縮による変形の状態を示す側面図である。
図1及び図2は本発明の一実施例に係るワイヤーボンディング構造を示す発光装置の平面図と断面図である。なお、本実施例においては、LED等の発光装置を例にとって説明する。11はセラミックまたは有機材料等からなる基板である。この基板11の表面にはワイヤーボンディング時にセカンド電極となる一対の配線パターン12,13がメッキ、印刷等によって形成されている。また、基板11の表面中央にはダイボンド電極14が形成されている。なお、本実施例におけるダイボンド電極14は、配線パターン13と一連に形成されている。
15はワイヤーボンディングで配線パターン12,13に接続される素子としての発光素子である。本実施例における発光素子15は、上面に、ワイヤーボンディング時にファースト電極となる電極15a,15bがあり、絶縁性を有するダイボンド用樹脂16によってダイボンド電極14上にダイボンディングされている。
17,18は発光素子15と配線パターン12,13をそれぞれワイヤーボンディングすることにより接続する金線等からなるワイヤーである。このワイヤー17,18は、それぞれ発光素子15の上面の電極15a,15bに接続された一端から立ち上がり、そこから発光素子15近傍の基板11の表面に接近する位置まで垂れ下がるように張った降下部17a,18aを備えている。また、ワイヤー17,18は、発光素子15近傍の基板11の表面に接近した降下部17a,18aの先端から基板11の表面に沿ってそれぞれ配線パターン12,13が形成されている方向へ延伸して他端が配線パターン12,13にそれぞれ接続される延伸部17b,18bを有しており、この延伸部17b,18bに続く降下部17a,18aの先端部分にはワイヤー17,18が弛みを持った状態の垂れ部17c,18cが作られている。このワイヤー17,18の形成及び形状の詳細については、図5乃至図13を用いて後述する。
19はエポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなる封止樹脂である。この封止樹脂19は、発光素子15及びワイヤー17,18を封止して基板11の表面に密着している。
上記構成からなるワイヤーボンディング構造を備えた発光装置では、ワイヤー17,18が発光素子15の上面から急降下するように垂れ下がると共に基板11に沿って延伸する形状に形成されている。これにより、ワイヤー17,18は、その殆どが封止樹脂19の下部に位置することになり、膨張、収縮によって封止樹脂19の上部が大きく変形しても、その影響を受けて大きく動き、断線することがない。
特に、ワイヤー17,18の延伸部17b,18bは、基板11の表面近傍をその表面に沿って延伸するため、封止樹脂19が最も変形し難い部分に位置することになる。その結果、ワイヤー17,18は大きく動くことがなくなり、断線することがなくなる。
図3及び図4は図1に示すワイヤーボンディング構造の一部変更例を示す発光装置の平面図と断面図である。このワイヤーボンディング構造を備えた発光装置においては、セカンド電極としての配線パターン12,13に半円状の切欠き又は円孔からなる凹欠部12a,13aを設けている。凹欠部12a,13aは、ワイヤー17,18の延伸部17b,18bに適合するように、延伸部17b,18bに相対する位置に設けられている。
このように凹欠部12a,13aを設けると、ワイヤー17,18の延伸部17b,18bを基板11の表面により近付けることができると共に、その状態のままより長く延伸させることができるようになる。その結果、膨張、収縮による変形が最も少ない封止樹脂19の底部付近に、ワイヤー17,18の大部分を配置することができ、ワイヤー17,18の動きを抑えて断線を防ぐことができる。
このような凹欠部は、ワイヤー17とダイボンド電極14との接触を防ぐために、ダイボンド電極14におけるワイヤー17の延伸部17bに相対する部分にも切欠きからなる凹欠部14aを設けることが望ましい。
次に、図5乃至図13に基づいて、ワイヤーボンディングによるワイヤー17,18の形成を説明する。20はワイヤーボンディング用のキャピラリであり、その中央にワイヤー17,18となる約10〜30μmの線径の金線21が挿通されている。
はじめに、キャピラリ20から適宜引き出された金線21の先端にロッド23を近付けて超音波、放電等を加えることで、図6に示すようなボール22を形成する。本実施例におけるボール22は約100μmの直径を有する。上記のように形成したボール22は、図7に示すように、発光素子15の上面にある電極15aに、キャピラリ20の先端で加圧され且つ超音波等を加えることで無理なくつぶされて接合される。図8に示すように、キャピラリ20の先端でつぶされたボール22は、発光素子15の電極15aに密着してファーストボンディングされる。
その後、図9に示すように、キャピラリ20は上昇し、配線パターン12の方向へ移動する。このときに、従来のワイヤーボンディングでは、図10に示すように、大きく山形状又は放物線状に金線21を引き出してセカンドボンディング位置に接続していたが、本実施例では図11に示すように、ファーストボンディング位置から上昇したキャピラリ20は、直ぐに発光素子15近傍の基板11の表面に向かって急降下し、引き出された金線21がファーストボンディング位置から垂れ下がって降下部17aを形成する。そして、発光素子15近傍の基板11の表面近傍にキャピラリ20が達すると、図12に示すようにキャピラリ20は基板11の表面に沿って配線パターン12の方向へ移動し、このときに金線21が降下部17aの先端から垂れ部17cを作った状態で基板の表面に沿って延びて延伸部17bを形成する。
配線パターン12のセカンドボンディング位置にキャピラリ20が達すると、図13に示すように、キャピラリ20の先端で金線21を加圧しながら超音波等を加えることで金線21を配線パターン12に接合してセカンドボンディングを行なう。このときに、キャピラリ20をスライドさせる等により、キャピラリ20の先端と配線パターン12との間に挟んだ金線21を切断する。
上記のようなワイヤーボンディングを、発光素子15の電極15bと配線パターン13との接続にも同様に行なうことで、発光素子15を配線パターン12,13にそれぞれワイヤーボンディングする。
上記のように、本実施例におけるワイヤー17,18は、降下部17a,18aによって、できる限り封止樹脂19の下部にワイヤー17,18を引き込み、延伸部17b,18bによって封止樹脂19の最も変形が少ない部分でワイヤー17,18を延伸させて接続している。このため、図10に示すような従来のワイヤー形状に比べて、封止樹脂19の膨張、収縮による変形の影響を受け難く、断線を防止することができる。
なお、図14に示すように、基板11上の配線パターン12,13にファーストボンディングした後、発光素子15の電極15a,15bにセカンドボンディングすることも従来行なわれており、このようにワイヤーボンディングすると、発光素子15の高さにまでワイヤー17の高さを抑えることが可能である。しかし、ファーストボンディング時に立ち上げたワイヤー17を更に高所へ引き上げると共にワイヤー17が低い位置から発光素子15に近付くとワイヤー17が発光素子15に接触する危険性もあるため、ワイヤー17を基板11の表面に近付けたり、基板11の表面に沿って延伸させることは極めて難しくなる。
また、発光素子15にセカンドボンディングすると、キャピラリ20の圧力や熱等が発光素子15に直接加わるため、発光素子15が破損することもあり、好ましいものではない。
このため、本実施例においては、発光素子15側にファーストボンディングを施し、基板11側にセカンドボンディングを施すことで、降下部17a,18aと延伸部17b,18bを有するワイヤー17,18の形状を形成している。
11 基板
12,13 配線パターン
12a,13a,14a 凹欠部
14 ダイボンド電極
15 発光素子
15a,15b 電極
16 ダイボンド用樹脂
17,18 ワイヤー
17a,18a 降下部
17b,18b 延伸部
17c,18c 垂れ部
19 封止樹脂
20 キャピラリ
21 金線
22 ボール
23 ロッド

Claims (5)

  1. 基板上に取り付けられた素子のファースト電極と前記基板上に形成されたセカンド電極とをワイヤーにより接続し且つ封止樹脂で封止されるワイヤーボンディング構造であって、
    前記ワイヤーが、前記素子のファースト電極から前記素子近傍の前記基板の表面に接近する位置まで垂れ下がる降下部と、この降下部の先端から前記基板の表面に沿って延伸して前記セカンド電極に接続される延伸部とを有することを特徴とするワイヤーボンディング構造。
  2. 前記延伸部に続く降下部の先端部分にワイヤーの垂れ部が作られている請求項1に記載のワイヤーボンディング構造。
  3. 前記素子は前記基板のダイボンド電極上にダイボンディングされ、前記ダイボンド電極と前記セカンド電極との間に延伸部が配置される請求項1に記載のワイヤーボンディング構造。
  4. 前記セカンド電極には、前記延伸部に適合する位置に切欠き又は孔からなる凹欠部が設けられている請求項3に記載のワイヤーボンディング構造。
  5. 前記ダイボンド電極には、前記延伸部に適合する位置に切欠きからなる凹欠部が設けられている請求項5に記載のワイヤーボンディング構造。
JP2011067006A 2011-03-25 2011-03-25 ワイヤーボンディング構造 Expired - Fee Related JP5917817B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011067006A JP5917817B2 (ja) 2011-03-25 2011-03-25 ワイヤーボンディング構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011067006A JP5917817B2 (ja) 2011-03-25 2011-03-25 ワイヤーボンディング構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012204558A true JP2012204558A (ja) 2012-10-22
JP5917817B2 JP5917817B2 (ja) 2016-05-18

Family

ID=47185222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011067006A Expired - Fee Related JP5917817B2 (ja) 2011-03-25 2011-03-25 ワイヤーボンディング構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5917817B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017224731A (ja) * 2016-06-15 2017-12-21 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP2018121000A (ja) * 2017-01-27 2018-08-02 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
JP2019033300A (ja) * 2018-11-29 2019-02-28 日亜化学工業株式会社 発光装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56169546U (ja) * 1980-05-19 1981-12-15
JPH05102224A (ja) * 1991-10-04 1993-04-23 Seiko Epson Corp 半導体装置
JPH0573965U (ja) * 1992-03-12 1993-10-08 新日本製鐵株式会社 複合リードフレーム
JPH10340919A (ja) * 1997-06-06 1998-12-22 Rohm Co Ltd 樹脂パッケージ型半導体装置
JPH1116934A (ja) * 1997-06-20 1999-01-22 Fujitsu Ltd ワイヤボンディング方法
JP2000049185A (ja) * 1998-07-27 2000-02-18 Texas Instr Japan Ltd 導体ワイヤ及びこれを備えた半導体装置
JP2003152010A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Sharp Corp 配線基板および半導体装置
JP2008186889A (ja) * 2007-01-29 2008-08-14 Denso Corp 半導体装置
JP2009010064A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Shinkawa Ltd 半導体装置及びワイヤボンディング方法
JP2010239043A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Citizen Holdings Co Ltd Led光源及びled光源の製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56169546U (ja) * 1980-05-19 1981-12-15
JPH05102224A (ja) * 1991-10-04 1993-04-23 Seiko Epson Corp 半導体装置
JPH0573965U (ja) * 1992-03-12 1993-10-08 新日本製鐵株式会社 複合リードフレーム
JPH10340919A (ja) * 1997-06-06 1998-12-22 Rohm Co Ltd 樹脂パッケージ型半導体装置
JPH1116934A (ja) * 1997-06-20 1999-01-22 Fujitsu Ltd ワイヤボンディング方法
JP2000049185A (ja) * 1998-07-27 2000-02-18 Texas Instr Japan Ltd 導体ワイヤ及びこれを備えた半導体装置
JP2003152010A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Sharp Corp 配線基板および半導体装置
JP2008186889A (ja) * 2007-01-29 2008-08-14 Denso Corp 半導体装置
JP2009010064A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Shinkawa Ltd 半導体装置及びワイヤボンディング方法
JP2010239043A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Citizen Holdings Co Ltd Led光源及びled光源の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017224731A (ja) * 2016-06-15 2017-12-21 日亜化学工業株式会社 発光装置
US10763410B2 (en) 2016-06-15 2020-09-01 Nichia Corporation Light emitting device
JP2018121000A (ja) * 2017-01-27 2018-08-02 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
JP2019033300A (ja) * 2018-11-29 2019-02-28 日亜化学工業株式会社 発光装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5917817B2 (ja) 2016-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101746614B1 (ko) 발광소자 패키지 및 그 제조방법
US8421174B2 (en) Light emitting diode package structure
JP6413709B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP5917817B2 (ja) ワイヤーボンディング構造
JP2008277742A5 (ja)
EP1906452A4 (en) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
CN102738366A (zh) 用于表面贴装的led支架及制造方法、led灯
JP6092084B2 (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
CN104952864A (zh) Led灯丝及其制造方法
JP2005039192A (ja) 半導体装置及びワイヤボンディング方法
CN102709441A (zh) Led封装结构
CN106784242A (zh) Led器件、led灯及加工led器件导电焊线的方法
US20180331064A1 (en) Electrical interconnections for semiconductor devices and methods for forming the same
JP5084015B2 (ja) 発光ダイオードの製造方法
JP5721797B2 (ja) 発光ダイオードパッケージ及びその製造方法
JP6040993B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP5833610B2 (ja) 発光ダイオードパッケージ及びその製造方法
EP2432038A1 (en) Light emitting diode package structure
JP4369401B2 (ja) ワイヤボンディング方法
KR101101018B1 (ko) 리드선이 개량된 다이오드 패키지 및 그 제조방법
JP2005019778A (ja) ワイヤボンディング方法
WO2011055984A3 (en) Leadframe and method of manufacuring the same
JP2005045135A (ja) ワイヤボンディング方法
TW201403893A (zh) 發光二極體及其製造方法
JP6549003B2 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140203

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20141225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150106

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150306

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150630

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150817

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160315

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160407

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5917817

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees