JP2018118183A - 被洗浄物洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は、被洗浄物に付着する有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去することができる被洗浄物洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の被洗浄物洗浄装置１０は、リンス処理に使用された有機ＥＬ用の材料Ｅが拡散するリンス液Ｒをリンス槽５１から材料分離槽７１０へ供給し、リンス液Ｒ中の材料Ｅを材料分離槽７１０に貯留された溶解水Ｗ中に溶け込ませる。リンス液Ｒをリンス槽５１から材料分離槽７１０へ返還する際に、バッグフィルタ７２０により材料Ｅを捕獲してリンス液Ｒから取り除いた後、油水分離フィルタ７３０により溶解水Ｗをリンス液Ｒから分離し、溶解水Ｗが分離されたリンス液Ｒをリンス槽５１へ返還する。【選択図】図１

Description

この発明は、例えば有機ＥＬ用の有機材料又は無機材料、あるいは、両材料を複合した複合材料等の材料が付着したマスク、硝子基板、液晶表示板、電子部品、光学部品、精密部品、金属部品等の被洗浄物を洗浄処理する際に用いられる被洗浄物洗浄装置に関する。

上述の被洗浄物を洗浄処理する洗浄装置としては、様々なものが多数提案されており、特許文献１に開示の洗浄装置も、このような洗浄装置の一つである。
特許文献１の洗浄装置は、例えば有機ＥＬ用の有機材料が付着したマスク等の被洗浄物を、洗浄槽内に貯留された炭化水素系溶剤（ＨＣ）の洗浄液に浸漬し洗浄処理した後、リンス槽内に貯留された非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）のリンス液に浸漬してリンス処理する。

しかし、例えばイリジウム、リチウム等の燐光材料、あるいは、無機の金属イオンの周りに有機物が付着した金属錯体等を主な材料とする有機材料は、非塩素系有機溶剤のリンス液に接触するとコロイド状に変化するため、被洗浄物の隙間や微小な孔等に残留しやすく、リンス液に浸漬するだけでは、コロイド状の有機材料を被洗浄物から確実に除去することが難しい。また、被洗浄物をリンス処理する回数が多くなるのに伴って、リンス液中に拡散する有機材料の量が増加するため、リンス液の洗浄力が徐々に低下することになる。

コロイド状の有機材料をリンス液から取り除く方法として、例えば所定の濾過精度を有するフィルタで濾過する方法が考えられるが、コロイド状の有機材料のナノ粒子が小さく、フィルタを通り抜けてしまうため、有機材料をリンス液から取り除くことが難しく、被洗浄物に付着する有機材料を除去するのに必要な洗浄力に保つことが困難である。

特開２００６−１００２６４号公報

この発明は、被洗浄物に付着する有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去することができる被洗浄物洗浄装置を提供することを目的とする。

この発明は、被洗浄物に付着した有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去する被洗浄物洗浄装置であって、前記材料を前記被洗浄物から除去するための前記洗浄液体が貯留された洗浄液体貯留槽と、前記材料を溶解可能な溶解水が貯留された材料分離槽とを備え、前記洗浄液体貯留槽と前記材料分離槽とを、前記洗浄液体貯留槽から前記材料分離槽へ前記洗浄液体を液送する液送路と、前記材料分離槽から前記洗浄液体貯留槽へ前記洗浄液体を返還する返還路とで接続し、前記返還路を、前記溶解水から前記材料を分離する材料分離手段と、前記洗浄液体から前記溶解水を分離する溶解水分離手段とを介して前記洗浄液体貯留槽に接続されたことを特徴とする。

上述の被洗浄物は、例えば有機ＥＬ用の有機材料が付着したマスク、硝子基板、液晶表示板、電子部品、光学部品、精密部品、金属部品等で構成してもよい。また、材料は、例えば有機材料又は無機材料、あるいは、両材料を複合した複合材料、具体的にはイリジウム、リチュウム等の燐光材料、あるいは、イリジウム、リチュウムなどの無機の金属イオンの周りに有機物が付着した金属錯体等を含む概念である。

上述の洗浄液体は、例えば非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）、あるいは、その他の溶剤等で構成してもよい。また、溶解水は、例えば純水（ＤＩＷ）や水道水等で構成してもよい。

上述の材料分離手段は、例えば所定の濾過精度を有するフィルタ、あるいは、材料を溶解水から遠心力により分離する遠心分離装置等で構成してもよい。また、溶解水分離手段は、例えば油水分離フィルタ、あるいは、既に市販の油水分離装置等で構成してもよい。

この発明によれば、被洗浄物に付着する有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去することができる。
詳しくは、有機ＥＬ用の材料が付着する被洗浄物を、洗浄液体貯留槽内に貯留された洗浄液体に浸漬し、被洗浄物に付着する材料を洗浄液体により洗浄し除去した際に、被洗浄物から除去された材料が拡散する洗浄液体を、液送路を介して洗浄液体貯留槽から材料分離槽へ供給し、洗浄液体中に拡散する材料を溶解水に溶け込ませて、材料を洗浄液体から分離する。

洗浄液体を、返還路を介して材料分離槽から洗浄液体貯留槽へ返還する際に、材料分離手段により材料を洗浄液体から分離した後、溶解水分離手段により溶解水を洗浄液体から分離して、材料及び溶解水が分離された清浄な洗浄液体を洗浄液体貯留槽へ返還する。
これにより、洗浄液体の洗浄力を有機ＥＬ用の材料が混入する前の状態に回復させることができるとともに、洗浄液体を被洗浄物の洗浄処理に繰り返し使用することができる。

この結果、被洗浄物を良好な状態に洗浄処理することができるとともに、被洗浄物に付着する材料を除去するのに必要な洗浄力が長期に亘り安定して得られるため、被洗浄物を洗浄する際のランニングコストを低減することができる。

この発明の態様として、前記洗浄液体から水分を比重分離する水分離槽を前記液送路の途中に接続し、前記返還路を、前記材料分離手段と、前記溶解水分離手段と、及び前記水分離槽とを接続する第１返還路と、前記材料分離槽と前記洗浄液体貯留槽とを接続する第２返還路とで構成してもよい。

この発明によれば、有機ＥＬ用の材料を洗浄液体から確実に分離することができる。
詳しくは、有機ＥＬ用の材料が拡散する洗浄液体を、材料分離手段及び溶解水分離手段を介して材料分離槽と水分離槽との間で循環させ、材料分離槽において洗浄液体中に拡散する材料を溶解水に溶け込ませる処理と、材料分離手段により材料を洗浄液体から分離する処理と、溶解水分離手段により溶解水を洗浄液体から分離する処理とを繰り返し行う。

これにより、洗浄液体中に拡散する材料を溶解水に効率よく溶け込ませることができるため、材料を洗浄液体から確実に分離することができる。
この結果、被洗浄物を仕上げ洗浄する際に、有機ＥＬ用の材料が取り除かれた清浄な洗浄液体を用いることができる。

またこの発明の態様として、前記材料分離槽に、前記溶解水を前記材料分離槽内へ供給する溶解水供給手段と、前記材料分離槽内に貯留された前記洗浄液体と前記溶解水とを撹拌する撹拌手段とを設けてもよい。

上述の溶解水供給手段は、例えば溶解水を供給する溶解水供給源や貯水タンク等で構成してもよい。また、撹拌手段は、例えば循環ポンプ、液送路、あるいは、撹拌体（例えば羽根やスクリュー等）と、撹拌体を回転するモータ等で構成してもよい。

この発明によれば、有機ＥＬ用の材料を洗浄液体から積極的に分離することができる。
詳しくは、洗浄液体貯留槽から材料分離槽内へ供給される洗浄液体と、溶解水供給手段から材料分離槽内へ供給される溶解水とを撹拌手段により撹拌して、洗浄液体中の材料（具体的には、イリジウム、リチュウムなどの無機の金属イオンの周りに有機物が付着した金属錯体）を溶解水に溶け込ませるとともに、洗浄液体中に拡散する材料の粒子同士を互いに合体させて、材料の粒子を洗浄液体及び溶解水の粒子より大きくする。

これにより、洗浄液体中に拡散する材料を溶解水に対して積極的に溶け込ませることができるとともに、材料を洗浄液体から確実に取り除くことができる。
この結果、被洗浄物を、有機ＥＬ用の材料が取り除かれた清浄な洗浄液体を用いて良好な状態に洗浄処理することができる。

またこの発明の態様として、前記材料分離槽内に貯留された前記洗浄液体と前記溶解水との割合を、前記洗浄液体：前記溶解水＝１：２以上に設定してもよい。
この発明によれば、有機ＥＬ用の材料を洗浄液体からより確実に分離することができる。

詳しくは、洗浄液体の貯留量に対して、溶解水の貯留量が倍以上となるように設定しているため、上述の材料分離槽内に貯留された洗浄液体と溶解水とを撹拌手段により撹拌する際に、溶解水を、例えば洗浄液体中に拡散する略全ての有機ＥＬ用の材料に対して積極的に接触させることができる。

これにより、洗浄液体中に拡散する材料を溶解水に対してより積極的に溶け込ませることができるとともに、略全ての材料を洗浄液体から確実に取り除くことができる。
この結果、被洗浄物を、有機ＥＬ用の材料が取り除かれた清浄な洗浄液体を用いてより良好な状態に洗浄処理することができる。

またこの発明の態様として、前記洗浄液体を、前記溶解水より比重が重く、前記材料が溶け込みにくい液体で構成してもよい。
上述の材料が溶け込みにくい液体とは、例えば有機ＥＬ用の材料が溶け込みにくい溶剤、あるいは、材料の溶け込みが不可能な溶剤（具体的には非塩素系有機溶剤）等を含む概念である。

この発明によれば、有機ＥＬ用の材料及び溶解水を洗浄液体から確実に分離することができる。
詳しくは、被洗浄物から除去された有機ＥＬ用の材料が拡散した洗浄液体を洗浄液体貯留槽から材料分離槽へ供給し、材料分離槽内に貯留された洗浄液体と、有機ＥＬ用の材料と、溶解水とを比重差により分離する。

例えば溶解水を比重１、洗浄液体を比重１．４７とした場合、溶解水より比重の重い洗浄液体の層が、溶解水より下方の下部領域に形成される。また、溶解水の層が洗浄液体より上方の上部領域に形成される。

洗浄液体と溶解水とが上下に分離されるのに伴い、溶解水に溶け込ませた材料が徐々に析出されるが、材料は洗浄液体に溶け込みにくいため、材料の層が、洗浄液体の層と溶解水の層との間の中間領域に形成される。

材料分離槽内に貯留された下部領域の洗浄液体と、中間領域の材料と、上部領域の溶解水とを、領域毎に材料分離槽から材料分離手段へ供給し、材料分離手段により材料を洗浄液体から分離した後、溶解水分離手段により溶解水を洗浄液体から分離して、材料及び溶解水が取り除かれた清浄な洗浄液体を洗浄液体貯留槽へ返還する。

この結果、有機ＥＬ用の材料及び溶解水が取り除かれた清浄な洗浄液体を用いて、被洗浄物を良好な状態に洗浄処理することができる。
しかも、材料分離槽内に貯留された洗浄液体と、有機ＥＬ用の材料と、溶解水とを層状に分離しておくため、有機ＥＬ用の材料を混ぜ合わされた洗浄液体及び溶解水から分離するよりも、材料をより確実に分離することができる。

またこの発明の態様として、前記洗浄液体貯留槽と前記材料分離槽とを、前記材料分離槽内の上部領域に貯留された前記溶解水の層と、該材料分離槽内の下部領域に貯留された前記洗浄液体の層との間の中間領域に貯留された前記材料の層との境界より下方で、該境界側に寄って設定した基準線を基準として、該基準線より上方の領域に貯留された前記洗浄液体の一部と、前記材料と、前記溶解水とを前記洗浄液体貯留槽から前記材料分離槽へ液送する前記液送路で接続することができる。

この発明によれば、有機ＥＬ用の材料及び溶解水を洗浄液体からより確実に分離することができる。
詳しくは、被洗浄物から除去された有機ＥＬ用の材料が拡散した洗浄液体を洗浄液体貯留槽から材料分離槽へ供給し、材料分離槽内に貯留された洗浄液体と、有機ＥＬ用の材料と、溶解水とを比重差により分離する。

基準線より下方の領域に貯留された洗浄液体を、液送路を介して材料分離槽から材料分離手段へ供給する。あるいは、基準線より上方の領域に貯留された洗浄液体の一部と、有機ＥＬ用の材料と、溶解水とを、液送路を介して材料分離槽から材料分離手段へ供給する。

基準線より下方の領域に貯留された洗浄液体には有機ＥＬ用の材料が殆んど含まれておらず、溶解水分離手段により溶解水を洗浄液体から取り除くだけで、洗浄液体を被洗浄物の洗浄処理に繰り返し使用することができる。

基準線より下方の領域に貯留された洗浄液体の貯留量に比べて、基準線より上方の領域に貯留された洗浄液体の貯留量が少なく、上方領域の洗浄液体に拡散した材料の量も極めて少ないため、材料分離手段により材料を上方領域の洗浄液体から短い時間で取り除くことができる。

溶解水を溶解水分離手段により洗浄液体から分離し、材料及び溶解水が取り除かれた清浄な洗浄液体を洗浄液体貯留槽へ返還する。
この結果、有機ＥＬ用の材料及び溶解水が取り除かれた清浄な洗浄液体を用いて、被洗浄物をより良好な状態に洗浄処理することができる。

またこの発明の態様として、前記撹拌手段を、前記材料分離槽の下部側に一端が接続され、該材料分離槽の上部側に他端が接続された循環用液送路と、前記循環用液送路の一端側と他端側との間に設けられ、前記材料分離槽に貯留された前記洗浄液体及び前記溶解水を前記循環用液送路の一端側から他端側に向けて液送する循環手段とで構成してもよい。

上述の循環手段は、例えば循環用のポンプや液送路、あるいは、その他の液送装置等で構成してもよい。
この発明によれば、被洗浄物に付着する有機ＥＬ用の材料をより効率良く洗浄除去することができる。

詳しくは、循環手段の移送力により、材料分離槽に貯留された洗浄液体及び溶解水を、循環用液送路を介して材料分離槽の下部側から槽外へ流出させるとともに、材料分離槽の上部側から槽内へ返還する。

これにより、洗浄液体と溶解水とを循環させる際に積極的に撹拌して混ぜ合わせるため、洗浄液体中に拡散する有機ＥＬ用の材料を溶解水に対して積極的に溶け込ませることができる。

この結果、有機ＥＬ用の材料を洗浄液体から取り除く際の処理時間が短くて済み、材料を洗浄液体から効率良く取り除くことができるとともに、清浄な洗浄液体を用いて、被洗浄物に付着する材料を効率良く洗浄除去することができる。

しかも、例えば羽根やスクリュー等の撹拌体を設けたり、撹拌体を回転するためのモータ等を設けたりする必要がなく、循環させるだけの簡単な構成にて材料を洗浄液体からより確実に取り除くことができる。

この発明によれば、被洗浄物に付着する有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去することができる。

実施例１の材料分離装置を備えた被洗浄物洗浄装置の模式図。 実施例１の被洗浄物洗浄装置に備えられた材料分離装置の模式図。 有機ＥＬ用の材料を中間領域に貯留した状態の模式図。 実施例２の被洗浄物洗浄装置に備えた材料分離装置の模式図。 有機ＥＬ用の材料を中間領域に貯留した状態の模式図。 実施例３の材料分離装置を備えた被洗浄物洗浄装置の模式図。 実施例３の被洗浄物洗浄装置に備えられた材料分離装置の模式図。

この発明の一実施形態を以下図面に基づいて詳述する。
（実施例１）
図１は実施例１の材料分離装置６９を備えた被洗浄物洗浄装置１０の模式図、図２は実施例１の被洗浄物洗浄装置１０に備えられた材料分離装置６９の模式図であり、詳しくは、リンス液Ｒと溶解水Ｗを材料分離槽７１０内に貯留した状態の模式図である。図３は有機ＥＬ用の材料Ｅを中間領域ｅに貯留した状態の模式図である。

本発明の被洗浄物洗浄装置１０は、被洗浄物Ａを、炭化水素系溶剤（ＨＣ）の洗浄液Ｓにて洗浄処理する洗浄工程２０と、非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）のリンス液Ｒにてリンス処理するリンス工程５０とを、この順に行うものである。

洗浄工程２０には、被洗浄物Ａを浸漬し洗浄するための洗浄液Ｓが貯留された洗浄槽２１，２２，２３を、この順に所定間隔を隔てて配置している。洗浄槽２１の一側上部に所定間隔を隔てて配置した貯留槽２１１と、洗浄槽２２の一側上部に配置した貯留槽２２１と、洗浄槽２３の一側上部及び他側上部に配置した貯留槽２３１は、洗浄槽２１，２２，２３からオーバーフローされる洗浄液Ｓを貯留する（図１参照）。

洗浄槽２１，２２，２３の底部と、貯留槽２１１，２２１，２３１の底部には、循環ポンプ２４と、フィルタ２５と、バルブ２６とを介して、循環路２７の一端側を２本に分岐してそれぞれ接続している。

洗浄槽２１〜２３の貯留槽２１１〜２３１より下方の側部上下には、循環路２７の他端側を２本に分岐してそれぞれ接続している。洗浄槽２１，２２内の下部には、洗浄槽２１，２２に貯留された洗浄液Ｓに超音波振動を誘起するための超音波振動子２８を配置している。

さらに洗浄工程２０には、未使用の洗浄液Ｓを、蒸留再生された洗浄液Ｓに加えて洗浄槽２３へ供給する洗浄液供給槽２９と、洗浄処理に使用された洗浄液Ｓを蒸留再生する真空圧型の蒸留再生装置３０とを配置している（図１参照）。

洗浄液供給槽２９は、貯留槽２１１にオーバーフローされた洗浄液Ｓと、洗浄液補給源４０から供給される未使用の洗浄液Ｓとを貯留するための回収槽２９１と、蒸留再生装置３０により蒸留再生された洗浄液Ｓを貯留するための補給槽２９２とを備えている。

回収槽２９１の上部には、バルブ２９３を介して液送路２９４の一端を接続している。液送路２９４の他端は貯留槽２１１に接続している。回収槽２９１の一側上部には、バルブ４１及び液送路４２を介して未使用の洗浄液Ｓを補給する洗浄液補給源４０を接続している。
補給槽２９２の底部には、バルブ２９５を介して補給路２９６の一端を接続している。補給路２９６の他端は、洗浄槽２３と循環ポンプ２４との間の循環路２７に接続している（図１参照）。

蒸留再生装置３０は、蒸留再生される洗浄液Ｓを貯留する図示しない未再生液貯留部と、蒸留再生された洗浄液Ｓを貯留する図示しない再生液貯留部とを備えている。回収槽２９１から供給される洗浄液Ｓを貯留する未再生液貯留部側には、バルブ３１を介して液送路３２の一端を接続している。

液送路３２の他端は回収槽２９１に接続している。蒸留再生した洗浄液Ｓを貯留する再生液貯留部側には、液送路３３の一端を接続している。液送路３３の他端は補給槽２９２に接続している（図１参照）。

つまり、回収槽２９１から供給される洗浄液Ｓを、蒸留再生装置３０の略真空状態に減圧された槽内で蒸留し気化して、洗浄液Ｓから図示しない被除去物を分離した後、気化した洗浄液Ｓを凝縮し液化して再生する。

リンス工程５０には、被洗浄物Ａを浸漬し洗浄するためのリンス液Ｒが貯留されたリンス槽５１，５２を、この順に所定間隔を隔てて配置している。リンス槽５１の一側上部に所定間隔を隔てて配置した貯留槽５１１と、リンス槽５２の一側上部及び他側上部に配置した貯留槽５２１は、リンス槽５１，５２からオーバーフローされるリンス液Ｒを貯留する（図１、図２参照）。

リンス槽５１，５２の底部と、貯留槽５１１，５２１の底部には、循環ポンプ５４と、フィルタ５５と、バルブ５６とを介して、循環路５７の一端側を２本に分岐してそれぞれ接続している。リンス槽５１，５２の貯留槽５１１，５２１より下方の側部上下には、循環路５７の他端側を２本に分岐してそれぞれ接続している。

さらにリンス工程５０には、未使用のリンス液Ｒを、蒸留再生されたリンス液Ｒに加えてリンス槽５２へ供給するリンス液供給槽５９と、リンス処理に使用されたリンス液Ｒを蒸留再生する常圧型の蒸留再生装置６０と、水分をリンス液Ｒから分離する水分離槽６１と、リンス液Ｒを洗浄液Ｓから分離する液分離槽６２と、コロイド状の有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから分離する材料分離装置６９とを配置している（図１、図２参照）。
上述の材料Ｅは、有機材料の燐光材料又は無機材料の金属錯体、あるいは、両材料を複合した複合材料で構成することができる。

リンス液供給槽５９は、貯留槽５１１にオーバーフローされたリンス液Ｒと、後述するリンス液補給源７０から供給される未使用のリンス液Ｒとを貯留するための回収槽５９１と、蒸留再生装置６０により蒸留再生されたリンス液Ｒを貯留するための補給槽５９２とを備えている。

回収槽５９１の上部には、バルブ５９３を介して液送路５９４の一端を接続している。液送路５９４の他端は貯留槽５１１に接続している。回収槽５９１の一側上部には、バルブ７１及び液送路７２を介して未使用のリンス液Ｒを補給するリンス液補給源７０を接続している。
補給槽５９２の底部には、バルブ５９５を介して液送路５９６の一端を接続している。液送路５９６の他端は、リンス槽５２と循環ポンプ５４との間の循環路５７に接続している。

蒸留再生装置６０は、蒸留再生されるリンス液Ｒを貯留する未再生液貯留部と、蒸留再生されたリンス液Ｒを貯留する再生液貯留部とを備えている。未再生液貯留部の一側壁部には、液送ポンプ６０１及びバルブ６０２を介して液送路６０３の一端を接続している。液送路６０３の他端はリンス液供給槽５９の回収槽５９１に接続している（図１参照）。

再生液貯留部の底部には、液送ポンプ６０４及びバルブ６０５を介して液送路６０６の一端を接続している。液送路６０６の他端は後述する水分離槽６１の第１分離槽６１１の一側上部に接続している。

つまり、回収槽５９１から供給されるリンス液Ｒを、蒸留再生装置６０の略常圧状態に保たれた槽内で蒸留し気化して、リンス液Ｒから図示しない被除去物を分離した後、気化したリンス液Ｒを凝縮し液化して再生する。

さらに未再生液貯留部の底部には、液送ポンプ６０７及びバルブ６０８を介して液送路６０９の一端を接続している。液送路６０９の他端は、２本に分岐した両端部のうち一方の端部を洗浄液供給槽２９の回収槽２９１に接続している。他方の端部は後述する液分離槽６２の一側上部に接続している（図１参照）。

水分離槽６１は、蒸留再生装置６０により蒸留再生されたリンス液Ｒを貯留する第１分離槽６１１と、水分が比重分離されたリンス液Ｒを貯留する第２分離槽６１２とを備えており、蒸留再生装置６０により蒸留再生されたリンス液Ｒを、水分とリンス液Ｒとに比重分離する（図１参照）。

第１分離槽６１１の一側上部には、蒸留再生装置６０の液送路６０６の他端を接続している。第２分離槽６１２の底部には、液送ポンプ６１３及びバルブ６１４を介して液送路６１５の一端を接続している。液送路６１５の他端は上述したリンス液供給槽５９の補給槽５９２の一側上部に接続している。

液分離槽６２は、リンス液Ｒが分離された洗浄液Ｓを貯留する洗浄液貯留槽６２１と、洗浄液Ｓが分離されたリンス液Ｒを貯留するリンス液貯留槽６２２と、リンス液Ｒを回収するリンス液回収槽６２３とを備えており、蒸留再生装置６０により蒸留再生されたリンス液Ｒを、洗浄液Ｓとリンス液Ｒとに分離する（図１参照）。

洗浄液貯留槽６２１の底部には、バルブ６２４を介して液送路６２５の一端を接続している。液送路６２５の他端はリンス液回収槽６２３の一側上部に接続している。リンス液貯留槽６２２の一側上部には、バルブ６２６を介して液送路６２７の一端を接続している。液送路６２７の他端は上述したリンス液供給槽５９の回収槽５９１に接続している。

リンス液回収槽６２３の底部には、バルブ６２８を介して液送路６２９の一端を接続している。液送路６２９の他端は上述した蒸留再生装置６０と液送ポンプ６０７との間の液送路６０９に接続している。

材料分離装置６９は、有機ＥＬ用の材料Ｅが溶け込み可能な溶解水Ｗ（以下、溶解水と略記する）が所定量貯留される材料分離槽７１０と、リンス液Ｒ及び溶解水Ｗを濾過するためのバッグフィルタ７２０と、溶解水Ｗなどの水分をリンス液Ｒから分離するための油水分離フィルタ７３０と、溶解水Ｗを材料分離槽７１０内に供給する溶解水供給源７４０とを備えている（図１、図２参照）。

なお、溶解水Ｗは、イリジウムやリチュウムなどの金属イオンの周りに有機物が付着した金属錯体を主な材料とする有機ＥＬ用の材料Ｅを溶け込ませることが可能な純水（ＤＩＷ）で構成している。
また、リンス液Ｒは、材料Ｅが溶け込みにくい、あるいは、溶け込みが不可能な非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）で構成している。また、油水分離フィルタ７３０は、旭化成株式会社製の油水分離フィルタで構成している。

材料分離槽７１０の上部には、バルブ７１１を介して液送路７１２の一端を接続している。液送路７１２の他端はリンス槽５１と循環ポンプ５４との間の循環路５７に接続している。材料分離槽７１０の左側底部には、循環ポンプ７１３と、濾過精度１μｍのフィルタ７１４と、バルブ７１５とを介して循環用液送路７１６の一端を接続している。循環用液送路７１６の他端は材料分離槽７１０の一側上部に接続している（図２参照）。

材料分離槽７１０の右側底部には、バルブ７２１を介して液送路７２２の一端を接続している。液送路７２２の他端は濾過精度１μｍのバッグフィルタ７２０の上部に接続している。バッグフィルタ７２０の下部には、液送ポンプ７３１と、濾過精度０．４５μｍのフィルタ７３２と、濾過精度０．０２μｍのフィルタ７３３とを介して液送路７３４の一端を接続している。液送路７３４の他端は油水分離フィルタ７３０の一側部に接続している。

油水分離フィルタ７３０の他側部には、バルブ７３５を介して排水路７３６の一端を接続するとともに、バルブ７３７を介して液送路７３８の一端を接続している。排水路７３６の他端は水及び汚れを排水する図示しない排水部に接続している。また液送路７３８の他端はリンス液供給槽５９の回収槽５９１に接続している（図２参照）。

さらに材料分離槽７１０の他側下部には、液送ポンプ７４１と、バルブ７４２と、給水路７４３とを介して、溶解水Ｗを材料分離槽７１０内に供給する溶解水供給源７４０を接続している。

上述の被洗浄物洗浄装置１０を用いて、被洗浄物Ａ（具体的には有機ＥＬ用の材料Ｅが付着したマスク）を洗浄処理する際の洗浄方法について説明する。
先ず、被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま、洗浄工程２０の洗浄槽２１，２２，２３に貯留された洗浄液Ｓに順次浸漬する。超音波振動子２８が発生する超音波振動を洗浄槽２１，２２の洗浄液Ｓに誘起して、被洗浄物Ａに付着した図示しない被除去物を洗浄除去する（図１参照）。

洗浄処理中において、循環ポンプ２４の移送力により、被洗浄物Ａから除去された被除去物を、洗浄液Ｓと一緒に洗浄槽２１〜２３から貯留槽２１１〜２３１へオーバーフローさせ、フィルタ２５により被除去物が取り除かれた洗浄液Ｓを洗浄槽２１〜２３へ返還して循環させる。

貯留槽２１１に貯留された洗浄液Ｓを、洗浄液供給槽２９の回収槽２９１を介して蒸留再生装置３０へ供給し蒸留再生する。蒸留再生された洗浄液Ｓを、洗浄液供給槽２９の補給槽２９２を介して洗浄槽２３へ返還し、被洗浄物Ａの洗浄処理に繰り返し使用する。

続いて、洗浄処理された被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま、洗浄工程２０からリンス工程５０へ移動した後、リンス工程５０のリンス槽５１，５２に貯留されたリンス液Ｒに順次浸漬し、被洗浄物Ａに残着する洗浄液Ｓや有機ＥＬ用の材料Ｅを除去する（図１参照）。

リンス処理中において、循環ポンプ５４の移送力により、被洗浄物Ａから除去された洗浄液Ｓや被除去物を、リンス液Ｒと一緒にリンス槽５１，５２から貯留槽５１１，５２１へオーバーフローさせ、フィルタ５５により被除去物が取り除かれたリンス液Ｒをリンス槽５１，５２へ返還して循環させる。

リンス処理された被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま、リンス工程５０から図示しない乾燥工程へ移動した後、例えば洗浄液Ｓやリンス液Ｒ等の蒸気を吹き付けて蒸気洗浄するか、図示しない減圧乾燥槽内で減圧乾燥する等して乾燥処理する。
この結果、被洗浄物Ａの品質や精密度を損なうことなく、被洗浄物Ａを良好な状態に洗浄処理することができる。

上述の被洗浄物洗浄装置１０に備えられた材料分離装置６９により有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから取り除く方法について説明する。
リンス処理される被洗浄物Ａに、金属錯体を主な材料とする材料Ｅが付着している場合、洗浄処理済みの被洗浄物Ａをリンス槽５１のリンス液Ｒに浸漬した際に、被洗浄物Ａに付着する材料Ｅがリンス液Ｒに接触するとコロイド状となり、リンス液Ｒ中に拡散する。

循環ポンプ５４を駆動して、リンス槽５１に貯留されたリンス液Ｒをフィルタ５５及び循環路５７を介して循環させる際に、リンス液Ｒの一部を液送路７１２に分流して材料分離槽７１０内へ供給し、材料分離槽７１０内にて溶解水Ｗと混ぜ合わせる（図２参照）。

循環ポンプ７１３を駆動して、材料分離槽７１０内に貯留されたリンス液Ｒと溶解水Ｗを、循環用液送路７１６を介して材料分離槽７１０の下部から槽外へ流出させるとともに、フィルタ７１４で濾過したリンス液Ｒと溶解水Ｗを、循環用液送路７１６を介して材料分離槽７１０の上部から槽内へ返還する。

材料分離槽７１０内に貯留されるリンス液Ｒの貯留量と溶解水Ｗの貯留量との割合を、リンス液Ｒ：溶解水Ｗ＝１：２以上となるように設定しているため、リンス液Ｒと溶解水Ｗを循環させる際に、溶解水Ｗをリンス液Ｒ中に拡散する略全ての材料Ｅに対して積極的に接触させることができる。

リンス液Ｒと溶解水Ｗを循環させる際に積極的に撹拌して混ぜ合わせるため、リンス液Ｒ中の材料Ｅ（特に金属錯体）を溶解水Ｗ中に対して効率良く溶け込ませることができる。
また、リンス液Ｒと溶解水Ｗを混ぜ合わせる際に、リンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅのナノ粒子同士を互いに合体させて、材料Ｅの粒子の径を、リンス液Ｒ及び溶解水Ｗの粒子の径より大きくする。
具体的には材料Ｅのナノ粒子同士を互いに合体させて再結晶化させるか、あるいは、固形化することが好ましい。

所定時間撹拌した後、循環ポンプ７１３の駆動を停止し、リンス液Ｒと溶解水Ｗの撹拌を停止又は休止することにより、時間が経過するのに伴い、材料分離槽７１０内の下部領域ｒと上部領域ｗとに、リンス液Ｒと溶解水Ｗとが比重差により上下分離される（図３参照）。
つまり、比重１の溶解水Ｗに対して、比重１．４７のリンス液Ｒの方が重いため、溶解水Ｗより比重が重いリンス液Ｒの層が、溶解水Ｗの層より下方の下部領域ｒに形成される。

リンス液Ｒと溶解水Ｗとが比重分離されるのに伴い、溶解水Ｗに溶け込ませた材料Ｅが徐々に析出されるが、材料Ｅは非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）のリンス液Ｒに溶け込まないため、材料Ｅの層が、上部領域ｗに貯留された溶解水Ｗの層と、下部領域ｒに貯留されたリンス液Ｒの層との間の中間領域ｅに形成される（図３参照）。

バルブ７２１を開放した後、液送ポンプ７３１を駆動して、材料分離槽７１０内に貯留された下部領域ｒのリンス液Ｒと、中間領域ｅの材料Ｅと、上部領域ｗの溶解水Ｗとを、この順に液送路７２２を介してバッグフィルタ７２０及びフィルタ７３２，７３３へ供給し濾過する。

リンス液Ｒや溶解水Ｗなどの液体中に、１μｍ以上の大きな粒子が含まれていればバッグフィルタ７２０で確実に捕獲することができる。バッグフィルタ７２０で捕獲することが不可能なほど粒子が小さくても、フィルタ７３２又はフィルタ７３３で確実に捕獲することができる。

リンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅのナノ粒子同士を互いに合体させて、材料Ｅの粒子の径を大きくするため、材料Ｅのナノ粒子の径が０．４５μｍ以上であればフィルタ７３２で捕獲することができる（図３参照）。

材料Ｅのナノ粒子の径が０．４５μｍ以下であっても、材料Ｅのナノ粒子同士を互いに合体させて、材料Ｅのナノ粒子の径を０．０２μｍ以上に大きくするため、フィルタ７３３で確実に捕獲することができる。
これにより、略全ての材料Ｅをリンス液Ｒや溶解水Ｗから確実に取り除くことができるとともに、リンス液Ｒの洗浄力を材料Ｅが混入する前の状態に回復させることができる。

また、材料分離槽７１０内に貯留されたリンス液Ｒと、材料Ｅと、溶解水Ｗとを予め層状に分離しておくため、コロイド状の材料Ｅを混ぜ合わされたリンス液Ｒ及び溶解水Ｗから分離するよりも、材料Ｅをより確実に分離することができる。

この結果、材料Ｅが取り除かれた清浄なリンス液Ｒを用いて、被洗浄物Ａを良好な状態に仕上げ洗浄することができる。
しかも、除去された材料Ｅが被洗浄物Ａに再付着することを防止できるとともに、被洗浄物Ａに付着する材料Ｅを除去するのに必要な洗浄力が長期に亘り安定して得られるため、被洗浄物Ａを洗浄する際のランニングコストを低減することができる。

さらに、リンス液Ｒ中に拡散する材料Ｅのナノ粒子同士を互いに合体させて、材料Ｅの粒子の径をリンス液Ｒ及び溶解水Ｗの粒子より大きくするため、材料Ｅをフィルタ７３３で確実に捕獲することができるとともに、材料Ｅをリンス液Ｒから確実に取り除くことができる。
また材料Ｅをフィルタ７３３に捕獲したまま取り扱うことができるため、有機Ｅｌ用の材料Ｅを、図示しない廃棄装置や廃棄施設等で簡単に処理することができる。

さらにまた、リンス液Ｒと溶解水Ｗを循環させる際に積極的に撹拌して混ぜ合わせるとともに、リンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅを溶解水Ｗに対して積極的に溶け込ませるため、材料Ｅをリンス液Ｒから取り除く際の処理時間が短くて済み、材料Ｅをリンス液Ｒから効率良く取り除くことができる。

これにより、清浄なリンス液Ｒを用いて、被洗浄物Ａに付着する有機ＥＬ用の材料Ｅをより効率良く洗浄除去することができる。
また、例えば羽根やスクリュー等の撹拌体を設けたり、撹拌体を回転するためのモータ等を設けたりする必要がなく、リンス液Ｒと溶解水Ｗを循環させる簡単な構成にて材料Ｅをリンス液Ｒからより確実に取り除くことができる。

続いて、バッグフィルタ７２０及びフィルタ７３２，７３３で濾過されたリンス液Ｒを油水分離フィルタ７３０へ供給し、リンス液Ｒ中に拡散した微細な溶解水Ｗを油水分離フィルタ７３０内に配置したカートリッジ型の筒状フィルタ（図７参照）により捕獲し、凝縮して、粗大化させる。

これにより、溶解水Ｗをリンス液Ｒから分離するとともに、溶解水Ｗが分離されたリンス液Ｒをリンス液供給槽５９の回収槽５９１へ供給する（図１参照）。
なお、リンス液Ｒから分離された汚れ等を含む溶解水Ｗは、排水路７３６を介して図示しない排水部へ排水し処理する。

回収槽５９１に貯留されたリンス液Ｒを蒸留再生装置６０へ供給して蒸留再生した後、蒸留再生されたリンス液Ｒを水分離槽６１及び液分離槽６２を介して、水分が分離されたリンス液Ｒをリンス液供給槽５９の補給槽５９２へ供給するとともに、再生されたリンス液Ｒを補給槽５９２からリンス槽５２へ返還するため、リンス液Ｒを被洗浄物Ａのリンス処理に繰り返し使用することができる。

一方、液分離槽６２において洗浄液Ｓが分離されたリンス液Ｒをリンス液供給槽５９の回収槽５９１へ供給し、液分離槽６２においてリンス液Ｒから分離された洗浄液Ｓをリンス液回収槽６２３に一旦貯留した後、リンス液回収槽６２３から洗浄液供給槽２９の回収槽２９１へ供給する。

回収槽２９１に回収された洗浄液Ｓを蒸留再生装置３０へ供給して蒸留再生した後、蒸留再生装置３０により蒸留再生された清浄な洗浄液Ｓを補給槽２９２に一旦貯留し、洗浄液Ｓを補給槽２９２から洗浄槽２３へ返還するため、洗浄液Ｓを被洗浄物Ａの洗浄処理に繰り返し使用することができる。

以下、上述の被洗浄物洗浄装置１０における材料分離装置６９のその他の例について説明する。この説明において、前記構成と同一または同等の部位については同一の符号を記してその詳しい説明を省略する。

（実施例２）
実施例１では材料分離槽７１０内に貯留された下部領域ｒのリンス液Ｒから順に取り出す材料分離装置６９について説明したが、実施例２では、図４、図５に示すように、基準線Ｌより上方の領域に貯留された有機ＥＬ用の材料Ｅ及び溶解水Ｗから順に取り出す材料分離装置６９について説明する。

図４は実施例２の被洗浄物洗浄装置１０に備えられた材料分離装置６９の模式図であり、詳しくは、リンス液Ｒと溶解水Ｗを材料分離槽７１０内に貯留した状態の模式図である。図５は有機ＥＬ用の材料Ｅを中間領域ｅに貯留した状態の模式図である。

実施例２の材料分離装置６９は、液送路７２２の一端側を２本に分岐して、分岐した一方の端部７２２ａを、バルブ７２１ａを介して材料分離槽７１０内に設定した図４中及び図５中の一点鎖線で示す基準線Ｌより下方の下部領域ｒと対応して、材料分離槽７１０の底部に接続している（図４参照）。

他方の端部７２２ｂは、バルブ７２１ｂを介して材料分離槽７１０内に設定した図４中の一点鎖線で示す基準線Ｌより上方の中間領域ｅと対応して、材料分離槽７１０の側部に接続している。
なお、基準線Ｌは、材料分離槽７１０内に貯留された下部領域ｒのリンス液Ｒの層と、中間領域ｅの材料Ｅの層との境界より下方で、境界側に寄った位置に設定している。

実施例２の材料分離装置６９により有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから取り除く方法について説明する。
先ず、循環ポンプ５４を駆動して、リンス槽５１に貯留されたリンス液Ｒを循環させる際に、コロイド状の材料Ｅが拡散したリンス液Ｒの一部を液送路７１２に分流して材料分離槽７１０内へ供給し、材料分離槽７１０内にて溶解水Ｗと混ぜ合わせる（図４参照）。

循環ポンプ７１３を駆動して、リンス液Ｒと溶解水Ｗを循環させる際に積極的に撹拌し混ぜ合わせるため、溶解水Ｗをリンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅに対して積極的に接触させて、リンス液Ｒ中の材料Ｅを溶解水Ｗ中に対して効率良く溶け込ませることができる。

また、リンス液Ｒと溶解水Ｗを撹拌して混ぜ合わせる際に、リンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅのナノ粒子同士を互い合体させて、材料Ｅのナノ粒子の径を、リンス液Ｒ及び溶解水Ｗの粒子の径より大きくする。

所定時間撹拌した後、循環ポンプ７１３の駆動を停止し、リンス液Ｒと溶解水Ｗの撹拌を停止又は休止することにより、時間が経過するのに伴い、リンス液Ｒと溶解水Ｗとが比重差により上下分離され、溶解水Ｗより比重が重いリンス液Ｒの層が、溶解水Ｗの層より下方の下部領域ｒに形成される。

リンス液Ｒと溶解水Ｗとが分離されるのに伴い、溶解水Ｗに溶け込ませた材料Ｅが徐々に析出されるが、材料Ｅはリンス液Ｒに溶け込みにくい又は溶け込まないため、材料Ｅの層が、上部領域ｗに貯留された溶解水Ｗの層と、下部領域ｒに貯留されたリンス液Ｒの層との間の中間領域ｅに形成される（図５参照）。

バルブ７２１ｂを閉塞し、バルブ７２１ａを開放した後、液送ポンプ７３１を駆動して、材料分離槽７１０内の基準線Ｌより上方の下部領域ｒに貯留されたリンス液Ｒの一部と、中間領域ｅに貯留された材料Ｅと、上部領域ｗに貯留された溶解水Ｗとを、液送路７２２の端部７２２ｂを介してバッグフィルタ７２０及びフィルタ７３２，７３３へ供給し濾過する。

基準線Ｌより下方の領域に貯留されたリンス液Ｒの貯留量に比べて、基準線Ｌより上方の領域に貯留されたリンス液Ｒの貯留量が少なく、上方領域のリンス液Ｒに拡散した材料Ｅの量も極めて少ないため、基準線Ｌより上方の領域に貯留されたリンス液Ｒ中の材料Ｅをフィルタ７３３で確実に捕獲することができるとともに、材料Ｅをリンス液Ｒから短い時間で確実に取り除くことができる。

フィルタ７２０，７３２，７３３で濾過されたリンス液Ｒ及び溶解水Ｗを油水分離フィルタ７３０へ供給し、材料Ｅ及び溶解水Ｗが取り除かれた清浄なリンス液Ｒをリンス液供給槽５９の回収槽５９１内に一旦貯留する。

リンス液Ｒから分離された汚れ等を含む溶解水Ｗは、排水路７３６を介して図示しない排水用の装置や施設等で処理する。またリンス液Ｒ及び溶解水Ｗから分離された材料Ｅは、フィルタ７３３に捕獲したまま図示しない廃棄装置や廃棄施設等で処理する。

続いて、バルブ７２１ａを閉塞し、バルブ７２１ｂを開放して、材料分離槽７１０内の基準線Ｌより下方の領域に貯留されたリンス液Ｒを、液送路７２２の端部７２２ａを介してバッグフィルタ７２０及びフィルタ７３２，７３３へ供給する。

フィルタ７２０，７３２，７３３で濾過された清浄なリンス液Ｒをリンス液供給槽５９の回収槽５９１内に一旦貯留した後、液送路５９６を介してリンス液供給槽５９の補給槽５９２からリンス槽５２へ返還する。

すなわち、材料分離槽７１０内の基準線Ｌより下方の領域に貯留されたリンス液Ｒには材料Ｅが殆んど含まれておらず、油水分離フィルタ７３０により溶解水Ｗをリンス液Ｒから分離するだけで、リンス処理に繰り返し使用することができる。

この結果、有機ＥＬ用の材料Ｅが含まれない清浄なリンス液Ｒ、あるいは、材料Ｅが取り除かれた清浄なリンス液Ｒを用いて、被洗浄物Ａをより良好な状態にリンス処理することができるため、実施例１に加えた作用及び効果を奏することができる。

（実施例３）
実施例１，２では有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから分離してリンス液供給槽５９からリンス槽５２へ返還する材料分離装置６９について説明したが、実施例３では、図６、図７に示すように、リンス液Ｒを水分離槽６１と材料分離槽７１０との間で循環させる際に、有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから分離する材料分離装置６９について説明する。

図６は実施例３の材料分離装置６９を備えた被洗浄物洗浄装置１０の模式図、図７は実施例３の被洗浄物洗浄装置１０に備えられた材料分離装置６９の模式図である。
実施例３の材料分離装置６９は、有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス処理用のリンス液Ｒから分離する材料分離槽７１０と、溶解水Ｗをリンス液Ｒから分離する油水分離フィルタ７３０とを備えている（図６、図７参照）。

水分離槽６１は、第２分離槽６１２の底部に、液送ポンプ７４１と、バルブ７４２と、給水路７４３とを介して、溶解水Ｗを定期的に供給する溶解水供給源７４０を接続しており、リンス液Ｒ中に拡散する材料Ｅを溶解するのに必要な量の溶解水Ｗを第２分離槽６１２内に供給する（図７参照）。

材料分離槽７１０は、水分離槽６１から供給される溶解水Ｗが拡散したリンス液Ｒを貯留する第１分離槽７１０ａと、溶解水Ｗが比重分離されたリンス液Ｒを貯留する第２分離槽７１０ｂとを備えている。

第１分離槽７１０ａの一側上部には、バルブ６１４を介して液送路６１５の一端を接続している。液送路６１５の他端は水分離槽６１における第２分離槽６１２の一側部に接続している（図７参照）。

第１分離槽７１０ａ内に設定された下部領域には、リンス液Ｒが積極的に浸透する紙製のセパレータ７１０ｃを配置している。第２分離槽７１０ｂの底部には、液送ポンプ７１８と、バルブ７１７とを介して液送路７１９の一端を接続している。液送路７１９の他端はリンス液供給槽５９の回収槽５９１に接続している（図７参照）。

油水分離フィルタ７３０は、筒状に形成されたカートリッジ型の筒状フィルタ７３０ａを油水分離フィルタ７３０内の底部中央に配置している。油水分離フィルタ７３０の一側上部には、バルブ７３５を介して排水路７３６の一端を接続している。排水路７３６の他端は図示しない排水部に接続している（図７参照）。

油水分離フィルタ７３０における筒状フィルタ７３０ａより外側の底部には、液送ポンプ７３９と、バルブ７３７とを介して、液送路７３８の一端を接続している。液送路７３８の他端は水分離槽６１における第１分離槽６１１の上部に接続している（図７参照）。

油水分離フィルタ７３０の底部中央には、筒状フィルタ７３０ａの内部と連通させて、バッグフィルタ７２０と、液送ポンプ７３１とを介して液送路７３４（７３４ａ，７３４ｂ）の一端を接続している。

液送路７３４の他端は、２本に分岐した端部７３４ａ，７３４ｂのうち一方の端部７３４ａを、バルブ７３１ａを介して第１分離槽７１０ａ内の中央部領域に接続している。他方の端部７３４ｂは、バルブ７３１ｂを介して第２分離槽７１０ｂ内の下部領域に接続している（図７参照）。
なお、端部７３４ａは、２本に分岐して第１分離槽７１０ａ内の中央部領域に接続している。

実施例３の材料分離装置６９により有機ＥＬ用の材料Ｅをリンス液Ｒから取り除く方法について説明する。
リンス工程５０において、被洗浄物Ａのリンス処理に使用された材料Ｅが拡散するリンス液Ｒを、リンス液供給槽５９及び蒸留再生装置６０を介して水分離槽６１の第１分離槽６１１へ供給する。リンス液Ｒと溶解水Ｗとを第１分離槽６１１内において比重分離し、溶解水Ｗが比重分離されたリンス液Ｒを第２分離槽６１２に一旦貯留する（図７参照）。

第２分離槽６１２に貯留されたリンス液Ｒは、材料分離槽７１０の第１分離槽７１０ａへ供給する際に、リンス液Ｒ中に拡散するコロイド状の材料Ｅを溶解水Ｗ中に溶け込ませるとともに、第１分離槽７１０ａ内においてリンス液Ｒと溶解水Ｗとに積極的に比重分離し、溶解水Ｗが比重分離されたリンス液Ｒを第２分離槽７１０ｂに一旦貯留する（図７参照）。

第２分離槽７１０ｂに貯留されたリンス液Ｒは、リンス液供給槽５９の回収槽５９１へ返還した後、補給槽５９２からリンス槽５２へ返還して、被洗浄物Ａのリンス処理に繰り返し使用する（図６参照）。

第１分離槽７１０ａ及び第２分離槽７１０ｂのうちいずれか一方、あるいは、両方に貯留されたリンス液Ｒは、バッグフィルタ７２０を介して油水分離フィルタ７３０へ供給する際に、溶解水Ｗ中に含まれる材料Ｅをバッグフィルタ７２０で捕獲し、材料Ｅが取り除かれたリンス液Ｒ及び溶解水Ｗを油水分離フィルタ７３０へ供給する。
なお、バッグフィルタ７２０に加えて、図示しない複数のフィルタを用いて材料Ｅを捕獲してもよい。

リンス液Ｒ中に拡散した微細な溶解水Ｗは、油水分離フィルタ７３０内の筒状フィルタ７３０ａを通過させる際に捕獲し凝縮して粗大化させるとともに、粗大化した溶解水Ｗを浮き上がらせ、油水分離フィルタ７３０内の上部領域に貯留する。

油水分離フィルタ７３０内の上部領域に貯留された溶解水Ｗは、排水路７３６を介して図示しない排水部へ排水する。筒状フィルタ７３０ａを通過したリンス液Ｒは油水分離フィルタ７３０内の下部領域に貯留し、液送路７３８を介して水分離槽６１の第１分離槽６１１へ返還する（図７参照）。

すなわち、有機ＥＬ用の材料Ｅが拡散するリンス液Ｒを、バッグフィルタ７２０及び油水分離フィルタ７３０を介して水分離槽６１と材料分離槽７１０との間で循環させ、積極的に撹拌して混ぜ合わせるとともに、材料分離槽７１０においてリンス液Ｒ中に拡散する材料Ｅを溶解水Ｗ中に溶け込ませる処理と、バッグフィルタ７２０により材料Ｅをリンス液Ｒから分離する処理と、油水分離フィルタ７３０により溶解水Ｗをリンス液Ｒから分離する処理とを繰り返す。

これにより、リンス液Ｒ中に拡散する材料Ｅを溶解水Ｗ中に効率良く溶け込ませて、材料Ｅをリンス液Ｒからより確実に分離することができる。
この結果、有機ＥＬ用の材料Ｅが取り除かれた清浄なリンス液Ｒを用いて、被洗浄物Ａをより良好な状態に仕上げ洗浄することができるため、実施例１，２に加えた作用及び効果を奏することができる。

また、リンス液Ｒと溶解水Ｗとを材料分離槽７１０内において比重分離する際に、溶解水Ｗに溶け込ませた材料Ｅを析出させて、材料Ｅの層を、上部領域ｗに貯留された溶解水Ｗの層と、下部領域ｒに貯留されたリンス液Ｒの層との間の中間領域ｅに形成してもよい（図３参照）。
これにより、実施例１，２で説明したように、リンス液Ｒ中に拡散された有機ＥＬ用の材料Ｅをより確実に取り除くことができる。

この発明の構成と、前記実施形態との対応において、
この発明の洗浄液体は、実施形態のリンス液Ｒに対応し、
以下同様に、
洗浄液体貯留槽は、リンス槽５１，５２に対応し、
液送路は、液送路５９４，６０３，６０６，６１５，７１２に対応し、
返還路、第１返還路、及び第２返還路は、液送路５９６，７１９，７２２，７３４，７３８に対応し、
材料分離手段は、バッグフィルタ７２０及びフィルタ７３２，７３３に対応し、
溶解水分離手段は、油水分離フィルタ７３０に対応し、
溶解水供給手段は、溶解水供給源７４０、液送ポンプ７４１、給水路７４３、及び溶解水供給源７４０に対応し、
撹拌手段は、循環ポンプ７１３、液送ポンプ７３１，７３９、液送路６１５，７１６，７３４，７３８に対応するも、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。

実施例１，２では、コロイド状の材料Ｅを濾過精度０．０２μｍのフィルタ７３３で捕獲する例について説明したが、例えば濾過精度０．０２μｍ以下のフィルタを用いたり、あるいは、複数のフィルタを組み合わせる等してもよい。

また、例えば洗浄液供給源から供給される新しい洗浄液Ｓを、洗浄槽２３の隣りに配置した洗浄槽に常時貯留しておき、洗浄槽２３にて洗浄処理された被洗浄物Ａを、洗浄槽に貯留された新しい洗浄液Ｓにて洗浄処理してもよい。

Ａ…被洗浄物
Ｓ…洗浄液
Ｒ…リンス液
Ｅ…有機ＥＬ用の材料
Ｗ…溶解水
１０…被洗浄物洗浄装置
２１，２２，２３…洗浄槽
５１，５２…リンス槽
６９…材料分離装置
７０…リンス液補給源
７１０…材料分離槽
７１２，７１９…液送路
７１３…循環ポンプ
７１４…フィルタ
７１６…循環用液送路
７２０…バッグフィルタ
７２２，７２２ａ，７２２ｂ…液送路
７３０…油水分離フィルタ
７３１…液送ポンプ
７３２，７３３…フィルタ
７４０…溶解水供給源
７１６，７３４，７３８…液送路
５９４，５９６，６０３，６０６，６１５…液送路

Claims (7)

1. 被洗浄物に付着した有機ＥＬ用の材料を洗浄液体により洗浄し除去する被洗浄物洗浄装置であって、
   前記材料を前記被洗浄物から除去するための前記洗浄液体が貯留された洗浄液体貯留槽と、前記材料を溶解可能な溶解水が貯留された材料分離槽とを備え、
   前記洗浄液体貯留槽と前記材料分離槽とが、
   前記洗浄液体貯留槽から前記材料分離槽へ前記洗浄液体を液送する液送路と、
   前記材料分離槽から前記洗浄液体貯留槽へ前記洗浄液体を返還する返還路とで接続され、
   前記返還路が、
   前記溶解水から前記材料を分離する材料分離手段と、
   前記洗浄液体から前記溶解水を分離する溶解水分離手段とを介して前記洗浄液体貯留槽に接続された
   被洗浄物洗浄装置。
2. 前記洗浄液体から水分を比重分離する水分離槽が前記液送路の途中に接続され、
   前記返還路が、
   前記材料分離手段と、前記溶解水分離手段と、及び前記水分離槽とを接続する第１返還路と、
   前記材料分離槽と前記洗浄液体貯留槽とを接続する第２返還路とで構成された
   請求項１に記載の被洗浄物洗浄装置。
3. 前記材料分離槽に、
   前記溶解水を前記材料分離槽内へ供給する溶解水供給手段と、
   前記材料分離槽内に貯留された前記洗浄液体と前記溶解水とを撹拌する撹拌手段とが設けられた
   請求項１又は２に記載の被洗浄物洗浄装置。
4. 前記材料分離槽内に貯留された前記洗浄液体と前記溶解水との割合が、
   前記洗浄液体：前記溶解水＝１：２以上に設定された
   請求項１〜３のいずれか一つに記載の被洗浄物洗浄装置。
5. 前記洗浄液体が、
   前記溶解水より比重が重く、前記材料が溶け込みにくい液体で構成された
   請求項１〜４のいずれか一つに記載の被洗浄物洗浄装置。
6. 前記洗浄液体貯留槽と前記材料分離槽とが、
   前記材料分離槽内の上部領域に貯留された前記溶解水の層と、該材料分離槽内の下部領域に貯留された前記洗浄液体の層との間の中間領域に貯留された前記材料の層との境界より下方で、該境界側に寄って設定した基準線を基準として、
   該基準線より上方の領域に貯留された前記洗浄液体の一部と、前記材料と、前記溶解水とを前記洗浄液体貯留槽から前記材料分離槽へ液送する前記液送路で接続された
   請求項１〜５のいずれか一つに記載の被洗浄物洗浄装置。
7. 前記撹拌手段が、
   前記材料分離槽の下部側に一端が接続され、該材料分離槽の上部側に他端が接続された循環用液送路と、
   前記循環用液送路の一端側と他端側との間に設けられ、前記材料分離槽に貯留された前記洗浄液体及び前記溶解水を前記循環用液送路の一端側から他端側に向けて液送する循環手段とで構成された
   請求項３に記載の被洗浄物洗浄装置。

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