JP2018113353A - 保持テーブルの検査方法と検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持テーブルの検査方法は、ポーラス板11に水3を供給して保持面11aの全面に水層3aを形成する水層形成工程と、水層形成工程を実施後、吸引孔121とエア供給源16とを連通させポーラス板11にエアを供給して保持面11aからエアを噴出させるエア噴出工程と、エア噴出工程で保持面11aから噴出したエアの噴出状態から枠体12の底面120aとポーラス板11の下面11bとが接着剤2で接着されているか否かを判断する判断工程とを備えたため、保持面11aの全面に水層3aを形成してから保持面11aからエアを噴出させ、かかるエアの噴出状態を確認することにより、枠体12に対するポーラス板11の接着状態の良否を容易に判断することができる。
【選択図】図4
Description
保持面11aからエアを噴出させることができる。また、図示の例における流路22には、バルブ15を介して吸引源14が接続され、バルブ15を開いて吸引源14と吸引孔121とを連通させることにより、保持面11aに吸引力を作用させて被加工物を吸引保持することができる。保持テーブル10には、図示しない回転手段が接続されており、保持テーブル10を鉛直方向の軸心を中心として回転させることができる。
図5に示すように、保持テーブル10の上方側に水供給手段30を構成するノズル31を移動させる。次いで、保持テーブル10を例えば矢印A方向に回転させながら、ノズル31に連通するバルブ32aを開き、水供給源32とノズル31とを連通させノズル31の供給口31aから保持テーブル10の保持面11aの中央に向けて所定量の水3を供給する。水3としては、例えば、純水を用いる。
水層形成工程を実施した後、図6に示すように、バルブ23を開いて、吸引孔121とエア供給源16とを連通させ、流路22を通じてポーラス板11に向けてエアを供給する。エアは流路22を通過して吸引孔121から吸引溝122に流れ込む。そして、吸引溝122に流れ込んだエアは、保持テーブル10の保持面11aから上方に噴出され、保持面11aを覆う水層3aにエアが入り込む。
エア噴出工程において、保持テーブル10の保持面11aにおけるエアの噴出状態を、撮像手段40によって保持テーブル10を上方から撮像する。このとき、撮像手段40は、連写して撮像画を撮像して、撮像画は判断手段50に送られる。そして、判断手段50によって、撮像手段40によって撮像された撮像画と記憶部に記憶された記憶画とが比較される。
また、本発明に係る保持テーブルの検査方法は、被加工物に研削を施す研削装置や被加工物に切削を施す切削装置などの加工装置に保持テーブル10が搭載されている状態で実施して、保持テーブル10を検査することができる。
10:保持テーブル 11:ポーラス板 11a:保持面 11b:下面
12:枠体 120:凹部 120a:底面 121:吸引孔 122:吸引溝
123:凸部 13:ベース 14:吸引源 15:バルブ
16:エア供給源 20:連通手段 21:接続部 22:流路 23:バルブ
30:水供給手段 31:ノズル 31a:供給口 32,33:水供給源
40:撮像手段 50:判断手段
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持面を有するポーラス板と該ポーラス板を収容する凹部を備える枠体とを接着剤で貼り合わせて構成される保持テーブルにおいて、該接着剤で該ポーラス板と該枠体とを接着した接着状態を検査する保持テーブルの検査方法であって、
該枠体は、該凹部の底面に形成され吸引源に連通する吸引孔と、該吸引孔に接続され該底面に形成された吸引溝とを備え、該保持テーブルは、該吸引溝以外の該底面と該ポーラス板の下面とを該接着剤で接着され、
該ポーラス板に水を供給して該保持面の全面に水層を形成する水層形成工程と、
該水層形成工程を実施した後、該吸引孔とエア供給源とを連通させ該ポーラス板にエアを供給して該保持面からエアを噴出させるエア噴出工程と、
該エア噴出工程で該保持面から噴出したエアの噴出状態から該枠体の該底面と該ポーラス板の下面とが該接着剤で接着されているか否かを判断する判断工程とを備える保持テーブルの検査方法。 - 前記保持テーブルと前記エア供給源とを連通させる連通手段と、
該保持テーブルを上方から撮像する撮像手段と、
該保持テーブルの保持面に水を供給する水供給手段と、
該連通手段によって該保持テーブルの該保持面からエアを噴射させた瞬間を該撮像手段が撮像した撮像画とあらかじめ記憶した記憶画とを比較して、該保持面から噴出したエアの噴出状態から前記枠体の前記底面と前記ポーラス板の前記下面とが前記接着剤で接着されているか否かを判断する判断手段と、を備え、請求項1記載の保持テーブルの検査方法を可能とする検査装置。
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