JP2018106186A - マスクブランク用基板、マスクブランク、転写用マスク及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1の主表面Pに正方形算出領域TAを設定し、算出領域TAの隅部にそれぞれ特定点A〜Dを設定し、特定点A〜Dの基準平面からの高さを取得し、特定点A〜Dのうち3点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ基準平面に垂直である垂線と仮想平面との交点を設定し、残りの特定点と当該交点との距離を算出し、当該距離が事前に設定され基準を満たす基板1をマスクブランク用基板として選定する。
【選択図】図1
Description
対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクの製造に用いられるマスクブランク用基板の製造方法であって、
前記基板の一方の主表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が132mmの正方形の領域を少なくとも含む正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定する工程と、
基準平面からの高さを前記全ての前記特定点で取得する工程と、
前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出する工程と、
前記算出された距離が0.2μm未満である基板をマスクブランク用基板として選定する工程と、
を有することを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。
前記算出領域は、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域と同一あるいはそれよりも小さい領域であることを特徴とする構成1記載のマスクブランク用基板の製造方法。
前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする構成1または2に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
前記基準平面は、前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする構成1から3のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法。
前記一方の主表面は、二乗平均平方根粗さRqが0.25nm以下であることを特徴とする構成1から4のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法。
構成1から5のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法で製造されたマスクブランク用基板の前記一方の主表面に前記転写パターン形成用の薄膜を設ける工程を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクの製造方法であって、
前記薄膜が設けられた基板の前記薄膜の表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が132mmの正方形の領域を少なくとも含む正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定する工程と、
基準平面からの高さを全ての前記特定点で取得する工程と、
前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出する工程と、
前記算出された距離が0.2μm未満である、前記薄膜が設けられた基板をマスクブランクとして選定する工程と
を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
前記算出領域は、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域と同一あるいはそれよりも小さい領域であることを特徴とする構成7記載のマスクブランクの製造方法。
前記薄膜の表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする構成7または8に記載のマスクブランクの製造方法。
前記基準平面は、前記薄膜の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする構成7から9のいずれかに記載のマスクブランクの製造方法。
構成6から10のいずれかに記載のマスクブランクの製造方法で製造されたマスクブランクの前記薄膜に転写パターンを形成する工程を有することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクの製造に用いられるマスクブランク用基板であって、
前記基板は、前記一方の主表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が132mmの正方形の領域を少なくとも含む正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定し、基準平面からの高さを全ての前記特定点で取得し、前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出したとき、前記算出された距離が0.2μm未満であることを特徴とするマスクブランク用基板。
前記算出領域は、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域と同一あるいはそれよりも小さい領域であることを特徴とする構成12記載のマスクブランク用基板。
前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする構成12または13に記載のマスクブランク用基板。
前記基準平面は、前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする構成12から14のいずれかに記載のマスクブランク用基板。
前記一方の主表面は、二乗平均平方根粗さRqが0.25nm以下であることを特徴とする構成12から15のいずれかに記載のマスクブランク用基板。
構成12から16のいずれかに記載のマスクブランク用基板の前記一方の主表面に前記転写パターン形成用の薄膜を備えることを特徴とするマスクブランク。
対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクであって、
前記マスクブランクは、前記薄膜の表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が132mmの正方形の領域を少なくとも含む正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定し、基準平面からの高さを全ての前記特定点で取得し、前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出したとき、前記算出された距離が0.2μm未満であることを特徴とするマスクブランク。
前記算出領域は、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域と同一あるいはそれよりも小さい領域であることを特徴とする構成18記載のマスクブランク。
前記薄膜の表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする構成18または19に記載のマスクブランク。
前記基準平面は、前記薄膜の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする構成18から20のいずれかに記載のマスクブランク。
構成17から21のいずれかに記載のマスクブランクの前記薄膜に転写パターンが設けられていることを特徴とする転写用マスク。
構成11記載の転写用マスクの製造方法で製造された転写用マスクを露光装置のマスクステージにセットし、リソグラフィ法により前記転写用マスクの転写パターンを半導体基板上に転写することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
構成22記載の転写用マスクを露光装置のマスクステージにセットし、リソグラフィ法により前記転写用マスクの転写パターンを半導体基板上に転写することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
ここでは、マスクブランク用基板の製造方法及びマスクブランク用基板に関して説明する。最初に本発明の構成概念を説明し、その後、その概念に基づいて実施した実施例を比較例とともに示す。
本発明のマスクブランクの製造方法は、前述のマスクブランク用基板の製造方法で製造されたマスクブランク用基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜を設ける工程を備えることを特徴としている。また、本発明のマスクブランクは、前述のマスクブランク用基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜を設けたことを特徴としている。
(1)遷移金属を含む材料からなる遮光膜を備えたバイナリマスクブランク
かかるバイナリマスクブランクは、基板上に遮光膜(パターン形成用の薄膜)を有する形態のものであり、この遮光膜は、クロム、タンタル、ルテニウム、タングステン、チタン、ハフニウム、モリブデン、ニッケル、バナジウム、ジルコニウム、ニオブ、パラジウム、ロジウム等の遷移金属単体あるいはその化合物を含む材料からなる。例えば、クロムや、クロムに酸素、窒素、炭素などの元素から選ばれる1種以上の元素を添加したクロム化合物で構成した遮光膜が挙げられる。また、例えば、タンタルに、酸素、窒素、ホウ素などの元素から選ばれる1種以上の元素を添加したタンタル化合物で構成した遮光膜が挙げられる。かかるバイナリマスクブランクは、遮光膜を、遮光層と表面反射防止層の2層構造や、さらに遮光層と基板との間に裏面反射防止層を加えた3層構造としたものなどがある。また、遮光膜の膜厚方向における組成が連続的又は段階的に異なる組成傾斜膜としてもよい。
かかる位相シフトマスクブランクとしては、基板上に光半透過膜(パターン形成用の薄膜)を有する形態のものであって、該光半透過膜をパターニングしてシフタ部を設けるタイプであるハーフトーン型位相シフトマスクが作製される。かかる位相シフトマスクにおいては、光半透過膜を透過した光に基づき転写領域に形成される光半透過膜パターンによる被転写基板のパターン不良を防止するために、基板上に光半透過膜とその上の遮光膜(遮光帯)とを有する形態とするものが挙げられる。また、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクのほかに、基板をエッチング等により掘り込んでシフタ部を設ける基板掘り込みタイプであるレベンソン型位相シフトマスク用やエンハンサー型位相シフトマスク用のマスクブランクが挙げられる。
この光半透過膜は、ケイ素と窒素からなる材料、またはケイ素と窒素からなる材料に半金属元素、非金属元素および貴ガスから選ばれる1以上の元素を含有する材料で形成される以外は、(2)に記載の光半透過膜に関する事項と同様である。
この遮光膜(パターン形成用の薄膜)は、遷移金属及びケイ素の化合物を含む材料からなり、これらの遷移金属及びケイ素と、酸素又は窒素のうちの少なくとも1つ以上を主たる構成要素とする材料が挙げられる。また、遮光膜は、遷移金属と、酸素、窒素又はホウ素のうちの少なくとも1つ以上を主たる構成要素とする材料が挙げられる。遷移金属には、モリブデン、タンタル、タングステン、チタン、ハフニウム、ニッケル、バナジウム、ジルコニウム、ニオブ、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、クロム等が適用可能である。特に、遮光膜をモリブデンシリサイドの化合物で形成する場合であって、遮光層(MoSi等)と表面反射防止層(MoSiON等)の2層構造や、さらに遮光層と基板との間に裏面反射防止層(MoSiON等)を加えた3層構造がある。また、遮光膜の膜厚方向における組成が連続的又は段階的に異なる組成傾斜膜としてもよい。
この遮光膜は、ケイ素と窒素からなる材料、またはケイ素と窒素からなる材料に半金属元素、非金属元素および貴ガスから選ばれる1以上の元素を含有する材料で形成される以外は、(1)に記載の遮光膜に関する事項と同様である。
本発明の転写用マスクの製造方法は、前述のマスクブランクの製造方法により製造されたマスクブランクの薄膜に転写パターンを形成する工程を備えることを特徴としている。また、本発明の転写用マスクは、前述のマスクブランクの薄膜に転写パターンを備えることを特徴としている。以下、マスクブランクから転写用マスクを製造する工程について説明する。なお、ここで使用するマスクブランクは、前述(2)の位相シフトマスクブランクであり、基板上に、光半透過膜(転写パターン形成用の薄膜)と遮光膜が順に積層した構造を備える。また、この転写用マスク(位相シフトマスク)の製造方法は一例であり、一部の手順を変えて製造したものであってもよい。
本発明の半導体デバイスの製造方法は、上記の各転写用マスクを露光装置のマスクステージにセットし、リソグラフィ法により、半導体基板上のレジスト膜に転写用パターンを転写することを特徴としている。これらの転写用マスクは、いずれも露光装置のマスクステージにセットしたときに、チャック面からの浮き上がりがないあるいは浮き上がりが小さいため、フォーカスエラーが発生しにくい。このため、これらの転写用マスクを用いて半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときに、半導体デバイス上のレジスト膜に転写不良が発生することを抑制できる。さらに、このレジストパターンをマスクとして、被加工膜をドライエッチングして回路パターンを形成した場合、転写不良に起因する配線短絡や断線がなく、高精度で歩留まりの高い回路パターンを形成することができる。
[マスクブランク用基板の製造]
研磨パッド:軟質ポリシャ(スウェードタイプ)
研磨液:コロイダルシリカ砥粒(平均粒径100nm)と水
加工圧力:50〜100g/cm2
加工時間:60分
超精密研磨終了後、ガラス基板を希フッ酸液中に浸漬させてコロイダルシリカ砥粒を除去する洗浄を行った。その後、ガラス基板の主表面及び端面に対してスクラブ洗浄を行い、その後純水によるスピン洗浄、及びスピン乾燥を行って、表面が研磨加工されたガラス基板1を40枚準備した。これら40枚の基板の主表面に対して原子間力顕微鏡によって一辺が10μmの正方形の算出領域での二乗平均平方根粗さRqを測定したところ、全ての基板において0.25nm以下であった。
なお、各等高線分布図の等高線は25nm刻みとなっており、各等高線分布図の横軸と縦軸は表面形状測定装置で付与したピクセル番号であり、(b)、(c)、(b’)、(c’)の縦軸は、高さを表し、その単位はμmである(以降の各図面も同様。)。
次に、この各実施例のマスクブランク用基板A1(実施例1)、A2(実施例2)、A3(実施例3)、A4(実施例4)を用いて、以下の手順で各実施例のハーフトーン型位相シフトマスク用マスクブランクをそれぞれ製造した。同様に、各比較例の基板B1(比較例1)、B2(比較例2)を用いて、各比較例のハーフトーン型位相シフトマスク用マスクブランクをそれぞれ製造した。
次に、実施例1、2、3、4および比較例1、2の各マスクブランク上の薄膜に対してパターン形成を行ってハーフトーン型位相シフトマスク(転写マスク)を製造した。転写用マスクの製造工程については、上記[転写用マスクの製造方法及び転写用マスク]で記載した方法と同様であるので説明は省略する。
以上の手順を経て作成された実施例1、2、3、4および比較例1、2の各ハーフトーン型位相シフトマスクに対し、AIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて波長193nmの露光光を用いる高NA(液浸露光)の露光条件で、ウェハ上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、実施例1、2、3、4の各ハーフトーン型位相シフトマスクの場合は、露光転写像の解像性が高く、またフォーカスエラーに起因すると思われるパターンの欠落等も見つからなかった。これらの結果から実施例1、2、3、4のハーフトーン型位相シフトマスクを露光装置のマスクステージにセットし、ウェハ上のレジスト膜に露光転写したとしても、フォーカスエラーが発生していないことが確認できたといえる。
Claims (10)
- 対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクの製造に用いられるマスクブランク用基板であって、
前記基板は、前記一方の主表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定し、基準平面からの高さを全ての前記特定点で取得し、前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出したとき、前記算出された距離が0.2μm未満であることを特徴とするマスクブランク用基板。 - 前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする請求項1記載のマスクブランク用基板。
- 前記基準平面は、前記基板の一方の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする請求項1または2に記載のマスクブランク用基板。
- 前記一方の主表面は、二乗平均平方根粗さRqが0.25nm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のマスクブランク用基板。
- 請求項1から4のいずれかに記載のマスクブランク用基板の前記一方の主表面に前記転写パターン形成用の薄膜を備えることを特徴とするマスクブランク。
- 対向する1組の主表面を有する基板の一方の主表面に転写パターン形成用の薄膜が設けられたマスクブランクであって、
前記マスクブランクは、前記薄膜の表面に対し、前記基板の中心を基準とする一辺が146mmの正方形の領域である算出領域を設定し、前記算出領域における4つの隅部のそれぞれに特定点を設定し、基準平面からの高さを全ての前記特定点で取得し、前記全ての特定点のうち3つの特定点を通る仮想平面を設定し、残りの特定点を通りかつ前記基準平面に垂直である垂線と前記仮想平面との交点を設定し、前記残りの特定点と前記交点との距離を算出したとき、前記算出された距離が0.2μm未満であることを特徴とするマスクブランク。 - 前記薄膜の表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して前記測定点の前記基準平面からの高さを取得したとき、前記算出領域内の前記特定点および前記測定点における前記基準平面からの高さの最高値から最低値を差し引いた差が0.2μmよりも大きいことを特徴とする請求項6記載のマスクブランク。
- 前記基準平面は、前記薄膜の主表面の前記算出領域内に測定点を複数設定して表面形状測定装置で測定することによって得られた前記表面形状測定装置の参照平面を基準とする前記測定点の高さ情報に基づいて最小二乗法により近似した最小二乗平面であることを特徴とする請求項6または7に記載のマスクブランク。
- 請求項5から8のいずれかに記載のマスクブランクの前記薄膜に転写パターンが設けられていることを特徴とする転写用マスク。
- 請求項9記載の転写用マスクを露光装置のマスクステージにセットし、リソグラフィ法により前記転写用マスクの転写パターンを半導体基板上に転写することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006133629A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法,マスクブランクスの製造方法,露光用マスクの製造方法,及び,半導体装置の製造方法 |
JP2006176341A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法,マスクブランクスの製造方法,露光用マスクの製造方法,及び,半導体装置の製造方法 |
JP2010078769A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | フォトマスクブランクスの選択方法及び製造方法並びにフォトマスクの製造方法 |
JP2011141536A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | フォトマスク用ガラス基板及びその製造方法 |
JP2012185505A (ja) * | 2005-09-30 | 2012-09-27 | Hoya Corp | フォトマスクブランクの製造方法及びフォトマスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2012208509A (ja) * | 2012-06-14 | 2012-10-25 | Hoya Corp | マスクブランク用基板、マスクブランク、フォトマスク及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2012256066A (ja) * | 2008-11-26 | 2012-12-27 | Hoya Corp | マスクブランク用基板 |
JP2014038333A (ja) * | 2004-09-29 | 2014-02-27 | Hoya Corp | マスクブランク用基板、マスクブランク、露光用マスク、半導体デバイスの製造方法、及びマスクブランク用基板の製造方法 |
JP2014149351A (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-21 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、多層反射膜付き基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法 |
JP2014209200A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-11-06 | Hoya株式会社 | マスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法 |
JP2016048379A (ja) * | 2012-03-28 | 2016-04-07 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、透過型マスクブランク、反射型マスクブランク、透過型マスク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2017182055A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-10-05 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用基板およびマスクブランク |
JP6293986B1 (ja) * | 2016-07-27 | 2018-03-14 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、マスクブランク用基板、マスクブランク及び転写用マスク |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4219718B2 (ja) | 2003-03-28 | 2009-02-04 | Hoya株式会社 | Euvマスクブランクス用ガラス基板の製造方法及びeuvマスクブランクスの製造方法 |
JP4314462B2 (ja) | 2003-07-25 | 2009-08-19 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランク用基板の製造方法 |
JP4979941B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2012-07-18 | Hoya株式会社 | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法 |
JP2009272387A (ja) | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Canon Inc | 走査露光装置及びデバイス製造方法。 |
JP5222660B2 (ja) | 2008-08-07 | 2013-06-26 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、フォトマスクの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
JP5683930B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2015-03-11 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、転写用マスク及び半導体デバイスの製造方法 |
JP5937409B2 (ja) * | 2011-04-13 | 2016-06-22 | Hoya株式会社 | フォトマスク用基板、フォトマスク、フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 |
JP2011207757A (ja) | 2011-04-25 | 2011-10-20 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、反射型マスクブランクスの製造方法、露光用マスクの製造方法、反射型マスクの製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
WO2012157629A1 (ja) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、反射型マスクブランク、転写マスク、及び反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
TWI591423B (zh) * | 2013-06-21 | 2017-07-11 | Hoya Corp | A mask base substrate, a mask base, a transfer mask, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing the semiconductor device |
JP6308039B2 (ja) | 2014-06-13 | 2018-04-11 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法 |
JP6256422B2 (ja) | 2014-08-07 | 2018-01-10 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用ガラス基板 |
US10948814B2 (en) | 2016-03-23 | 2021-03-16 | AGC Inc. | Substrate for use as mask blank, and mask blank |
-
2017
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-
2018
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014038333A (ja) * | 2004-09-29 | 2014-02-27 | Hoya Corp | マスクブランク用基板、マスクブランク、露光用マスク、半導体デバイスの製造方法、及びマスクブランク用基板の製造方法 |
JP2006133629A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法,マスクブランクスの製造方法,露光用マスクの製造方法,及び,半導体装置の製造方法 |
JP2006176341A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法,マスクブランクスの製造方法,露光用マスクの製造方法,及び,半導体装置の製造方法 |
JP2012185505A (ja) * | 2005-09-30 | 2012-09-27 | Hoya Corp | フォトマスクブランクの製造方法及びフォトマスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2010078769A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | フォトマスクブランクスの選択方法及び製造方法並びにフォトマスクの製造方法 |
JP2012256066A (ja) * | 2008-11-26 | 2012-12-27 | Hoya Corp | マスクブランク用基板 |
JP2011141536A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | フォトマスク用ガラス基板及びその製造方法 |
JP2016048379A (ja) * | 2012-03-28 | 2016-04-07 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、透過型マスクブランク、反射型マスクブランク、透過型マスク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2012208509A (ja) * | 2012-06-14 | 2012-10-25 | Hoya Corp | マスクブランク用基板、マスクブランク、フォトマスク及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2014149351A (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-21 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、多層反射膜付き基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法 |
JP2014209200A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-11-06 | Hoya株式会社 | マスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法 |
JP2017182055A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-10-05 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用基板およびマスクブランク |
JP6293986B1 (ja) * | 2016-07-27 | 2018-03-14 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、マスクブランク用基板、マスクブランク及び転写用マスク |
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