JP2018098846A - モーター制御装置、ミシン及び電子部品実装装置 - Google Patents
モーター制御装置、ミシン及び電子部品実装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018098846A JP2018098846A JP2016239066A JP2016239066A JP2018098846A JP 2018098846 A JP2018098846 A JP 2018098846A JP 2016239066 A JP2016239066 A JP 2016239066A JP 2016239066 A JP2016239066 A JP 2016239066A JP 2018098846 A JP2018098846 A JP 2018098846A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- control device
- disturbance
- motor control
- motors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D05—SEWING; EMBROIDERING; TUFTING
- D05B—SEWING
- D05B69/00—Driving-gear; Control devices
- D05B69/10—Electrical or electromagnetic drives
- D05B69/12—Electrical or electromagnetic drives using rotary electric motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P5/00—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P5/00—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors
- H02P5/46—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors for speed regulation of two or more dynamo-electric motors in relation to one another
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0406—Drive mechanisms for pick-and-place heads, e.g. details relating to power transmission, motors or vibration damping
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/12—Observer control, e.g. using Luenberger observers or Kalman filters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Control Of Multiple Motors (AREA)
- Sewing Machines And Sewing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
【解決手段】同期的に駆動する二つのモーター105,109に対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する仮想モード制御を行なうモーター制御装置10において、二つのモーター105,109の内の一方のモーター105への入力に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第一の外乱オブザーバー11と、差動モードの指令値に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第二の外乱オブザーバー12とを備えることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
例えば、電子部品搭載装置に用いられる従来のガントリ型XY位置決め装置は、ヘッドのY軸方向への移動に左右1対の平行に配置されたY軸駆動部を持ち、その上に設置されたX軸駆動部でヘッドのX軸方向への移動を行なう構成を採っている。
そして、X軸駆動部と、二つのY軸駆動部は、それぞれ、回転型モーター+タイミングベルト(チェーン)又はボールねじ等により構成され、各軸駆動部のモーターは、指令発生部より各モーター制御部に受けた指令に基づき、モーター制御をして位置決めが行なわれる。
しかしながら、二つのY軸駆動部は、X軸駆動部を介してヘッドを搬送するので、ヘッドのX軸方向の移動により重心が移動して、二つのY軸駆動部のモーターが受ける負荷のバランスが変化することが原因となり、左右のY軸駆動部で偏差が発生してしまい、位置決め精度や位置決め時間に悪影響を与えるという問題点を生じていた。
これにより、二つのモーターに個別に生じる外乱の影響を抑制しつつ、二つのモーターの偏差の低減を図っていた。
一方、外乱オブザーバーのゲインを高くすると、共振周波数が低い駆動系では、振動が発生しやすくなるという欠点がある。
そして、二つのモーターを制御する上記従来のモーター制御装置では、二つのモーターのそれぞれの外乱オブザーバーのゲインの差が大きくなると、外乱が生じたときに偏差が大きくなってしまうことから、片方のモーターの外乱オブザーバーのゲインのみを低くすることができず、両方のゲインを低くしなければならないので、外乱に対する影響を十分に抑えることができないという問題があった。
同期的に駆動する二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する仮想モード制御を行なうモーター制御装置において、
前記二つのモーターの内の一方のモーターへの入力に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第一の外乱オブザーバーと、
前記差動モードの指令値に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第二の外乱オブザーバーとを備えることを特徴とする。
請求項1記載のモーター制御装置と、
同期的に駆動する二つのモーターとを備え、
前記モーター制御装置が前記二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する前記仮想モード制御を行なうことを特徴とする。
請求項1記載のモーター制御装置と、
同期的に駆動する二つのモーターとを備え、
前記モーター制御装置が前記二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する前記仮想モード制御を行なうことを特徴とする。
このため、一方のモーターと他方のモーターとに対して同期制御を行う場合、二軸の偏差が0となるように、差動モード位置指令には0が入力されるので、第二の外乱オブザーバーに入力される値は全体的に小さくなる。このため、第二の外乱オブザーバーのオブザーバーゲインの値を従来よりも大きく設定しても、他方のモーター側での振動の発生を抑制することができる。
このため、一方のモーターを他方のモーターよりも共振周波数の高い振動系とした場合に、第一の外乱オブザーバーのオブザーバーゲインを第二の外乱オブザーバーのオブザーバーゲインに合わせて小さくする必要がなく、それぞれのゲインの値をより大きく設定することが可能となる。
これにより、モーター制御装置は、一方のモーターと他方のモーターのそれぞれの駆動系について振動を抑えつつも、外乱の影響を収束し、ロバスト性の向上を図ることが可能となる。
発明の実施形態としてモーター制御装置10を搭載したミシン100を例示する。
このミシン100は、図1に示すように、下端部で縫い針101を保持した針棒102を上下動させるクランク機構からなる針棒上下動機構103と、針棒上下動機構103に動力を付与する上軸104と、上軸104の回転駆動を行う上モーター105と、下降した縫い針101から上糸を捕捉する剣先を備えた釜106と、釜106に回転力を付与する下軸107と、下軸107と釜106との間に設けられた伝達機構108と、下軸107の回転駆動を行う下モーター109とを備えており、モーター制御装置10は上モーター105及び下モーター109の同期駆動制御を行っている。
釜106は、上述のように、針棒102の上下の往復動作に対して二倍速で回転し、下降した縫い針101に対して正確なタイミングで剣先がその横を通過しないと、上糸を捕捉することができない。
そして、上軸104と下軸107とは、いずれも水平且つ平行に配置されており、これらは、同期回転が行われる。
これらにより、上モーター105と下モーター109とは、同期的に回転し、より偏差が小さくなる様に回転駆動を行うことが要求される。
従って、モーター制御装置10は、外乱によるトルク変動の影響を抑えつつ、上モーター105と下モーター109の偏差がより小さくなるように同期制御を行う必要がある。
ミシン100は、その全体構成を制御するための図示しない主制御装置を備え、モーター制御装置10は主制御部から入力される位置指令に従って上モーター105と下モーター109とを同期的に制御する。
また、上モーター105と下モーター109とには、それぞれ、その出力軸に軸角度を検出するロータリーエンコーダー110,111が装備されており、検出した軸角度がモーター制御装置10に入力される。
即ち、符号Ktは各モーター105,109のトルク定数であり、Jmはモーターイナーシャ、Jlは負荷イナーシャ(針棒上下動機構103や伝達機構108等)を示す。
また、τdismは外乱トルク、τreacは上軸104又は下軸107から受ける捻れ反力によるトルクであり、τdisはこれらの合計となる負荷トルクである。
なお、添え字“1”は上モーター105に関するパラメータであることを示し、添え字“2”は下モーター109に関するパラメータであることを示す。以下に説明する各種のパラメータについて同様である。
また、各ロータリーエンコーダー110,111の下流側(図2における右側)はモーター負荷を示している。即ち、符号Kfは上軸104又は下軸107の軸捻れによるバネ定数を示している。
また、τdislは外乱トルク、θlは上軸104又は下軸107の下流側の端部の軸位置(軸角度)を示している。
モーター制御装置10による制御系は、図2に示すように、上モーター105と下モーター109の二軸に対する個別の指令値を取り扱う実空間Sと、上モーター105と下モーター109の二軸に対する総和となる和動モード位置指令と二軸の差となる差動モード位置指令とにより二軸を仮想和動軸及び仮想差動軸として扱う仮想空間Vとから構成される。
なお、添え字“com”は和動モードを、添え字“dif”は差動モードを表わしている。以下に説明する各種のパラメータについて同様である。
上式(6)におけるθ^・・ disは、上記第二の外乱オブザーバー12が出力する補償値としての推定加速度補償値である。
なお、添え字の“^”は推定値を示す。以下、他のパラメータについても同様である。
上記第二の外乱オブザーバー12には、差動モード加速度参照値θ・・dif refと上モーター105の速度応答値θ・ m1と下モーター109の速度応答値θ・ m2の速度偏差θ・dif mとが入力され、推定加速度補償値θ^・・ disが出力され、差動モード加速度参照値θ・・dif refに加算される。
第二の外乱オブザーバー12により求められた推定加速度補償値θ^・・ disは差動モード加速度指令θ・・dif cmdに加算される。
なお、Jm1nは上モーター105のイナーシャのノミナル値であり、Kt1nは上モーター105のトルク定数である。
なお、添え字の“n”はノミナル値を示す。以下、他のパラメータについても同様である。
上記第一の外乱オブザーバー11には、入力電流Iref 1とロータリーエンコーダー110による上モーター105の速度応答値θ・ m1とが入力され、外乱トルクの推定値τ^disが出力される。
上モーター105は、入力電流Iref 1と負荷トルクτdis1との間で次式(9)の関係が成立し、これを負荷トルクτdis1について解くと式(10)となる。
これに対して、第一の外乱オブザーバー11は、次式(11)により負荷トルクの推定値τ^dis1を取得する。なお、式(11)の符号G1はオブザーバーゲインである。
なお、Jm2nは下モーター109のイナーシャのノミナル値であり、Kt2nは下モーター109のトルク定数である。
上記モーター制御装置10では、上モーター105への入力に対して外乱を抑えるための補償値としての負荷トルクの推定値τ^dis1を出力する第一の外乱オブザーバー11と、差動モードの指令値である加速度参照値θ・・dif refに対して外乱を抑えるための補償値としての推定加速度補償値θ^・・ disを出力する第二の外乱オブザーバー12とを備え、上モーター105よりも共振周波数が低い駆動系である下モーター109への入力に対しては外乱オブザーバーを設けない構成としている。
このため、第一の外乱オブザーバー11のオブザーバーゲインG1を第二の外乱オブザーバー12のオブザーバーゲインG2に合わせて小さくする必要がなく、それぞれのゲインの値をより大きく設定することが可能となる。
これにより、モーター制御装置10は、上モーター105と下モーター109のそれぞれの駆動系について振動を抑えつつも、外乱の影響を収束し、ロバスト性の向上を図ることが可能となる。
上記本発明に係るモーター制御装置10と比較例であるモーター制御装置とをそれぞれ使用してミシン100の上モーター105及び下モーター109の同期制御を行った場合に、上モーター105と下モーター109との間に生じる偏差を求めて比較した。
ミシン100は、各モーターの回転数を1000[rpm]とし、縫いピッチを4[mm]として、ビニールレザーに対して縫製を行った。
従って、共振周波数が低い下モーター109の駆動系において振動が発生してしまうので、第二の外乱オブザーバーのオブザーバーゲインG2は0[rad/s]に設定した。
また、第一の外乱オブザーバー11のオブザーバーゲインG1は100[rad/s]に設定した。
また、図5及び図6における着色部は、外乱が大きくなる針刺し区間を示している。
これらにより、本発明に係るモーター制御装置10では、第二の外乱オブザーバー12のオブザーバーゲインG2を比較例よりも高く設定した場合でも振動が発生せず、また、これにより、動作全体において生じる偏差を-3.42〜+2.43°(偏差幅5.85°)とし、針刺し時の偏差を+0.95〜+1.65°(偏差幅0.70°)とすることができる。
これに対して、比較例では、動作全体において生じる偏差を-3.25〜+3.77°(偏差幅7.02°)とし、針刺し時の偏差を+0.94〜+3.06°(偏差幅2.12°)となった。
これらから分かるように、本発明に係るモーター制御装置10は、動作全体に渡って偏差を低減することができ、特に、外乱の影響が大きくなる場合により効果的に偏差を低減することが可能である。
図7は電子部品実装装置200の斜視図である。図7において、水平面において互いに直交する二方向をそれぞれX軸方向とY軸方向とし、これらに直交する鉛直方向をZ軸方向というものとする。
また、基板搬送手段230は、搭載ヘッド260により電子部品を基板Pへ実装するため、所定の部品実装位置において基板Pの搬送を停止し、基板Pを支持することも行う。
フィーダ収納部240は、基台220上に設けられている。フィーダ収納部240は、電子部品供給装置210がその長手方向を基板Pの搬送方向と直交し、複数の電子部品供給装置210が並列するように着脱自在に備えられるようになっている(図7では電子部品供給装置210を一つのみ図示)。
搭載ヘッド260は、X軸ガイド部材273に備えられており、バキュームエアにより電子部品を吸着する吸着ノズルを有している。この吸着ノズルは、吸着保持する電子部品の大きさや形状に応じて交換できるように、着脱可能に備えられている。
X軸移動手段271は、X軸方向に沿った状態でY軸移動手段274に支持された梁状のX軸ガイド部材272と、ベルト機構を介してX軸ガイド部材273に沿って搭載ヘッド260を搬送するX軸モーター273とを備えている。
従って、主制御装置は、X軸モーター273と第一及び第二のY軸モーター277,278を制御して、各電子部品供給装置210の電子部品受け取り位置と基板Pの実装目的位置とに搭載ヘッド260の吸着ノズルを自在に位置決めし、電子部品に実装動作を行っている。
一方で、搭載ヘッド260の移動によるX軸ガイド部材272の重心位置の変動や外乱の影響により、第一のY軸モーター277と第二のY軸モーター278との間で偏差が生じる場合がある。
これにより、第一のY軸モーター277及び第二のY軸モーター278に対して同期制御を行う場合、二軸の偏差が0となるように制御しつつも、第一のY軸モーター277及び第二のY軸モーター278のそれぞれの駆動系について振動の発生を低減し、外乱の影響を収束し、ロバスト性の向上を図ることが可能となる。
従って、電子部品実装装置200は、精度良く電子部品の実装動作を行うことが可能となる。
なお、上記モーター制御装置10では、速度制御としてP制御を行っているが、PI制御、PD制御、PID制御を行う構成としても良い。
また、回転型モーターに限らず、リニアモーターの同期制御にも適用可能である。
11 第一の外乱オブザーバー
12 第二の外乱オブザーバー
100 ミシン
104 上軸
105 上モーター
107 下軸
109 下モーター
110,111 ロータリーエンコーダー
200 電子部品実装装置
277 第一のY軸モーター
278 第二のY軸モーター
G1,G2 オブザーバーゲイン
S 実空間
V 仮想空間
θ^・・ dis 推定加速度補償値
θ・・com ref 和動モード加速度参照値
θ・・dif cmd 差動モード加速度指令
θ・・dif ref 差動モード加速度参照値
θ・・ref m1 加速度参照値
θ・・ref m2 加速度参照値
θ・com cmd 和動モード速度指令
θ・dif cmd 差動モード速度指令
θ・dif m 速度偏差
θ・ m 速度応答値
θ・ m1 速度応答値
θ・ m2 速度応答値
θcom cmd 和動モード位置指令
θdif cmd 差動モード位置指令
θm 位置応答値
τ^dis 推定値
τ^dis1 推定値
τdis1 負荷トルク
Claims (3)
- 同期的に駆動する二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する仮想モード制御を行なうモーター制御装置において、
前記二つのモーターの内の一方のモーターへの入力に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第一の外乱オブザーバーと、
前記差動モードの指令値に対して外乱を抑えるための補償値を出力する第二の外乱オブザーバーとを備えることを特徴とするモーター制御装置。 - 請求項1記載のモーター制御装置と、
同期的に駆動する二つのモーターとを備え、
前記モーター制御装置が前記二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する前記仮想モード制御を行なうことを特徴とするミシン。 - 請求項1記載のモーター制御装置と、
同期的に駆動する二つのモーターとを備え、
前記モーター制御装置が前記二つのモーターに対して、2次アダマール行列に基づいて和動モードと差動モードに分解する前記仮想モード制御を行なうことを特徴とする電子部品実装装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016239066A JP6841643B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | モーター制御装置、ミシン及び電子部品実装装置 |
CN201711294073.6A CN108233777B (zh) | 2016-12-09 | 2017-12-08 | 电动机的控制装置、缝纫机及电子部件安装装置 |
DE102017129389.2A DE102017129389A1 (de) | 2016-12-09 | 2017-12-11 | Motorsteuereinrichtung, Nähmaschine und Elektrokomponenten-Montagevorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016239066A JP6841643B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | モーター制御装置、ミシン及び電子部品実装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018098846A true JP2018098846A (ja) | 2018-06-21 |
JP6841643B2 JP6841643B2 (ja) | 2021-03-10 |
Family
ID=62201529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016239066A Active JP6841643B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | モーター制御装置、ミシン及び電子部品実装装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6841643B2 (ja) |
CN (1) | CN108233777B (ja) |
DE (1) | DE102017129389A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020127677A (ja) * | 2019-02-12 | 2020-08-27 | Juki株式会社 | ミシンの制御方法及びミシンの制御装置 |
JPWO2020225978A1 (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112994532B (zh) * | 2021-04-27 | 2021-11-02 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一体化多轴同步运动控制系统及同步控制方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0392A (ja) * | 1989-05-26 | 1991-01-07 | Juki Corp | ミシン |
JP2005332191A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 移動体位置制御装置及びこの制御装置を用いたステージ装置 |
JP2007018439A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Juki Corp | ガントリ型xy位置決め装置 |
JP2007236185A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-09-13 | Juki Corp | 位置決め装置の同期防振制御装置 |
JP2008289312A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Fujitsu Ltd | 複数軸同期制御システムおよび複数軸同期制御方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5241413B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-17 | Juki株式会社 | ガントリ型xy位置決め装置の同期防振制御装置 |
JP5588139B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2014-09-10 | Juki株式会社 | 位置決め装置の同期防振制御装置 |
JP6183554B2 (ja) * | 2014-06-06 | 2017-08-23 | 株式会社明電舎 | 周期外乱自動抑制装置 |
-
2016
- 2016-12-09 JP JP2016239066A patent/JP6841643B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-08 CN CN201711294073.6A patent/CN108233777B/zh active Active
- 2017-12-11 DE DE102017129389.2A patent/DE102017129389A1/de active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0392A (ja) * | 1989-05-26 | 1991-01-07 | Juki Corp | ミシン |
JP2005332191A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 移動体位置制御装置及びこの制御装置を用いたステージ装置 |
JP2007018439A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Juki Corp | ガントリ型xy位置決め装置 |
JP2007236185A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-09-13 | Juki Corp | 位置決め装置の同期防振制御装置 |
JP2008289312A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Fujitsu Ltd | 複数軸同期制御システムおよび複数軸同期制御方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020127677A (ja) * | 2019-02-12 | 2020-08-27 | Juki株式会社 | ミシンの制御方法及びミシンの制御装置 |
JPWO2020225978A1 (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | ||
WO2020225978A1 (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | モータ制御システム、モータ制御方法、及びプログラム |
JP7454767B2 (ja) | 2019-05-09 | 2024-03-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | モータ制御システム、モータ制御方法、及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108233777A (zh) | 2018-06-29 |
JP6841643B2 (ja) | 2021-03-10 |
DE102017129389A1 (de) | 2018-06-14 |
CN108233777B (zh) | 2023-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108233777B (zh) | 电动机的控制装置、缝纫机及电子部件安装装置 | |
JP2015231663A (ja) | 多数の要素システムを制御調節する装置および方法 | |
JP6064723B2 (ja) | 歯車加工装置 | |
JP5084232B2 (ja) | 位置決め装置の同期防振制御装置 | |
US6633143B2 (en) | Reactionless rotary drive mechanism | |
JP2013065742A (ja) | 部品実装装置 | |
JP5241413B2 (ja) | ガントリ型xy位置決め装置の同期防振制御装置 | |
TWI765916B (zh) | 元件取置裝置及其驅動方法 | |
JP5155785B2 (ja) | 作動制御方法および対回路基板作業装置 | |
EP4140603A1 (en) | Vibration generating device, control method for vibration generating device, and pickup system | |
CN112748702B (zh) | 振动抑制方法和振动抑制装置 | |
JP2000069782A (ja) | 直線方向駆動装置 | |
JP2000069781A (ja) | 直線方向駆動機構の制御装置 | |
JP2013132698A (ja) | 直動ロボット | |
JP2001290541A (ja) | 産業用機械の加減速方法 | |
JPH05138556A (ja) | ヘツド部駆動機構 | |
JP2013132697A (ja) | 直動ロボット | |
JP6010435B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6506370B2 (ja) | 機械部分の不所望な回転を低減するための装置を備えた機械 | |
JP2009241168A (ja) | 部品把持装置とその方法 | |
JP3109489B2 (ja) | 多軸駆動機構 | |
US20230382659A1 (en) | Vibration generating apparatus and pickup system | |
JP2002168317A (ja) | ボールねじ駆動装置 | |
JP2014121788A (ja) | ロボット、およびロボットシステム | |
JP2008155350A (ja) | 精密加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6841643 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |