JP2018098306A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018098306A5 JP2018098306A5 JP2016239776A JP2016239776A JP2018098306A5 JP 2018098306 A5 JP2018098306 A5 JP 2018098306A5 JP 2016239776 A JP2016239776 A JP 2016239776A JP 2016239776 A JP2016239776 A JP 2016239776A JP 2018098306 A5 JP2018098306 A5 JP 2018098306A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relative position
- control unit
- substrate
- drives
- imprint material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016239776A JP6755168B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | インプリントシステム、レプリカ製造装置、管理装置、インプリント装置、および物品製造方法 |
| PCT/JP2017/042311 WO2018105418A1 (ja) | 2016-12-09 | 2017-11-27 | インプリントシステム、および物品製造方法 |
| KR1020197019699A KR102204105B1 (ko) | 2016-12-09 | 2017-11-27 | 임프린트 시스템 및 물품 제조 방법 |
| TW106142506A TWI641027B (zh) | 2016-12-09 | 2017-12-05 | Imprinting system and article manufacturing method |
| US16/432,173 US11235495B2 (en) | 2016-12-09 | 2019-06-05 | Imprint system and article manufacturing meihod |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016239776A JP6755168B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | インプリントシステム、レプリカ製造装置、管理装置、インプリント装置、および物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018098306A JP2018098306A (ja) | 2018-06-21 |
| JP2018098306A5 true JP2018098306A5 (enExample) | 2020-01-23 |
| JP6755168B2 JP6755168B2 (ja) | 2020-09-16 |
Family
ID=62491148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016239776A Active JP6755168B2 (ja) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | インプリントシステム、レプリカ製造装置、管理装置、インプリント装置、および物品製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11235495B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6755168B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102204105B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI641027B (enExample) |
| WO (1) | WO2018105418A1 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3650224B1 (de) * | 2018-11-09 | 2023-06-21 | Phoenix Contact GmbH & Co. KG | Vorrichtung und verfahren zum bedrucken eines artikels |
| JP7190942B2 (ja) * | 2019-03-08 | 2022-12-16 | キヤノン株式会社 | インプリントシステム、管理装置、および物品製造方法 |
| JP2022142518A (ja) | 2021-03-16 | 2022-09-30 | キオクシア株式会社 | テンプレート、マーク、及びテンプレートの製造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US736085A (en) | 1902-10-15 | 1903-08-11 | Carroll W Kjelgaard | Combination shade and curtain bracket. |
| US7360851B1 (en) | 2006-02-15 | 2008-04-22 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Automated pattern recognition of imprint technology |
| JP2010052175A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | ナノインプリント用マスターモールドの製造方法およびレプリカモールドの製造方法 |
| EP2256549A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-01 | Obducat AB | Fabrication of Metallic Stamps for Replication Technology |
| JP2012190877A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Fujifilm Corp | ナノインプリント方法およびそれに用いられるナノインプリント装置 |
| JP2012234901A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Toshiba Corp | インプリント装置の動作方法及びインプリント用テンプレートの管理装置の動作方法 |
| JP6053266B2 (ja) * | 2011-09-01 | 2016-12-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法及びインプリント方法 |
| JP2013074115A (ja) | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Fujifilm Corp | ナノインプリント装置およびナノインプリント方法、並びに、歪み付与デバイスおよび歪み付与方法 |
| JP5935385B2 (ja) | 2012-02-27 | 2016-06-15 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用レプリカテンプレートの製造方法及びレプリカテンプレート |
| JP5942551B2 (ja) * | 2012-04-03 | 2016-06-29 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用マスターテンプレート及びレプリカテンプレートの製造方法 |
| JP6478565B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2019-03-06 | キヤノン株式会社 | インプリントシステム及び物品の製造方法 |
| JP6438332B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | インプリントシステム、および物品の製造方法 |
| JP6138189B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2017-05-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
-
2016
- 2016-12-09 JP JP2016239776A patent/JP6755168B2/ja active Active
-
2017
- 2017-11-27 KR KR1020197019699A patent/KR102204105B1/ko active Active
- 2017-11-27 WO PCT/JP2017/042311 patent/WO2018105418A1/ja not_active Ceased
- 2017-12-05 TW TW106142506A patent/TWI641027B/zh active
-
2019
- 2019-06-05 US US16/432,173 patent/US11235495B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CL2019001323A1 (es) | Sensor de presión para un dispositivo de suministro de aerosol. | |
| WO2017158595A9 (en) | Position encoder | |
| MX383660B (es) | Método para la fabricación de un dispositivo de medición de tensión, un dispositivo de medición de tensión y el uso del dispositivo. | |
| IL250472B (en) | Metrology testing structure and measuring method for structures with a template | |
| BR112017011198A2 (pt) | composição farmacêutica ou nutracêutica com resistência contra a influência do etanol. | |
| BR112017017537A2 (pt) | método e dispositivo de posicionamento para determinar a posição de um veículo guiado por carril, em particular, um veículo ferroviário | |
| JP2018098306A5 (enExample) | ||
| JP2018105709A5 (enExample) | ||
| JP2016533620A5 (enExample) | ||
| JP2015118080A5 (enExample) | ||
| EP3559597A4 (en) | PACKAGING DEVICE ALLOWING THE MEASUREMENT OF MOVEMENT IN A MANUFACTURING | |
| EP3511675A4 (en) | DEVICE FOR MEASURING THE BARRIER VALVE | |
| FR3018115B1 (fr) | Capteur a influence reduite pour la mesure d’un flux thermique | |
| CN302349725S (zh) | 游标卡尺 | |
| JP1636363S (ja) | レーダ装置 | |
| CN302567819S (zh) | 包装盒(普通铁盒-阿胶片) | |
| CN302550261S (zh) | 气体流量校准仪 | |
| CN302393022S (zh) | 打印机 | |
| CN302151928S (zh) | 包装盒 | |
| CN302488476S (zh) | 秤 | |
| CN302009194S (zh) | 压力传感器 | |
| CN302321003S (zh) | 刻度尺 | |
| CN302321002S (zh) | 刻度尺 | |
| CN302230800S (zh) | 卷尺 | |
| CN302371246S (zh) | 三角刻度尺 |