JP2018085365A - バルブユニットおよび基板処理装置 - Google Patents
バルブユニットおよび基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018085365A JP2018085365A JP2016225882A JP2016225882A JP2018085365A JP 2018085365 A JP2018085365 A JP 2018085365A JP 2016225882 A JP2016225882 A JP 2016225882A JP 2016225882 A JP2016225882 A JP 2016225882A JP 2018085365 A JP2018085365 A JP 2018085365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving force
- movable member
- flow path
- valve
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 51
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 45
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 24
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 24
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 42
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 16
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
<1.1 塗布装置1の全体構成>
図1は、塗布装置1の概略構成図である。図2は、ノズル移動機構の構成を示す上面図である。
図3は、バルブユニット100の構成を概略的に示す図である。図4は、開閉弁35の各構成のうちリミットスイッチ69側の部分を示す斜視図である。図5は、可動部材60が移動する様子を示す平面図である。図6は、サックバック弁47の各構成のうちリミットスイッチ79側の部分を示す斜視図である。図7は、可動部材70が移動する様子を示す平面図である。
次に、塗布装置1の動作例について説明する。以下の動作は、制御部51が塗布装置1の各部を制御することにより実行される。なお、処理の開始時には、ポンプ39の動作が停止されており、開閉弁35は閉状態になっている。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
11 ノズル
31 配管
33 送給部
35 開閉弁
43 メインフィルタ
45 2次フィルタ
47 サックバック弁
51 制御部
63、73 ダイヤフラム
64 上流側流路
65 下流側流路
66、76 電動モータ
67、68、77、78 駆動部
69、79 リミットスイッチ
74 サックバック用流路
100 バルブユニット
101 流路
Claims (5)
- 処理液を吐出するノズルに前記処理液を送給する流路と、
前記流路内の容積を変化させるサックバック弁と、
を備え、
前記サックバック弁は、
変形することで前記流路内の容積を変化させるダイヤフラムと、
直線駆動によって前記ダイヤフラムを変形させるピストンと、
ボタン部分を含み、前記ボタン部分が押圧されることによって前記ダイヤフラムの原点位置を示す信号を発信するリミットスイッチと、
前記リミットスイッチに対して当接または離間するように移動可能な可動部材と、
回転駆動力を発生させる電動モータと、
前記回転駆動力を直線駆動力に変換して前記ピストンに伝達し、前記ピストンを直線駆動させることによって前記ダイヤフラムを変形させる第1駆動部と、
前記回転駆動力を直線駆動力に変換して前記可動部材に伝達し、前記可動部材を前記リミットスイッチに対して当接または離間するように直線駆動させる第2駆動部と、
を有し、
前記可動部材の可動範囲は、前記電動モータの1回転に相当する前記可動部材の移動距離よりも大きい、バルブユニット。 - 請求項1に記載のバルブユニットであって、
前記電動モータは両軸モータであり、
前記ダイヤフラム側に位置する第1軸部分は前記第1駆動部に前記回転駆動力を伝達し、反対側に位置する第2軸部分は前記第2駆動部に前記回転駆動力を伝達する、バルブユニット。 - 請求項1または請求項2に記載のバルブユニットであって、
前記流路に沿って前記サックバック弁よりも上流側に位置し、前記流路を開状態または閉状態に切り替える開閉弁、
をさらに備える、バルブユニット。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1つの請求項に記載のバルブユニットと、
基板を保持する基板保持部と、
前記流路に前記処理液を送る送給部と、
前記流路を通じて送られた前記処理液を前記基板に吐出するノズルと、
前記可動部材が前記リミットスイッチの前記ボタン部分を押圧することで前記リミットスイッチが発信する前記ダイヤフラムの原点位置を示す信号に基づいて、前記電動モータの回転駆動を制御する制御部と、
を備える基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置であって、
前記処理液は、前記基板上に塗布膜を形成するための塗布液である、基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016225882A JP6753764B2 (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | バルブユニットおよび基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016225882A JP6753764B2 (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | バルブユニットおよび基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018085365A true JP2018085365A (ja) | 2018-05-31 |
JP6753764B2 JP6753764B2 (ja) | 2020-09-09 |
Family
ID=62238594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016225882A Active JP6753764B2 (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | バルブユニットおよび基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6753764B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020158459A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3053449U (ja) * | 1998-04-22 | 1998-10-27 | 日本アエラ株式会社 | モータで駆動される制御弁の開度出力機構 |
JPH11280654A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Ckd Corp | 振動型ダイヤフラムポンプ |
JP2003049778A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Ckd Corp | 液体供給装置 |
JP2006010037A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Smc Corp | サックバックバルブ |
JP2007023935A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ローリングダイヤフラムポンプ |
JP2008018310A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
JP2009002366A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | サックバックバルブ |
JP2009166473A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-30 | Seiko Epson Corp | 液体供給装置及び液体噴射装置 |
JP2014180604A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Toray Ind Inc | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
JP2016063205A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置 |
JP2016187000A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 |
-
2016
- 2016-11-21 JP JP2016225882A patent/JP6753764B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11280654A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Ckd Corp | 振動型ダイヤフラムポンプ |
JP3053449U (ja) * | 1998-04-22 | 1998-10-27 | 日本アエラ株式会社 | モータで駆動される制御弁の開度出力機構 |
JP2003049778A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Ckd Corp | 液体供給装置 |
JP2006010037A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Smc Corp | サックバックバルブ |
JP2007023935A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ローリングダイヤフラムポンプ |
JP2008018310A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
JP2009002366A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | サックバックバルブ |
JP2009166473A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-30 | Seiko Epson Corp | 液体供給装置及び液体噴射装置 |
JP2014180604A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Toray Ind Inc | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
JP2016063205A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置 |
JP2016187000A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020158459A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置 |
TWI727633B (zh) * | 2019-01-31 | 2021-05-11 | 日商富士金股份有限公司 | 閥裝置、利用該閥裝置之流量控制方法、流體控制裝置、半導體製造方法及半導體製造裝置 |
CN113366253A (zh) * | 2019-01-31 | 2021-09-07 | 株式会社富士金 | 阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置 |
KR20210118163A (ko) * | 2019-01-31 | 2021-09-29 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량 제어방법, 유체 제어장치, 반도체 제조방법, 및 반도체 제조장치 |
JPWO2020158459A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2021-12-02 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置 |
US11598430B2 (en) | 2019-01-31 | 2023-03-07 | Fujikin Incorporated | Valve device, flow rate control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device |
KR102542263B1 (ko) * | 2019-01-31 | 2023-06-13 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량 제어방법, 유체 제어장치, 반도체 제조방법, 및 반도체 제조장치 |
JP7389492B2 (ja) | 2019-01-31 | 2023-11-30 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6753764B2 (ja) | 2020-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101972675B1 (ko) | 도포 장치 | |
US8469285B2 (en) | Chemical liquid supply nozzle and chemical liquid supply method | |
WO2016158032A1 (ja) | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 | |
JP2008062122A (ja) | 除塵装置 | |
JP7014933B2 (ja) | 印刷機械 | |
JP6292615B2 (ja) | 版洗浄装置 | |
JP2018085365A (ja) | バルブユニットおよび基板処理装置 | |
JP2002254378A (ja) | 液中ワーク取り出し装置 | |
JP2004174845A (ja) | インクジェットヘッドのクリーニング装置 | |
US11478810B2 (en) | Nozzle deposit removing device and method of nozzle deposit removal | |
CN110246776B (zh) | 化学液控制阀及基板处理装置 | |
CN102974563B (zh) | 用于可移动兆声晶圆喷头的装置和方法 | |
TWI283441B (en) | Substrate treating device | |
JP2014200748A (ja) | 成膜装置 | |
WO2016194647A1 (ja) | スプレイエッチング装置 | |
WO2017166450A1 (zh) | 喷墨打印头、喷墨打印设备及显示器生产设备 | |
JP2012012647A (ja) | 金属膜形成装置 | |
US11779940B1 (en) | Systems, methods and apparatus for dispensing fluid to an object | |
WO2016088798A1 (ja) | シリンジを用いた処理液供給装置およびウェット処理装置 | |
JP2018011000A (ja) | スプレイエッチング装置 | |
JP4517830B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP2004347513A (ja) | サンプルトランスファ装置 | |
JP2009292010A (ja) | インクジェットヘッドのインク充填装置 | |
US20240157702A1 (en) | Maintenance device, liquid ejecting device, and maintenance method for liquid ejecting device | |
US20230321974A1 (en) | Liquid discharge apparatus and method for controlling liquid discharge apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200728 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200820 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6753764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |