JP2009002366A - サックバックバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本体1と、弁座部23に圧接または離間される第一弁体29と、第二弁室21内の容積を変化させて流体の吸い戻しを行う第二弁体37と、第一弁体29を保持する第一可動部材6と、連結棒によって第一可動部材6と連結された第二弁室21の上方に位置する第二可動部材8と、下端に第二弁体37が接続されるロッド部43を有するピストン7と、を具備し、連結棒によって連結された第一可動部材6および第二可動部材8が所定の力で上方に付勢され、鍔部42が第二可動部材8に当接した状態の時に第二可動部材8に連動可能で、ピストン7が上下動し、第一弁体29が弁座部23に当接離間することで弁の開閉を行い、鍔部42が第二可動部材8から離間することで流体の吸い戻しを行う。
【選択図】図1
Description
(2)バルブの閉止動作の後にサックバック動作が行われることで、一連の動作で流体の閉止とサックバック動作を行うことができるので、バルブの閉止とサックバック動作のタイミングを調整する必要がなく、また、バルブの設置後に動作のタイミングが狂うこともない。
(3)バルブが完全に閉止されるまではサックバック動作が行えない構成であるため、サックバック動作の誤動作が起こることがなく、長期に渡って安定したバルブの閉止動作とサックバック動作を行うことができる。
(4)バルブの開閉を行う第一弁体と、サックバック動作を行う第二弁体とが当接することがないので、発塵が抑制され、半導体の製造における歩留まり低下を抑えることができる。
(5)バルブの開閉のストロークを大きくとる構成にすることができ、バルブ全開時に連通流路を妨げるものがないので大流量を流すことができると共に、バルブ自体をコンパクトに設けることができる。
2 第一ダイヤフラム
3 第二ダイヤフラム
4 第一ダイヤフラム押さえ
5 第二ダイヤフラム押さえ
6 第一可動部材
7 ピストン
8 第二可動部材
9 台座
10 ボンネット
11 第一バネ
12 第二バネ
13 凹部
14 バネ受容部
15 凹部
16 シリンダ部
17 エア供給口
18 入口流路
19 出口流路
20 第一弁室
21 第二弁室
22 連通流路
23 弁座部
24 凹部
25 凹部
26 調整ネジ
27 ロックナット
28 段差部
29 第一弁体
30 膜部
31 周縁部
32 貫通孔
33 鍔部
34 円柱部
35 段差部
36 貫通孔
37 第二弁体
38 膜部
39 周縁部
40 貫通孔
41 貫通孔
42 鍔部
43 ロッド部
44 環状溝
45 環状溝
46 貫通孔
47 連結棒
51 駆動部
52 ステッピングモータ
53 減速機
54 ステム
55 貫通孔
61 駆動部
62 ソレノイド
63 ステム
64 貫通孔
71 駆動部
72 操作レバー
73 接合ピン
74 ステム
75 凹部
76 貫通孔
77 バネ
78 取手部
79 第一当接面
80 第二当接面
81 切欠部
Claims (12)
- 下部に入口流路が連通する第一弁室と上部に出口流路が連通する第二弁室とが設けられ、該第一弁室と該第二弁室とを連通する連通流路の該第一弁室側の開口部周縁部に弁座部が形成された本体と、
該弁座部に圧接または離間される第一弁体と、
該第二弁室内の容積を変化させることにより流体の吸い戻しを行う第二弁体と、
該第一弁室の下方に位置し該第一弁体を保持する第一可動部材と、
該連通流路の外側に配置された連結棒によって該第一可動部材と連結された該第二弁室の上方に位置する第二可動部材と、
該本体上部に配置されたボンネットに内包され、鍔部と該鍔部中央から垂下して下端に該第二弁体が接続されるロッド部を有するピストンと、を具備するサックバックバルブにおいて、
該連結棒によって連結された該第一可動部材および該第二可動部材が所定の力で上方に付勢され、
該ピストンの該鍔部が該第二可動部材と当接可能に設けられ、該鍔部が該第二可動部材に当接した状態の時に該第二可動部材に連動可能で、該ピストンが上下動し、該第一弁体が弁座部に当接離間することで弁の開閉を行い、該鍔部が該第二可動部材から離間することで流体の吸い戻しを行うことを特徴とするサックバックバルブ。 - 前記第一弁体の外径方向に膜部が延設されて第一ダイヤフラムを形成し、該第一ダイヤフラムの周縁部が前記本体と該本体下方に設置された第一ダイヤフラム押さえとで挟持固定されることを特徴とする請求項1記載のサックバックバルブ。
- 前記第二弁体の外径方向に膜部が延設されて第二ダイヤフラムを形成し、該第二ダイヤフラムの周縁部が前記本体と該本体上方に設置された第二ダイヤフラム押さえとで挟持固定されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサックバックバルブ。
- 前記連結棒によって連結された前記第一可動部材および前記第二可動部材を上方に付勢する手段がバネであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のサックバックバルブ。
- 下面が開口された凹部と該凹部天井面中央が開口されたシリンダ部を有するボンネットが前記本体上部に設けられ、
該凹部内に前記第二可動部材が配置され、
前記ピストンの鍔部が該シリンダ部内周面に上下動可能且つ気密状態で摺接され、該ピストンがバネにより所定の力で上方に付勢され、
該ボンネット外表面に該シリンダ部天井面及び内周面と該鍔部上面とで囲まれた空間部に連通されるエアー供給口が設けられたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のサックバックバルブ。 - 前記ボンネット上部に前記シリンダ部天井面を貫通して気密状態で螺着される調節ネジを有することを特徴とする請求項5記載のサックバックバルブ。
- 下面が開口された凹部と該凹部天井面中央が開口されたシリンダ部と該シリンダ部天井面中央を貫通する貫通孔を有するボンネットが前記本体上部に設けられ、
ステムを上下動させる駆動部が該ボンネット上部に設けられ、
該凹部内に前記第二可動部材が配置され、
前記ピストンがバネにより所定の力で上方に付勢され、
該ステムが該ボンネットの貫通孔を貫通して該ステム先端が該ピストンの鍔部上部と当接可能に配置または一体的に接続されてなることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のサックバックバルブ。 - 前記駆動部がステッピングモータと減速機からなることを特徴とする請求項7記載のサックバックバルブ。
- 前記駆動部がソレノイドからなることを特徴とする請求項7記載のサックバックバルブ。
- 前記駆動部が手動にて前記ステムの軸方向に揺動される操作レバーであり、
該操作レバーが前記ボンネット上部を貫通して露出した該ステム上部と連結され、該操作レバーの揺動を該ステムの上下動に変換することを特徴とする請求項7記載のサックバックバルブ。 - 請求項1乃至請求項10のいずれかに記載のサックバックバルブにおいて、半導体製造装置におけるフォトレジスト液を塗布する工程に使用されることを特徴とするサックバックバルブ。
- 請求項1乃至請求項10のいずれかに記載のサックバックバルブにおいて、食品製造装置における飲食流動体を容器に充墳する工程または医薬品製造装置における試薬を容器に注入する工程に使用されることを特徴とするサックバックバルブ。
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