JP2018083252A - 研削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ターンテーブルを独立したモータで駆動することなく、研削装置を軽量化すること。【解決手段】研削装置（１）は、複数のチャックテーブル（９０）を所定位置に位置付けるターンテーブル（９）を備える。各チャックテーブルは、それぞれモータ（９４）を有し、当該モータによって回転駆動される。ターンテーブルには、各モータの駆動力をターンテーブルに伝達可能な伝達機構（９７）が設けられる。ターンテーブルは、伝達機構を介して各モータの駆動力を受けて回転し、各チャックテーブルを所定位置に位置付ける。【選択図】図４

Description

本発明は、ターンテーブル上にチャックテーブルが配設された研削装置に関する。

研削装置には、ターンテーブル上に複数のチャックテーブルを周方向に均等配置したものが存在する（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、各チャックテーブルが、自転可能であると共に、ターンテーブルが回転されることでターンテーブルの中心を軸に公転可能に構成されている。ターンテーブルが所定角度で間欠回転されることにより、各チャックテーブルが所定の位置（例えば、ウエーハを搬入する搬入位置、ウエーハが加工される研削位置）に位置付けられる。

特開２０１４−２３７２１０号公報

ところで、チャックテーブルには、自転を可能にするため、それぞれモータが設けられる。ターンテーブルもまた、回転駆動のためのモータが独立して設けられる。このように、研削装置では、テーブルの数に応じてモータを用意する必要があり、モータの数が増加する結果、研削装置全体として重量が増加してしまうという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ターンテーブルを独立したモータで駆動することなく、軽量化することができる研削装置を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の研削装置は、ウエーハを保持する回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルが保持したウエーハを研削する研削手段と、ウエーハを搬入する搬入位置と研削手段による研削位置とにチャックテーブルを位置付けるターンテーブルと、から少なくとも構成された研削装置であって、ターンテーブルには、チャックテーブルを回転させるモータと、モータの回転力をターンテーブルに伝達するクラッチと、が配設され、ターンテーブルは、モータとクラッチとによって回転し、チャックテーブルを少なくとも搬入位置と研削位置とに位置付ける。

この構成によれば、チャックテーブルを回転させるモータの回転力を、クラッチを介してターンテーブルに伝達することができる。これにより、チャックテーブルのモータでターンテーブルを回転駆動させることができ、チャックテーブルを所望の位置（例えば、搬入位置と研削位置）に位置付けることが可能となる。よって、ターンテーブルを回転させるために別途モータを設ける必要がなく、モータの数を減らすことができる。この結果、装置全体を軽量化することができる。

また、本発明の一態様の上記研削装置において、クラッチは、モータの回転軸に接続する第１の円板と、ターンテーブルを回転可能に支持する支持柱に配設された第２の円板（円弧板）と、第１の円板と第２の円板との間に配設される第３の円板と、第３の円板の外周を第１の円板の外周と第２の円板の外周とに接触させ第１の円板の回転力を第２の円板に伝達させる伝達位置と伝達を解除する解除位置とに位置付ける連結手段と、を備え、ターンテーブルはエアスライダによって支持され、ターンテーブルを回転させる際は、エアスライダにエアを供給してターンテーブルを浮上させると共にクラッチを介してモータの回転力をターンテーブルに伝達させ、ターンテーブルを停止させる際は、エアスライダへのエアの供給を停止してターンテーブルをエアスライダに着座させるとともにクラッチを介してモータの回転力を遮断する。

本発明によれば、ターンテーブルを独立したモータで駆動することなく、装置全体を軽量化することができる。

本実施の形態の係る研削装置の斜視図である。 本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。 本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの断面模式図である。 本実施の形態に係るターンテーブルを回転させるときの動作説明図である。 第１の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。 第２の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。 第３の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係る研削装置は、図１に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄等の一連の動作が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。また、本実施の形態では、加工装置として研削装置を用いた場合について説明するが、これに限定されず、加工装置は、例えば研磨装置であってもよい。

図１に示すように、研削装置１は、被加工物であるウエーハＷに対して搬入処理、研削加工、洗浄処理、搬出処理からなる一連の作業を全自動で実施するように構成されている。ウエーハＷは、略円形に形成されており、カセットＣに収容された状態で研削装置１に搬入される。

なお、ウエーハＷの下面には、ウエーハＷと同径の保護テープ（不図示）が貼着される。また、ウエーハＷは、研削対象となる板状部材であればよく、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の光デバイスウエーハでもよいし、デバイスパターン形成前のアズスライスウエーハでもよい。

研削装置１の基台１１の前側には、複数のウエーハＷが収容された一対のカセットＣが載置されている。一対のカセットＣの後方には、カセットＣに対してウエーハＷを出し入れするカセットロボット１６が設けられている。カセットロボット１６の両斜め後方には、加工前のウエーハＷを位置決めする位置決め機構２１と、加工済みのウエーハＷを洗浄する洗浄機構２６とが設けられている。位置決め機構２１と洗浄機構２６の間には、加工前のウエーハＷをチャックテーブル９０に搬入する搬入手段３１と、チャックテーブル９０から加工済みのウエーハＷを搬出する搬出手段３６とが設けられている。

カセットロボット１６は、多節リンクからなるロボットアーム１７の先端にハンド部１８を設けて構成されている。カセットロボット１６では、カセットＣから位置決め機構２１に加工前のウエーハＷが搬送される他、洗浄機構２６からカセットＣに加工済みのウエーハＷが搬送される。

位置決め機構２１は、仮置きテーブル２２の周囲に、仮置きテーブル２２の中心に対して進退可能な複数の位置決めピン２３を配置して構成される。位置決め機構２１では、仮置きテーブル２２上に載置されたウエーハＷの外周縁に複数の位置決めピン２３が突き当てられることで、ウエーハＷの中心が仮置きテーブル２２の中心に位置決めされる。

搬入手段３１は、基台１１上で旋回可能な搬入アーム３２の先端に搬入パッド３３を設けて構成される。搬入手段３１では、搬入パッド３３によって仮置きテーブル２２からウエーハＷが持ち上げられ、搬入アーム３２によって搬入パッド３３が旋回されることでチャックテーブル９０にウエーハＷが搬入される。

搬出手段３６は、基台１１上で旋回可能な搬出アーム３７の先端に搬出パッド３８を設けて構成される。搬出手段３６では、搬出パッド３８によってチャックテーブル９０からウエーハＷが持ち上げられ、搬出アーム３７によって搬出パッド３８が旋回されることでチャックテーブル９０からウエーハＷが搬出される。

洗浄機構２６は、スピンナーテーブル２７に向けて洗浄水及び乾燥エアを噴射する各種ノズル（不図示）を設けて構成される。洗浄機構２６では、ウエーハＷを保持したスピンナーテーブル２７が基台１１内に降下され、基台１１内で洗浄水が噴射されてウエーハＷがスピンナー洗浄された後、乾燥エアが吹き付けられてウエーハＷが乾燥される。

搬入手段３１及び搬出手段３６の後方には、３つのチャックテーブル９０が周方向に均等間隔で備えられたターンテーブル９が設けられている。チャックテーブル９０の下方にはチャックテーブル９０を回転させる回転手段（図１では不図示）が設けられている。各チャックテーブル９０の上面には、ウエーハＷの下面を保持する保持面が形成されている。

ターンテーブル９が回転することで、チャックテーブル９０に保持されたウエーハＷが搬入及び搬出される搬入出位置、粗研削手段４６に対応する粗研削位置、仕上げ研削手段５１に対応する仕上げ研削位置に順に位置づけられる。なお、ターンテーブル９及びチャックテーブル９０を駆動させる構成については後述する。

また、ターンテーブル９の周囲には、コラム１２、１３が立設されている。コラム１２には、粗研削手段４６を上下動させる移動機構６１が設けられている。移動機構６１は、コラム１２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６２と、一対のガイドレール６２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６３とを有している。

Ｚ軸テーブル６３の前面には、ハウジング６４を介して粗研削手段４６が支持されている。Ｚ軸テーブル６３の背面側にはボールネジ６５が螺合されており、ボールネジ６５の一端にはモータ６６が連結されている。モータ６６によってボールネジ６５が回転駆動され、粗研削手段４６がガイドレール６２に沿ってＺ軸方向に移動される。

同様に、コラム１３には、仕上げ研削手段５１を上下動させる移動機構７１が設けられている。移動機構７１は、コラム１３の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール７２と、一対のガイドレール７２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル７３とを有している。

Ｚ軸テーブル７３の前面には、ハウジング７４を介して仕上げ研削手段５１が支持されている。Ｚ軸テーブル７３の背面側にはボールネジ７５が螺合されており、ボールネジ７５の一端にはモータ７６が連結されている。モータ７６によってボールネジ７５が回転駆動され、仕上げ研削手段５１がガイドレール７２に沿ってＺ軸方向に移動される。

粗研削手段４６及び仕上げ研削手段５１は、円筒状のスピンドルの下端にマウント４７、５２を設けて構成されている。粗研削手段４６では、チャックテーブル９０に保持されたウエーハＷを粗研削する。粗研削手段４６のマウント４７の下面には、複数の粗研削砥石４８が環状に配設された研削ホイール４９が回転可能に装着される。粗研削砥石４８は、例えば、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドやビトリファイドボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成される。

また、仕上げ研削手段５１では、チャックテーブル９０に保持されたウエーハＷを仕上げ研削する。仕上げ研削手段５１のマウント５２の下面には、複数の仕上げ研削砥石５３が環状に配設された仕上げ研削用の加工具としての研削ホイール５４が装着される。仕上げ研削砥石５３は、粗研削砥石４８よりも粒径が細かい砥粒で形成される。粗研削加工及び仕上げ研削加工では、研削砥石４８、５３によってウエーハＷが所定の厚みまで研削されて薄化される。

粗研削位置及び仕上げ研削位置の近傍にはそれぞれ、チャックテーブル９０の保持面高さを測定する第１の測定手段８０と、ウエーハＷの上面高さを測定する第２の測定手段８１とが設けられている。第１の測定手段８０及び第２の測定手段８１は、共に接触式のハイトゲージで構成される。

第１の測定手段８０は、先端の測定子を保持面に接触させて保持面高さを測定する。第２の測定手段８１は、チャックテーブル９０が保持したウエーハＷの上面に測定子を接触させてウエーハＷの上面高さを測定する。保持面高さ及びウエーハＷの上面高さの測定値は、制御手段８２に出力される。

また、研削装置１には、装置各部を統括制御する制御手段８２が設けられている。制御手段８２は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。制御手段８２は、例えば、粗研削手段４６及び仕上げ研削手段５１の研削送り量、研削送り速度等（その他、例えば研削ホイールの回転速度）を制御する。具体的に制御手段８２は、研削加工中、第１の測定手段８０及び第２の測定手段８１の測定値からウエーハＷの厚みをリアルタイムに算出し、ウエーハＷの厚みが仕上げ厚みに達するまで粗研削手段４６及び仕上げ研削手段５１の研削送りを制御する。

このような研削装置１では、カセットＣ内からウエーハＷが位置決め機構２１に搬送されて、位置決め機構２１でウエーハＷがセンタリングされる。次に、チャックテーブル９０上にウエーハＷが搬入され、ターンテーブル９の回転によって、チャックテーブル９０に保持されたサブストレートＳに接着したウエーハＷが粗研削位置、仕上げ研削位置の順に位置づけられる。粗研削位置ではウエーハＷが粗研削加工され、仕上げ研削位置ではウエーハＷが仕上げ研削加工される。そして、洗浄機構２６でウエーハＷが洗浄され、洗浄機構２６からカセットＣへウエーハＷが搬出される。

ところで、一般にターンテーブル上に配置される複数のチャックテーブルは、自転可能であると共に、ターンテーブルが回転されることでターンテーブルの中心を軸に公転可能に構成されている。各チャックテーブルには、それぞれ駆動源となるモータが設けられる。また、ターンテーブルも、チャックテーブルとは別に駆動源となるモータが設けられる。

上記のように、チャックテーブル毎にモータを設けているため、ターンテーブルを回転させるモータは、ターンテーブルだけでなく、全てのチャックテーブル及びそれらを駆動させるモータを合わせた総重量に耐え得る駆動力が必要となる。この結果、ターンテーブル用のモータには大型のものが採用される。

また、チャックテーブルを回転させるモータは、研削負荷に耐えてチャックテーブルを回転させる動力を必要としているので、研削負荷が大きい装置ではチャックテーブルを回転させるモータも大きくする必要がある。これに伴い、ターンテーブル用のモータにおける回転対象物の総重量が大きくなるので、当該モータも大きくする必要がある。

このように、モータの増加や大型化に伴って、モータの設置箇所を大きく確保せざる得なく、その他に加工装置（研削装置）の重量増加の要因と成り得る。よって、可能な限りモータの数を減らすことが望まれている。

そこで、本件発明者は、チャックテーブルを回転駆動するモータでターンテーブルを回転させることを着想した。具体的に本実施の形態では、各チャックテーブル９０の駆動源となる複数のモータ９４の回転力をターンテーブル９に伝達可能なクラッチを設ける構成とした。これにより、ターンテーブル９専用のモータを設ける必要が無くなり、構成の簡略化に成功した。この結果、装置全体として軽量化が可能となった。

次に、図２及び図３を参照して、本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの周辺構成について説明する。図２は、本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。図３は、本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの断面模式図である。なお、図２では、説明の便宜上、３つのチャックテーブルのうち、紙面手前側の２つのみ、駆動源となるモータを図示している。また、図２及び図３において、各構成の大きさや配置箇所等が異なっているが、機能的には同じものである。

図２及び図３に示すように、ターンテーブル９は、円板状に形成され、複数のチャックテーブル９０（図２では３つ）を上面に配置できるように十分な外径を有している。ターンテーブル９は、基台９１上で回転可能に支持されている。具体的に、基台９１は、ターンテーブル９と同心で有底円筒状に形成され、基台９１の底面中央には、鉛直方向上方に向かって延びる支持柱９２が設けられている。支持柱９２の先端には、ターンテーブル９が回転可能に支持される。また、ターンテーブル９の下方において、支持柱９２には、従動ギヤ９２ａ（第２の円板）が同心に配設されている。ターンテーブル９、支持柱９２、及び従動ギヤ９２ａは、一体固定されている。

また、基台９１の外周部上端とターンテーブル９との間には、エアスライダ９１ａが設けられており、ターンテーブル９は、エアスライダ９１ａによっても支持されている。エアスライダ９１ａには、図示しないエア供給源が接続されている。詳細は後述するが、エアスライダ９１ａにエアが供給されることで、ターンテーブル９がエアスライダ９１ａから浮上される。

チャックテーブル９０は、上記したようにターンテーブル９の上方において、周方向に所定間隔で３つ配置されている。各チャックテーブル９０の中央には、下方に向かって延びる回転軸９３が設けられている。回転軸９３は、ターンテーブル９を貫通して鉛直方向下方に延びている。ターンテーブル９の下側において、回転軸９３にはプーリ９３ａが設けられている。チャックテーブル９０、回転軸９３、及びプーリ９３ａは、一体回転可能に固定されている。

ターンテーブル９の下側において、回転軸９３よりターンテーブル９の径方向内側には、チャックテーブル９０用のモータ９４が設けられている。モータ９４は、ブラケット９５を介してターンテーブル９の下面に支持される。モータ９４は、鉛直方向上側に向かって駆動軸が突出しており、モータ９４の駆動軸には、下から順に第１駆動ギヤ９４ａ、第２駆動ギヤ９４ｂ（第１の円板）が固定（接続）されている。第１駆動ギヤ９４ａとプーリ９３ａとの間には、ベルト９６が巻き掛けられており、モータ９４の回転力が回転軸９３（チャックテーブル９０）に伝達可能となっている。なお、第２駆動ギヤ９４ｂは、従動ギヤ９２ａと同じ高さに配設されている。

第２駆動ギヤ９４ｂと従動ギヤ９２ａとの間には、モータ９４の回転力をターンテーブル９に伝達するための伝達機構９７が設けられている。伝達機構９７は、ターンテーブル９に対するモータ９４の回転力の伝達及びその解除を切換え可能に構成される。具体的に伝達機構９７は、鉛直方向に軸を進退可能なエアシリンダ９８（連結手段）と、エアシリンダ９８の軸端で回転可能な連結ギヤ９８ａ（第３の円板）とを備えている。エアシリンダ９８は、ターンテーブル９の下面に固定されており、軸の先端が下方に向けられている。連結ギヤ９８ａは、エアシリンダ９８の軸の下端に配設されており、当該軸に対して空転可能に構成される。

エアシリンダ９８には、図示しないエア供給源が接続されている。連結ギヤ９８ａは、エアシリンダ９８の駆動に応じて、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに噛み合い可能となっている。具体的にエアシリンダ９８は、連結ギヤ９８ａが第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに噛み合い可能な「噛み合い位置（後述する伝達位置）」と、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに対する連結ギヤ９８ａの噛み合いを解除する「解除位置」に、連結ギヤ９８ａを位置付けることが可能である。

なお、本発明におけるモータ９４の回転力をターンテーブル９に伝達する伝達手段としてのクラッチ（クラッチ機構）は、モータ９４の軸端に配設される第２駆動ギヤ９４ｂ、支持柱９２に配設される従動ギヤ９２ａ、上記した伝達機構９７等を含むものとする。

次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係るターンテーブル及びチャックテーブルの動作について説明する。図４は、本実施の形態に係るターンテーブルを回転させるときの動作説明図である。特に、図３は連結ギヤ９８ａが解除位置に位置付けられた状態を示し、図４は連結ギヤ９８ａが伝達位置に位置付けられた状態を示している。

図３に示すように、ターンテーブル９を回転させる必要がない場合（例えば、研削時）は、エアスライダ９１ａは駆動されず（エア供給されず）、ターンテーブル９がエアスライダ９１ａに接触（着座）した状態となっている。このため、ターンテーブル９は、エアスライダ９１ａとの間の摩擦により、回転（空転）することが無い。また、連結ギヤ９８ａは、上記のように解除位置に位置付けられている。すなわち、連結ギヤ９８ａは、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに噛み合って（接触）していない。

この場合、モータ９４が駆動されることで、モータ９４の回転力は、第１駆動ギヤ９４ａ、ベルト９６を介してチャックテーブル９０（プーリ９３ａ及び回転軸９３を含む）にのみ伝達される。これにより、チャックテーブル９０が回転される。

一方、図４に示すように、ターンテーブル９を回転させる場合（例えば、搬送時）は、エアシリンダ９８にエアが供給され、ターンテーブル９がエアシリンダ９８から浮上（離間）される。また、エアシリンダ９８が駆動され、連結ギヤ９８ａが上方に移動される。この結果、連結ギヤ９８ａは、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに噛み合う。すなわち、連結ギヤ９８ａの外周は、第２駆動ギヤ９４ｂの外周と従動ギヤ９２ａの外周に接触する。ここで「噛み合い位置」は、第２駆動ギヤ９４ｂの回転力（モータ９４の回転力）を従動ギヤ９２ａに伝達させる「伝達位置」と呼ぶこともできる。

ターンテーブル９は、エアスライダ９１ａから浮上されているため、ターンテーブル９とエアスライダ９１ａとの間には、摩擦が生じていない。この場合、モータ９４が駆動されると、チャックテーブル９０が回転されるだけでなく、第２駆動ギヤ９４ｂ、連結ギヤ９８ａ、及び従動ギヤ９２ａ（支持柱９２を含む）を介してターンテーブル９が回転される。

ターンテーブル９を所定角度回転させた後に停止させたい場合には、モータ９４の回転駆動を停止する。これにより、連結ギヤ９８ａを介してターンテーブル９も停止される。なお、このとき、エアスライダ９１ａに対するエア供給も停止される。これにより、エアスライダ９１ａに対するターンテーブル９の浮上が解除され、ターンテーブル９がエアスライダ９１ａに接触（着座）する。よって、摩擦力でターンテーブル９の回転にブレーキをかけることができ、ターンテーブル９を所定位置で停止させ易くすることができる。

例えば、ある所定のチャックテーブル９０は、研削位置（粗研削位置又は仕上げ研削位置）から搬入位置（搬入出位置）に位置付けられ、別のチャックテーブル９０は、搬入位置から研削位置に位置付けられる。このように、複数のチャックテーブル９０用のモータ９４が協働してターンテーブル９を回転させることができ、チャックテーブル９０を所望の位置に移動させることが可能である。また、複数のモータ９４によるターンテーブル９の回転駆動は、複数のチャックテーブル９０用のモータ９４全てを用いてもよく、複数のモータ９４のうち、いくつかを選択してターンテーブル９を回転させてもよい。さらに、単一のモータ９４でターンテーブル９を回転させてもよい。

以上説明したように、本実施の形態によれば、チャックテーブル９０を回転させるモータ９４の回転力を、伝達機構９７を介してターンテーブルに伝達することができる。これにより、チャックテーブル９０のモータ９４でターンテーブル９を回転駆動させることができる。また、ターンテーブル９を停止させたい場合は、モータ９４の回転を停止させると共に、エアスライダ９１ａに対するターンテーブル９の浮上を解除する。これにより、チャックテーブル９０を所望の位置（例えば、搬入位置と研削位置）に位置付けることが可能となる。以上より、ターンテーブル９を回転させるために別途モータを設ける必要がなく、モータの数を減らすことができる。この結果、装置全体を軽量化することができる。

なお、本実施の形態では、伝達機構９７が連結ギヤ９８ａを昇降させる構成としたが、この構成に限定されない。例えば、図５、図６及び図７に示す構成であってもよい。図５は、第１の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。図６は、第２の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。図７は、第３の変形例に係るターンテーブル及びチャックテーブルの斜視図である。特に、図７Ａはターンテーブル及びチャックテーブルの全体斜視図を示し、図７Ｂはモータ９４周辺の構成を拡大した模式図である。

図５では、伝達機構１０１が連結ギヤ９８ａを水平方向に移動させることで、モータ９４の回転力の伝達及びその解除を実施する。具体的に、伝達機構１０１は、水平方向に延在するガイドレール１０２上をスライド可能なスライダ１０３の上面に連結ギヤ９８ａが空転可能に支持されている。連結ギヤ９８ａは、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに噛み合い可能な「噛み合い位置」と、第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ９２ａに対する噛み合いを解除する「解除位置」との間で移動可能に構成される。すなわち、ガイドレール１０２及びスライダ１０３が連結手段を構成する。

図６では、従動ギヤ２０１が支持柱９２に対して軸方向に昇降させることで、第２駆動ギヤ９４ｂと従動ギヤ２０１との噛み合いを切換えるように構成される。具体的に、従動ギヤ２０１は、支持柱９２に対して軸方向にスライド可能である一方、周方向の回転を規制するよう、支持柱９２に対して例えばスプライン嵌合されている。従動ギヤ２０１が第２駆動ギヤ９４ｂに対して噛み合い可能な噛み合い位置に位置付けられると、モータ９４の回転力を第２駆動ギヤ９４ｂを介してターンテーブル９に伝達することが可能である。この場合、連結ギヤ９８ａを省略することが可能である。

図７では、第１駆動ギヤ９４ａ及び第２駆動ギヤ９４ｂの連結及びその解除を切換えるように構成される。具体的に、第１駆動ギヤ９４ａと第２駆動ギヤ９４ｂとの間には、互いの連結を切換え可能な連結器９４ｃが設けられている。連結器９４ｃは、例えば電磁石で構成され、電気的なオンオフにより、第１駆動ギヤ９４ａの回転軸と第２駆動ギヤ９４ｂの回転軸との連結及びその解除を切換える。また、第２駆動ギヤ９４ｂは、支持柱９２に一体固定された従動ギヤ３０１に噛み合っている。第１駆動ギヤ９４ａ及び第２駆動ギヤ９４ｂが連結されることにより、モータ９４の回転力を第２駆動ギヤ９４ｂ及び従動ギヤ３０１を介してターンテーブル９に伝達することが可能である。この場合、連結ギヤ９８ａを省略することが可能である。このように、図５、図６及び図７の構成であっても、モータ９４でターンテーブル９を回転駆動させることが可能である。

また、上記実施の形態では、ターンテーブル９上に３つのチャックテーブル９０を配置節する構成としたが、この構成に限定されない。チャックテーブル９０の個数は適宜変更が可能であり、３つより少なくても多くてもよい。

また、上記実施の形態では、第１−第３の円板をギヤで構成したが、これらのギヤは、例えば、傘歯車で構成されることが好ましい。この場合、各ギヤ同士が噛み合う又はその解除をスムーズにすることが可能である。なお、第１−第３の円板は、ギヤに限定されず適宜変更が可能である。例えば、プーリやベルトを用いてもよい。また、ローラ同士の接触及び離間を切換えることで、モータ９４の回転力の伝達及びその解除を切換えてもよい。

また、上記実施の形態では、エアスライダ９１ａやエアシリンダ９８等のエア駆動の機構を用いる構成としたが、この構成に限定されない。例えばエアシリンダ９８は、電動式（例えばモータ駆動）のアクチュエータに置き換えることが可能である。

また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

以上説明したように、本発明は、複雑な光学系の構成を必要とすることなく、簡易な構成で適切にスクラッチを検出することができるという効果を有し、特に、ウエーハの表面を研削する研削装置に有用である。

Ｗ ウエーハ
１ 研削装置
４６ 粗研削手段（研削手段）
５１ 仕上げ研削手段（研削手段）
９ ターンテーブル
９０ チャックテーブル
９１ａ エアスライダ
９２ 支持柱
９２ａ、２０１、３０１ 従動ギヤ（第２の円板）
９４ モータ
９４ｂ 第２駆動ギヤ（第１の円板）
９７ 伝達機構
９８ エアシリンダ（連結手段）
９８ａ 連結ギヤ（第３の円板）

Claims (2)

1. ウエーハを保持する回転可能なチャックテーブルと、
   該チャックテーブルが保持したウエーハを研削する研削手段と、
   該ウエーハを搬入する搬入位置と該研削手段による研削位置とに該チャックテーブルを位置付けるターンテーブルと、から少なくとも構成された研削装置であって、
   該ターンテーブルには、
   該チャックテーブルを回転させるモータと、
   該モータの回転力を該ターンテーブルに伝達するクラッチと、が配設され、
   該ターンテーブルは、該モータと該クラッチとによって回転し、該チャックテーブルを少なくとも該搬入位置と該研削位置とに位置付ける研削装置。
2. 該クラッチは、
   該モータの回転軸に接続する第１の円板と、
   該ターンテーブルを回転可能に支持する支持柱に配設された第２の円板（円弧板）と、
   第１の円板と該第２の円板との間に配設される第３の円板と、
   該第３の円板の外周を該第１の円板の外周と該第２の円板の外周とに接触させ該第１の円板の回転力を該第２の円板に伝達させる伝達位置と該伝達を解除する解除位置とに位置付ける連結手段と、を備え、
   該ターンテーブルはエアスライダによって支持され、
   該ターンテーブルを回転させる際は、該エアスライダにエアを供給して該ターンテーブルを浮上させると共に該クラッチを介して該モータの回転力を該ターンテーブルに伝達させ、
   該ターンテーブルを停止させる際は、該エアスライダへのエアの供給を停止して該ターンテーブルを該エアスライダに着座させるとともに該クラッチを介して該モータの回転力を遮断する請求項１に記載の研削装置。

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