JP2018067586A - ウエーハの樹脂被覆方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、ウエーハWの表面Waを樹脂で覆う本発明に係る樹脂被覆方法の各ステップについて説明していく。
図2に示すウエーハ用テーブル30は、ウエーハWを吸引保持することが可能なテーブルである。ウエーハ用テーブル30は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等から構成されウエーハWを吸着する吸着部300と、吸着部300を支持する枠体301とを備える。枠体301の底部中央には、吸引孔301aが厚み方向(Z軸方向)に貫通形成されており、吸引孔301aの下端は、枠体301と吸着部300との間に広がる吸引空間301bに連通している。吸引孔301aには吸引管を介して真空発生装置及びコンプレッサー等から構成される吸引源39が接続されており、吸着部300の露出面であり枠体301の下面と面一に形成された保持面300aは、吸引空間301b、吸引孔301a、及び吸引管を介して吸引源39に連通している。そして、ウエーハ用テーブル30は、保持面300a上でウエーハWを吸引保持することができる。ウエーハ用テーブル30は、移動手段38によって、水平面方向及び鉛直方向に移動可能となっている。
図3に示す外形が円形状の樹脂用テーブル40は、例えば、紫外線を透過するガラス等の透明部材で形成されており、図示しない吸引源に連通する平坦な保持面40aを備えている。樹脂用テーブル40は、図2に示すウエーハ用テーブル30が上方に位置付けられた場合に、ウエーハ用テーブル30と向かい合った状態になる。そして、図3に示すように、樹脂用テーブル40はウエーハWと略同径又はウエーハWより大径の円形状に形成された保護シートTを保持面40a上で吸引保持した状態になっている。保護シートTは、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)等の透明な合成樹脂のフィルムで構成され、樹脂用テーブル40の保持面40aに液状樹脂Jが付着してしまうことを防ぐ役割を果たす。
樹脂保持ステップが完了した後、図4に示す移動手段38が、ウエーハWを吸引保持するウエーハ用テーブル30を移動させ、ウエーハWの中心と保護シートTの中心とが略合致しウエーハWの表面Waが保護シートT上の液状樹脂Jに向かい合うように、ウエーハWを位置付ける。
例えば、ウエーハWのバンプWfの根元まで液状樹脂Jが十分に押し込まれる高さ位置Z1まで、ウエーハWを保持するウエーハ用テーブル30が下降した後、図5に示すように、移動手段38がウエーハ用テーブル30を+Z方向へ上昇させて、ウエーハWを樹脂用テーブル40から離反させる。ウエーハWの表面Waと保護シートTの上面との両方に付着している状態の液状樹脂Jは、ウエーハWの表面Waと保護シートTの上面との間で、例えば、伸縮方向(Z軸方向)の中間部の外径が縮径するように円錐台を湾曲させた形を保ちつつ緩やかに流動しながら、上昇するウエーハWによって+Z方向に引き伸ばされていく。このように、ウエーハWの表面Waと液状樹脂Jとを接触させた状態、すなわち、ウエーハWの表面Waと保護シートTの上面との間の液状樹脂Jが分断されない状態を保ちつつ、移動手段38がウエーハ用テーブル30を+Z方向へ上昇させる。そして、例えば、ウエーハWのバンプWfの頂点が、高さ位置Z0と高さ位置Z1との中間程度の高さ位置Z2に位置するまで、移動手段38がウエーハ用テーブル30を+Z方向へ上昇させる。
30:ウエーハ用テーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体 301a:吸引孔 301b:吸引空間 38:移動手段 39:吸引源
40:樹脂用テーブル 40a:保持面 41:樹脂供給手段 410:供給ノズル 411:樹脂供給源
70:樹脂硬化手段 700:UVランプ
T:保護シート J:液体樹脂 J1:樹脂膜
Claims (1)
- ウエーハの表面を樹脂で覆う樹脂被覆方法であって、
ウエーハ用テーブルにウエーハを保持するウエーハ保持ステップと、
該ウエーハ用テーブルに向かい合うように設置された樹脂用テーブルに樹脂を保持する樹脂保持ステップと、
該ウエーハ用テーブルと該樹脂用テーブルとを接近させてウエーハと樹脂とを接触させ樹脂をウエーハの表面に広げる接近ステップと、
ウエーハと樹脂とを接触させた状態でウエーハを該樹脂用テーブルから離反させる離反ステップと、を備え、
該接近ステップと該離反ステップとを繰り返してウエーハの表面に樹脂を被覆することを特徴とする樹脂被覆方法。
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WO2022138946A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | リンテック株式会社 | 半導体チップの製造方法 |
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JPS63180470A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-25 | Mitsubishi Metal Corp | ウエ−ハの接着方法 |
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JP2016167546A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社ディスコ | 保護部材の形成方法 |
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