JP2018067013A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018067013A5
JP2018067013A5 JP2017255096A JP2017255096A JP2018067013A5 JP 2018067013 A5 JP2018067013 A5 JP 2018067013A5 JP 2017255096 A JP2017255096 A JP 2017255096A JP 2017255096 A JP2017255096 A JP 2017255096A JP 2018067013 A5 JP2018067013 A5 JP 2018067013A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support
movable body
support device
movable
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017255096A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018067013A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JP2018067013A publication Critical patent/JP2018067013A/ja
Publication of JP2018067013A5 publication Critical patent/JP2018067013A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2017255096A 2012-07-18 2017-12-29 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 Pending JP2018067013A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012159153 2012-07-18
JP2012159153 2012-07-18

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014525723A Division JP6268542B2 (ja) 2012-07-18 2013-07-17 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018067013A JP2018067013A (ja) 2018-04-26
JP2018067013A5 true JP2018067013A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2018-07-19

Family

ID=49948572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017255096A Pending JP2018067013A (ja) 2012-07-18 2017-12-29 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2018067013A (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO (1) WO2014013733A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6437884B2 (ja) * 2015-06-03 2018-12-12 旭化成エンジニアリング株式会社 平面移動装置
CN111722476B (zh) * 2019-03-22 2022-04-26 上海微电子装备（集团）股份有限公司 柔性连接件、柔性吸附装置及光刻系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07307279A (ja) * 1994-05-10 1995-11-21 Canon Inc ステージ位置決め制御装置
JPH11294520A (ja) * 1998-04-08 1999-10-29 Canon Inc 除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法
JP2000249185A (ja) * 1999-02-26 2000-09-12 Fujita Corp アクティブ型除振装置
JP2004063653A (ja) * 2002-07-26 2004-02-26 Nikon Corp 防振装置、ステージ装置及び露光装置
JP2004100953A (ja) * 2002-08-23 2004-04-02 Nikon Corp 制振装置及び露光装置
WO2005006416A1 (ja) * 2003-07-09 2005-01-20 Nikon Corporation 結合装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP2005282696A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Canon Inc 除振マウント装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2005299874A (ja) * 2004-04-15 2005-10-27 Tokkyokiki Corp 除振装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016157131A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6347270B2 (ja) 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
JP2015509577A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6551762B2 (ja) 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
JP2019016801A5 (ja) 物体移動方法、物体移動装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
TWI717380B (zh) 定位設備
JP6681982B2 (ja) 位置決めデバイス、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法
JP2018067013A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
TWI378331B (cg-RX-API-DMAC7.html)
IL272694B2 (en) Electron beam inspection apparatus stage positioning
JP2014170957A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO2012032768A1 (ja) 移動体装置、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
JP2015537239A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6584248B2 (ja) 免震装置交換用ジャッキ装置
JP2014192254A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2018534612A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6086299B2 (ja) 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
JP5865475B2 (ja) 基板保持装置及びパターン転写装置並びにパターン転写方法
TWI591272B (zh) 多葉片夾持裝置及裝置製造方法
JP6356903B2 (ja) 精密駆動装置
JP2015081993A (ja) ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法
JP5772196B2 (ja) 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体装置の組立方法。
JPWO2022211023A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2018010247A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6507487B2 (ja) 溶接治具および溶接方法