JP2014192254A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014192254A5 JP2014192254A5 JP2013064918A JP2013064918A JP2014192254A5 JP 2014192254 A5 JP2014192254 A5 JP 2014192254A5 JP 2013064918 A JP2013064918 A JP 2013064918A JP 2013064918 A JP2013064918 A JP 2013064918A JP 2014192254 A5 JP2014192254 A5 JP 2014192254A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- core
- movement stage
- fine movement
- relative position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013064918A JP6181956B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | ステージ装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| US14/224,316 US10036965B2 (en) | 2013-03-26 | 2014-03-25 | Stage apparatus, lithography apparatus, and device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013064918A JP6181956B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | ステージ装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014192254A JP2014192254A (ja) | 2014-10-06 |
| JP2014192254A5 true JP2014192254A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2016-04-21 |
| JP6181956B2 JP6181956B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=51621610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013064918A Active JP6181956B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | ステージ装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10036965B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| JP (1) | JP6181956B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110709793B (zh) * | 2017-03-31 | 2024-03-08 | 株式会社尼康 | 移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法以及移动体的驱动方法 |
| JP7389597B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2023-11-30 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
| JP7560988B2 (ja) * | 2020-10-09 | 2024-10-03 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| WO2025051467A1 (en) * | 2023-09-06 | 2025-03-13 | Asml Netherlands B.V. | Linear motor with cogging compensation |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6130517A (en) * | 1998-02-12 | 2000-10-10 | Nikon Corporation | Magnetic actuator producing large acceleration on fine stage and low RMS power gain |
| JP2003168721A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Canon Inc | 位置決め移動体機構 |
| JP2005051245A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
| JP2007027331A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Canon Inc | 駆動装置及びこれを用いた露光装置並びにデバイス製造方法 |
| JP2007329435A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008004647A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Canon Inc | 位置決め装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP2012235026A (ja) * | 2011-05-06 | 2012-11-29 | Canon Inc | 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
-
2013
- 2013-03-26 JP JP2013064918A patent/JP6181956B2/ja active Active
-
2014
- 2014-03-25 US US14/224,316 patent/US10036965B2/en active Active