JP2018051495A5 - - Google Patents

Description

本発明によれば、例えば、
液体を吐出するノズルを備える吐出ヘッドと、
可撓性部材によって、前記吐出ヘッドへ供給される液体を収容する第一収容空間と、作動液を収容する第二収容空間とに区画される第一液体収容部と、
前記第二収容空間と連通し、液面が前記吐出ヘッドより低くなるように作動液を収容する第二液体収容部と、
前記第二液体収容部において、作動液と接し、気体を収容する気体室と、を備え、前記ノズルの内部を大気圧に対して負圧に維持する液体吐出装置であって、
前記気体室に気体を供給し、前記ノズルの内部を前記大気圧に対して正圧に切り替える正圧切替手段を備えることを特徴とする液体吐出装置が提供される。

Claims (8)

1. 液体を吐出するノズルを備える吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドへ供給される液体を収容する第一収容空間と、作動液を収容する第二収容空間とに区画される第一液体収容部と、
   前記第二収容空間と連通し、液面が前記吐出ヘッドより低くなるように作動液を収容する第二液体収容部と、
   前記第二液体収容部において、作動液と接し、気体を収容する気体室と、を備え、前記ノズルの内部を大気圧に対して負圧に維持する液体吐出装置であって、
   前記気体室に気体を供給し、前記ノズルの内部を前記大気圧に対して正圧に切り替える正圧切替手段を備えることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記正圧切替手段は、
   前記気体室と連通する流路と、
   前記流路に気体を供給して前記正圧に切り替える加圧切替弁と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記気体室と大気とを連通状態と非連通状態とで切り替える連通切替手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
4. 前記正圧切替手段と前記連通切替手段を制御する制御手段を備え、
   前記制御手段は、前記吐出ヘッドから液体を強制的に排出させる場合に、前記連通切替手段で前記気体室と大気とを前記非連通状態にして、前記正圧切替手段によって前記気体室に気体を供給させることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 前記第二液体収容部に作動液を供給し、前記第二液体収容部の前記液面を調整する液体供給手段を備えることを特徴とする請求項１ないし４の何れか１項に記載の液体吐出装置。
6. 大気と連通する連通孔が配され、前記第二液体収容部に供給する作動液と気体を収容する第三液体収容部と、
   前記気体室と前記第三液体収容部とを連通状態と非連通状態とで切り替える連通手段とを備える請求項１または２に記載の液体吐出装置。
7. 前記吐出ヘッドの異常を検出するセンサを備え、
   前記センサで前記吐出ヘッドの異常を検出した後に、前記正圧切替手段で前記正圧に切り替えることを特徴とする請求項１ないし６の何れか１項に記載の液体吐出装置。
8. 請求項１ないし７の何れか１に記載の液体吐出装置を備え、
   前記ノズルによって基板に液体を吐出させることを特徴とするインプリント装置。