JP2018031692A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照すると、本実施形態の圧力センサ1は、エンジン油圧センサであって、図示しないエンジンにおける作動油循環経路に対して装着可能に構成されている。具体的には、圧力センサ1は、センサチップ2を備えている。センサチップ2の先端部2a側には、検出部2bが形成されている。検出部2bは、圧力センサ1が上述の作動油循環経路に装着された場合に、作動油内に浸漬されることで、作動油圧に応じた電気出力(例えば電圧)を発生するように構成されている。
上記の通り、本実施形態の構成においては、受圧凹部213における底面214及び側壁面215は、保護膜230によって被覆される。これにより、底面214及び側壁面215への付着物の付着が抑制され得る。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記実施形態に対しては適宜変更が可能である。以下、代表的な変形例について説明する。以下の変形例の説明においては、上記実施形態と異なる部分についてのみ説明する。したがって、以下の変形例の説明において、上記実施形態と同一の符号を有する構成要素に関しては、技術的に矛盾しない限り、上記実施形態における説明が適宜援用され得る。
20 基板
213 受圧凹部
214 底面
215 側壁面
216 入隅部
218 ダイアフラム
230 保護膜
232 隅肉部
S 検出空間
Claims (6)
- 基板(20)の厚さ方向(D1,D2)及び前記厚さ方向と直交する面内方向(D3)における一部に設けられていて前記厚さ方向に沿って撓み変形可能な薄板状のダイアフラム(218)に、前記厚さ方向について前記ダイアフラムと隣接する検出空間(S)内の流体圧力が作用することで、前記流体圧力に応じた電気出力を発生するように構成された、圧力センサ(1)において、
前記厚さ方向に沿った検出方向(D1)に向かって開口することで前記検出空間を構成するように前記基板に形成された凹部であって、前記面内方向と平行な平面であって外縁部が前記面内方向について前記ダイアフラムの外側に設けられた底面(214)と、前記底面の前記外縁部から前記検出方向に向かって突設された側壁面(215)とを有する受圧凹部(213)と、
前記底面と前記側壁面とを被覆するように設けられた保護膜(230)と、
を有し、
前記保護膜は、前記受圧凹部における前記底面と前記側壁面との接続部である入隅部(216)に形成された隅肉部(232)を有し、
前記隅肉部は、前記面内方向について前記ダイアフラムの外側に設けられた、
圧力センサ。 - 前記厚さ方向と平行な視線で見た場合に、前記隅肉部は、前記ダイアフラムと重ならない位置に設けられた、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記厚さ方向と平行な平面による断面視にて、前記底面の延長線(LA)と前記側壁面の延長線(LB)との交点を第一交点(P1)とし、前記第一交点を起点とし前記底面とのなす角度が45度となる第一直線(L1)を前記検出空間に向かって引いた場合の前記隅肉部における前記検出空間側の表面(235)と前記第一直線との交点を第二交点(P2)とし、前記第二交点を通り前記第一直線と直交する直線であって前記底面とのなす角度が45度となる第二直線(L2)を引いた場合の前記第二直線と前記底面との交点を第三交点(P3)とし、前記ダイアフラムの前記面内方向における外縁(218a)を通り前記厚さ方向と平行な第三直線(L3)と前記底面との交点を第四交点(P4)とした場合に、前記第一交点と前記第三交点との距離は、前記第一交点と前記第四交点との距離よりも短くなるように構成された、請求項1又は2に記載の圧力センサ。
- 前記ダイアフラムよりも前記検出方向とは反対方向である受圧方向(D2)側にて、前記基板に形成された空洞部(226)をさらに有し、
前記底面の前記外縁部は、前記面内方向について前記空洞部の外側に設けられた、請求項1〜3のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記基板は、前記受圧凹部と前記ダイアフラムとを有する第一基板(21)と、前記空洞部を構成する凹部であって前記検出方向に向かって開口する背面凹部(223)を有する第二基板(22)とを接合することによって形成された、請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記保護膜は合成樹脂膜である、請求項1〜5のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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