JP6311376B2 - マイクロフォン - Google Patents
マイクロフォン Download PDFInfo
- Publication number
- JP6311376B2 JP6311376B2 JP2014052718A JP2014052718A JP6311376B2 JP 6311376 B2 JP6311376 B2 JP 6311376B2 JP 2014052718 A JP2014052718 A JP 2014052718A JP 2014052718 A JP2014052718 A JP 2014052718A JP 6311376 B2 JP6311376 B2 JP 6311376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- integrated circuit
- mems
- acoustic transducer
- microphone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00222—Integrating an electronic processing unit with a micromechanical structure
- B81C1/0023—Packaging together an electronic processing unit die and a micromechanical structure die
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0257—Microphones or microspeakers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
した構成を有している。
ラムと有音孔壁の内面との間の間隔が、“凹部”が設けられていない場合に比して広くなる。従って、上記構成を採用しておけば、空気の粘性の影響により高周波音に対する感度が低下することを抑止できる。尚、薄膜部の“中央部分”は、薄膜部の中心点を含むものである必要はなく、薄膜部の、周縁部以外の部分であれば良い。さらに、有音孔壁の内面の“凹部”を、『前記MEMS音響トランスデューサの前記薄膜部の、ダイボンド材の広がりを禁止する領域を包含する領域に対向して設けられている』ものとしておけば、凹部の形成により生じた有音孔壁の内面の段差によりダイボンド材の広がりが抑止される。そのため、“凹部”を上記のようなものとしておけば、MEMS音響トランスデューサの周縁部と蓋部内面との間を封止するダイボンド材がダイヤフラム部分まで広がってダイヤフラムに付着しないようにすることができる。
が高いマイクロフォンを実現できることになる。
なく、薄膜部の、周縁部以外の部分であれば良い。さらに、本発明のマイクロフォンを、回路収容用凹部内に集積回路を収容したタイプのものとして実現する場合にも、『前記凹
部が、前記MEMS音響トランスデューサの前記薄膜部の、ダイボンド材の広がりを禁止する領域を包含する領域に対向して設けられている』構成を採用しておくことが出来る。
図6に、本発明の第1実施形態に係るマイクロフォンの構成を示す。尚、この図6及び以下で各実施形態に係るマイクロフォンの説明に用いる各図は、各実施形態に係るマイクロフォンの各部分を認識し易いものとするために、各部分の縮尺や数、位置等を適宜変更したものとなっている。
とを、備える。
極用電極に接続するための配線も設けられている。
・電磁シールド用の金属膜等が形成されているカバー12の凹部13の周囲(MEMSチップ20の周縁部と対向する部分)にダイボンド材29を塗布し、カバー12の蓋部内面とMEMSチップ20とをフリップチップボンディングにより接合する。
・ASIC25を基板11上に固定し、固定したASIC25上面の電極と基板11上の電極との間をワイヤボンディングにより接続する。
・両工程により得られた構造体を組み合わせることによりマイクロフォンを得る。
以下、図9〜図11を用いて、本発明の第2実施形態に係るマイクロフォンの構成を、上記した第1実施形態に係るマイクロフォンと異なる部分を中心に説明する。
合(音孔15の中心線がダイヤフラム21のほぼ中心を通るようにMEMSチップ20をカバー12b内に配置した場合)に、MEMSチップ20のダイヤフラム21と対向することになる、カバー12bの内面上の領域である。破線枠で示してある領域A2は、MEMSチップ20を設計位置に配置した場合に、MEMSチップ20と対向することになる、カバー12bの内面上の領域である。
・ASIC25を凹部13b内に配設したカバー12bの、MEMSチップ20の周縁部と対向する部分(ASIC25上の部分及びカバー12bの蓋部上の部分)にダイボンド材29を塗布し、カバー12bの蓋部内面とMEMSチップ20とをフリップチップボンディングにより接合する。もしくは、先にMEMSチップ20をフリップチップボンディングにより接合し、その後にダイボン材を流し込むことによってMEMSチップ20の周縁部とカバー12bの蓋部との間を封止してもよい。
・ASIC25の各外部装置用電極と各接続用配線の電極部とをワイヤボンディングにより接続する。
・ASIC25の各外部装置用電極と各接続用配線の電極部とを接続した構造体(MEMSチップ20等の取り付けが完了しているカバー12b)と、基板11bとを組み合わせることにより、マイクロフォンを得る。
図12に、本発明の第3実施形態に係るマイクロフォンの構成を示す。
上記した各実施形態に係るマイクロフォンは、各種の変形を行えるものである。例えば、第1実施形態に係るマイクロフォンを、ボトムポート型のマイクロフォンに変形することが出来る。また、第1実施形態に係るマイクロフォンを、カバーの蓋部内面に凹部が設けられておらず、バンプの高さ/MEMSチップの周縁部の高さを高くすることにより、ダイヤフラム・カバーの蓋部下面との間隔が調整されたマイクロフォンに変形することが出来る。また、第2,3実施形態に係るマイクロフォンを、カバーの蓋部内面、基板の上面に、ASIC25をその内部に収容するための凹部のみが設けられており、バンプの高さ/MEMSチップの周縁部の高さを高くすることにより、ダイヤフラム・カバーの蓋部下面との間隔が調整されたマイクロフォンに変形することも出来る。
11、11b、11c 基板
12、12b、12c カバー
13、13b、13c 凹部
15 音孔
20 MEMS音響トランスデューサ(MEMSチップ)
21 ダイヤフラム
23 支持部
25 ASIC
27 バンプ
29 ダイボンド材
Claims (4)
- 枠状の支持部と、可動電極としてのダイヤフラムを含む、前記支持部の一方の開口部を覆う薄膜部とを備えたMEMS音響トランスデューサと、
前記MEMS音響トランスデューサの出力を増幅する集積回路と、
前記MEMS音響トランスデューサ及び前記集積回路を収容する筐体であって、音孔が形成されている壁部である有音孔壁を備えた筐体と、
を含み、
前記筐体の前記有音孔壁の内面に設けられた、深さが前記集積回路の厚さと略一致する回路収容用凹部内に、前記集積回路が、前記集積回路の一部と前記MEMS音響トランスデューサの一部とが前記集積回路の厚さ方向から見て重なるように収容されており、
前記MEMS音響トランスデューサが、前記筐体の前記有音孔壁の内面及び前記回路収容用凹部内に収容された前記集積回路の露出面に対して、前記薄膜部側を前記有音孔壁の内面側に向けた姿勢で、前記薄膜部と前記有音孔壁との間に前記音孔により外部と連通した閉空間が形成されるように、固定されている、
ことを特徴とするマイクロフォン。 - 前記音響トランスデューサの前記薄膜部の表面の、前記集積回路の厚さ方向から見て前記集積回路の一部と重なる領域内に、前記MEMS音響トランスデューサの前記ダイヤフラム及び固定電極とそれぞれ電気的に接続された第1電極及び第2電極が配置されており、
前記集積回路の前記露出面の、前記集積回路の厚さ方向から見て前記MEMS音響トランスデューサの一部と重なる領域内に、前記第1電極と接続されるべき第3電極及び前記第2電極と接続されるべき第4電極が、前記第1電極と前記第2電極との間の位置関係と同じ位置関係を有するように配置されており、
前記MEMS音響トランスデューサの前記第1電極と前記集積回路の前記第3電極との間、及び、前記MEMS音響トランスデューサの前記第2電極と前記集積回路の前記第4電極との間が、フリップチップボンディングにより接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロフォン。 - 前記筐体の前記有音孔壁の内面に、前記MEMS音響トランスデューサの前記薄膜部の中央部分に対向する、前記回路収容用凹部に収容された前記集積回路の側壁を、その内側
面の一部とした凹部が設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロフォン。 - 前記凹部が、前記MEMS音響トランスデューサの前記薄膜部の、ダイボンド材の広がりを禁止する領域を包含する領域に対向して設けられている
ことを特徴とする請求項3に記載のマイクロフォン。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052718A JP6311376B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | マイクロフォン |
US14/635,833 US9380392B2 (en) | 2014-03-14 | 2015-03-02 | Microphone |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052718A JP6311376B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | マイクロフォン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015177376A JP2015177376A (ja) | 2015-10-05 |
JP6311376B2 true JP6311376B2 (ja) | 2018-04-18 |
Family
ID=54070477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014052718A Expired - Fee Related JP6311376B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | マイクロフォン |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9380392B2 (ja) |
JP (1) | JP6311376B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005013762C5 (de) * | 2005-03-22 | 2012-12-20 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg | Elektronisches Gerät und Verfahren zur Bestimmung der Temperatur eines Leistungshalbleiters |
US10142718B2 (en) | 2014-12-04 | 2018-11-27 | Invensense, Inc. | Integrated temperature sensor in microphone package |
US9769554B2 (en) * | 2015-03-05 | 2017-09-19 | Stmicroelectronics (Malta) Ltd | Semiconductor integrated device for acoustic applications with contamination protection element, and manufacturing method thereof |
CN110418266B (zh) * | 2015-06-30 | 2021-07-23 | 意法半导体股份有限公司 | 微机电麦克风 |
KR101684526B1 (ko) * | 2015-08-28 | 2016-12-08 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
JP2017108226A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 新日本無線株式会社 | トランスデューサ装置及びその製造方法 |
US9731965B1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-08-15 | Stmicroelectronics S.R.L. | Dry scribing methods, devices and systems |
WO2017221762A1 (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 電気音響変換装置 |
JP6736829B2 (ja) * | 2016-08-22 | 2020-08-05 | 新日本無線株式会社 | トランスデューサ装置およびその製造方法 |
GB2563461B (en) * | 2017-06-16 | 2021-11-10 | Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd | Transducer packaging |
US10501312B2 (en) * | 2017-07-18 | 2019-12-10 | Infineon Technologies Ag | Over-under sensor packaging with sensor spaced apart from control chip |
IT201800002049A1 (it) | 2018-01-26 | 2019-07-26 | St Microelectronics Srl | Metodo di fabbricazione di una piastrina a semiconduttore provvista di un modulo filtrante sottile, piastrina a semiconduttore includente il modulo filtrante, package alloggiante la piastrina a semiconduttore, e sistema elettronico |
JP6932660B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2021-09-08 | 株式会社コロナ | リモコン装置 |
CN108184197B (zh) * | 2018-03-23 | 2023-08-22 | 苏州登堡电子科技有限公司 | 振壁传声装置 |
JP7193066B2 (ja) * | 2018-11-09 | 2022-12-20 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | トランスデューサ装置 |
CN212324360U (zh) * | 2020-06-30 | 2021-01-08 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 麦克风 |
US11945714B2 (en) * | 2020-07-30 | 2024-04-02 | Stmicroelectronics S.R.L. | Electronic device and corresponding method |
CN113411732A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-09-17 | 成都纤声科技有限公司 | 麦克风封装结构、耳机和电子设备 |
WO2023232628A1 (en) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | Ams-Osram Ag | Acoustic transducer device with expanded back volume |
CN115426596A (zh) * | 2022-09-20 | 2022-12-02 | 歌尔微电子股份有限公司 | 换能器及电子设备 |
CN117319911B (zh) * | 2023-11-28 | 2024-05-10 | 荣耀终端有限公司 | Mems麦克风及其制备方法和电子设备 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7166910B2 (en) | 2000-11-28 | 2007-01-23 | Knowles Electronics Llc | Miniature silicon condenser microphone |
US6781231B2 (en) | 2002-09-10 | 2004-08-24 | Knowles Electronics Llc | Microelectromechanical system package with environmental and interference shield |
JP5321111B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2013-10-23 | 船井電機株式会社 | マイクロホンユニット |
JP4947191B2 (ja) | 2010-06-01 | 2012-06-06 | オムロン株式会社 | マイクロフォン |
JP5029727B2 (ja) | 2010-06-01 | 2012-09-19 | オムロン株式会社 | 半導体装置及びマイクロフォン |
US9215519B2 (en) * | 2010-07-30 | 2015-12-15 | Invensense, Inc. | Reduced footprint microphone system with spacer member having through-hole |
DE102011004577B4 (de) * | 2011-02-23 | 2023-07-27 | Robert Bosch Gmbh | Bauelementträger, Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelementträgers sowie Bauteil mit einem MEMS-Bauelement auf einem solchen Bauelementträger |
JP5633493B2 (ja) * | 2011-09-16 | 2014-12-03 | オムロン株式会社 | 半導体装置及びマイクロフォン |
JP4947238B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2012-06-06 | オムロン株式会社 | マイクロフォン |
US20140037120A1 (en) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | Knowles Electronics, Llc | Microphone Assembly |
US20140312439A1 (en) * | 2013-04-19 | 2014-10-23 | Infineon Technologies Ag | Microphone Module and Method of Manufacturing Thereof |
-
2014
- 2014-03-14 JP JP2014052718A patent/JP6311376B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-03-02 US US14/635,833 patent/US9380392B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150264463A1 (en) | 2015-09-17 |
US9380392B2 (en) | 2016-06-28 |
JP2015177376A (ja) | 2015-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6311376B2 (ja) | マイクロフォン | |
US8526665B2 (en) | Electro-acoustic transducer comprising a MEMS sensor | |
JP5029727B2 (ja) | 半導体装置及びマイクロフォン | |
JP6175873B2 (ja) | マイクロフォン | |
JP4947169B2 (ja) | 半導体装置及びマイクロフォン | |
JP4893860B1 (ja) | マイクロフォン | |
JP6160160B2 (ja) | マイクロフォン | |
US20090175477A1 (en) | Vibration transducer | |
JP2018517572A (ja) | Memsセンサ部品 | |
JP2010187076A (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2006211468A (ja) | 半導体センサ | |
JP2007060661A (ja) | シリコンコンデンサマイクロホン及びシリコンコンデンサマイクロホンのパッケージング方法 | |
JP4655017B2 (ja) | 音響センサ | |
JP5382029B2 (ja) | マイクロフォンの製造方法 | |
KR101719872B1 (ko) | Mems 소자 | |
US10252906B2 (en) | Package for MEMS device and process | |
US10405102B2 (en) | MEMS transducer package | |
JP6580356B2 (ja) | 単一指向性memsマイクロホン | |
KR101877838B1 (ko) | 멤스 마이크로폰 소자 및 이를 포함하는 멤스 마이크로폰 모듈 | |
JP2008136195A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP5354045B2 (ja) | マイクロフォン | |
JP2006332799A (ja) | 音響センサ | |
JP2010166307A (ja) | マイクロフォンパッケージ及びその実装構造 | |
JP2010166306A (ja) | マイクロフォンパッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6311376 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |