JP6387912B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
媒体導入孔における一端と反対の他端(38b)側の開口を閉塞するように厚さ方向の一面(70a)を搭載面としてケースに配置され、測定媒体の圧力に応じて変形するとともに、変形に応じた検出信号を出力するセンサチップ(70)と、
を備える圧力センサであって、
媒体導入孔における一端と他端とを結ぶ方向は、厚さ方向と異なる方向とされ、
ケースの外面には、厚さ方向の投影視において、センサチップに対して一端側に形成された第1溝部(44)と、センサチップに対して一端と反対側であって、第1溝部とともにセンサチップを挟む位置に形成された第2溝部(46)と、を有する溝(30)が形成され、
第1溝部の壁面の表面積は、第2溝部の壁面の表面積よりも大きいことを特徴とする。
先ず、図1〜図3に基づき、圧力センサ10の概略構成について説明する。
本実施形態において、第1実施形態に示した圧力センサ10と共通する部分についての説明は割愛する。なお、図4では、平面形状を明確にするため、第1溝部44、第2溝部46、及び第3溝部48にハッチングを施している。
本実施形態において、第1実施形態に示した圧力センサ10と共通する部分についての説明は割愛する。
Claims (7)
- 両端が開口し、一端(38a)側の開口から測定媒体が導入される媒体導入孔(38)が形成されたケース(20)と、
前記媒体導入孔における前記一端と反対の他端(38b)側の開口を閉塞するように厚さ方向の一面(70a)を搭載面として前記ケースに配置され、前記測定媒体の圧力に応じて変形するとともに、変形に応じた検出信号を出力するセンサチップ(70)と、
を備える圧力センサであって、
前記媒体導入孔における前記一端と前記他端とを結ぶ方向は、前記厚さ方向と異なる方向とされ、
前記ケースの外面には、前記厚さ方向の投影視において、前記センサチップに対して前記一端側に形成された第1溝部(44)と、前記センサチップに対して前記一端と反対側であって、前記第1溝部とともに前記センサチップを挟む位置に形成された第2溝部(46)と、を有する溝(30)が形成され、
前記第1溝部の壁面の表面積は、前記第2溝部の壁面の表面積よりも大きいことを特徴とする圧力センサ。 - 前記溝は、前記ケースの外面に形成され、前記第1溝部及び前記第2溝部を連結する第3溝部(48)をさらに有し、
前記厚さ方向の投影視において、前記溝は、前記センサチップを囲む環状をなしていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記ケースにおいて、前記第1溝部の壁面及び前記媒体導入孔の壁面の間の厚さは、前記厚さ方向において均一とされるとともに、前記第2溝部の壁面及び前記媒体導入孔の壁面の間の厚さは、前記厚さ方向において均一とされていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ケースにおいて、前記第1溝部の壁面及び前記媒体導入孔の壁面の間の厚さは、前記第2溝部の壁面及び前記媒体導入孔の壁面の間の厚さと等しくされていることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記第1溝部に配置され、空気よりも熱伝導性に優れるとともに前記ケースよりも柔軟性に優れた充填部材(100)をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 前記充填部材は、前記第2溝部にも配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記媒体導入孔は、前記他端側の開口を構成し、前記厚さ方向に延設された第1孔部(40)と、前記一端側の開口を構成し、前記厚さ方向と異なる方向に延設され、前記第1孔部における前記他端と反対側の端部と連通する第2孔部(42)と、を有していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧力センサ。
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