JP5648586B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
21 ダイヤフラム部
23 壁(移動阻止部)
24 溝(移動阻止部)
35 ボンディングワイヤ
36 封止部材
121 ストッパ
Claims (6)
- 圧力を受けるダイヤフラム部(21)が変形して圧力に応じた電気信号を出力するセンサチップ(2)と、
前記ダイヤフラム部(21)が所定量以上変形しようとするときに前記ダイヤフラム部(21)が当接して前記ダイヤフラム部(21)の所定量以上の変形を防止するストッパ(121)と、
前記ダイヤフラム部(21)の周辺部位にて前記センサチップ(2)に接合されたボンディングワイヤ(35)と、
前記センサチップ(2)と前記ボンディングワイヤ(35)との接合部を封止するゲル状の封止部材(36)と、
前記ダイヤフラム部(21)と前記封止部材(36)との間に配置されて、前記封止部材(36)が前記ダイヤフラム部(21)側に移動するのを阻止する移動阻止部(23、24)とを備え、
前記移動阻止部は、前記センサチップ(2)の表面に形成された溝(24)であることを特徴とする圧力センサ。 - 前記溝(24)は、複数個形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ストッパ(121)における前記ダイヤフラム部(21)と対向する面に、弾性材よりなる緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記センサチップ(2)の一端側に室(113)を形成する蓋部(12)を備え、この蓋部(12)に前記ストッパ(121)が一体に形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記ストッパ(121)における前記ダイヤフラム部(21)と対向する面は、半円球形状であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記ストッパ(121)における前記ダイヤフラム部(21)と対向する面は、円錐台形状であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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