JP2021092490A - 差圧計 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 基台と、
前記基台の上面に配置され、第1圧力室を形成する第1部品と、
前記第1部品の上に配置され、平面視で、前記第1圧力室が形成された領域を含み、前記第1圧力室より広い第2圧力室を形成する第2部品と、
前記第1部品と前記第2部品との間に配置されて、平面視で前記第1圧力室の領域に受圧部を有し、前記受圧部以外の領域の前記第2圧力室に一端側の開口を配置する第1貫通孔を形成するダイアフラム層と、
前記第2圧力室の、前記受圧部の側の第1領域と前記第1貫通孔の側の第2領域との間に、前記第2圧力室の内壁との間に隙間を備えて配置された壁と
を備え、
前記第1圧力室は、前記第1部品を貫通して形成され、
前記第2圧力室は、前記ダイアフラム層の側に開口を有し、
前記第1部品は、前記第1貫通孔に連続する第2貫通孔を形成し、
前記基台は、前記第1圧力室に一端側の開口を配置する第3貫通孔、および前記第2貫通孔に連続する第4貫通孔を形成する
ことを特徴とする差圧計。 - 請求項1記載の差圧計において、
前記壁は、前記ダイアフラム層と、前記ダイアフラム層に向かい合う前記第2圧力室の天井とに連結して形成されていることを特徴とする差圧計。 - 請求項1記載の差圧計において、
前記壁は、前記ダイアフラム層と、前記ダイアフラム層に向かい合う前記第2圧力室の天井との間に隙間を形成していることを特徴とする差圧計。 - 請求項3記載の差圧計において、
前記壁は、前記壁を挟んで向かい合う前記第2圧力室の2つの側面の各々に連結して形成されていることを特徴とする差圧計。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の差圧計において、
前記ダイアフラム層の前記受圧部に設けられた歪みゲージを備えることを特徴とする差圧計。
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