JPH0815068A - 静電容量式差圧検出器 - Google Patents
静電容量式差圧検出器Info
- Publication number
- JPH0815068A JPH0815068A JP14881394A JP14881394A JPH0815068A JP H0815068 A JPH0815068 A JP H0815068A JP 14881394 A JP14881394 A JP 14881394A JP 14881394 A JP14881394 A JP 14881394A JP H0815068 A JPH0815068 A JP H0815068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- differential pressure
- fixed electrode
- measuring diaphragm
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】過大な差圧を受けたときに、測定ダイヤフラム
と相対する固定電極とが、中心部で貼り付き現象を起こ
すことを防止する。 【構成】第１実施例が従来例と異なる点は、ダイヤフラ
ム10の両側の各表面中心部で、有効直径の約半分の直径
の同心円上の等分４箇所に、高さ１μｍ、径６μｍ程度
の単一な微小凸部10a が一体形成されることである。そ
の結果、過大な差圧が作用したとき、ダイヤフラム10の
表面の中心部が片方の固定電極15に押圧されるが、ダイ
ヤフラム10の表面の４個の凸部10a によって、押圧時の
密着度が軽減され、したがって、中心部での貼り付きが
抑制される。
と相対する固定電極とが、中心部で貼り付き現象を起こ
すことを防止する。 【構成】第１実施例が従来例と異なる点は、ダイヤフラ
ム10の両側の各表面中心部で、有効直径の約半分の直径
の同心円上の等分４箇所に、高さ１μｍ、径６μｍ程度
の単一な微小凸部10a が一体形成されることである。そ
の結果、過大な差圧が作用したとき、ダイヤフラム10の
表面の中心部が片方の固定電極15に押圧されるが、ダイ
ヤフラム10の表面の４個の凸部10a によって、押圧時の
密着度が軽減され、したがって、中心部での貼り付きが
抑制される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、過大な差圧を受けた
ときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電極とが、そ
の中心部で貼り付き現象を起こすことを防止する静電容
量式差圧検出器に関する。
ときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電極とが、そ
の中心部で貼り付き現象を起こすことを防止する静電容
量式差圧検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、以下に図を参照しなが
ら説明する。図５は従来例で差圧を受けないときの断面
図である。図５において、測定ダイヤフラム（以下、ダ
イヤフラムという）９の各側には各固定電極15,20 が取
付けられている。一方の固定電極15は、ダイヤフラム９
に対向配置された第１の導電板12と、この第１導電板12
に接合された絶縁板13と、この絶縁板13に接合された第
２の導電板14とからなり、第１導電板12と第２導電板14
とが、貫通してあけられた導圧孔25の内周面に被覆され
た導体膜27を介して電気的に接続される。また、固定電
極15には、絶縁板13に接合されて第１導電板12を取り囲
む円環状溝23を隔てて環状の支持体21が設けられ、この
支持体21がダイヤフラム９に所定の厚みのガラス接合部
11で接合され、かつ第１導電板12と支持体21とは電気的
に絶縁されている。なお、支持体21は絶縁体, 導電体い
ずれでもよい。さらに、固定電極15には、ダイヤフラム
９との間に形成された空隙29に圧力Ｐ1 を導く前記の導
圧孔25があけられる。他方の固定電極20についても同様
の構成であるから、詳細な説明は省略する。固定電極20
には、ダイヤフラム９との間に形成された空隙30に圧力
Ｐ2 を導く導圧孔26があけられている。
ら説明する。図５は従来例で差圧を受けないときの断面
図である。図５において、測定ダイヤフラム（以下、ダ
イヤフラムという）９の各側には各固定電極15,20 が取
付けられている。一方の固定電極15は、ダイヤフラム９
に対向配置された第１の導電板12と、この第１導電板12
に接合された絶縁板13と、この絶縁板13に接合された第
２の導電板14とからなり、第１導電板12と第２導電板14
とが、貫通してあけられた導圧孔25の内周面に被覆され
た導体膜27を介して電気的に接続される。また、固定電
極15には、絶縁板13に接合されて第１導電板12を取り囲
む円環状溝23を隔てて環状の支持体21が設けられ、この
支持体21がダイヤフラム９に所定の厚みのガラス接合部
11で接合され、かつ第１導電板12と支持体21とは電気的
に絶縁されている。なお、支持体21は絶縁体, 導電体い
ずれでもよい。さらに、固定電極15には、ダイヤフラム
９との間に形成された空隙29に圧力Ｐ1 を導く前記の導
圧孔25があけられる。他方の固定電極20についても同様
の構成であるから、詳細な説明は省略する。固定電極20
には、ダイヤフラム９との間に形成された空隙30に圧力
Ｐ2 を導く導圧孔26があけられている。
【０００３】ダイヤフラム９と、固定電極15とによって
第１のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容
量Ｃ1 が各リードピンＡ，Ｃを介して取出される。ま
た、同様にダイヤフラム９と固定電極20とによって第２
のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容量Ｃ
2 が各リードピンＢ，Ｃを介して取出される。いま、各
圧力Ｐ1,Ｐ2 がダイヤフラム９に作用すると、その差圧
（Ｐ1 〜Ｐ2)に応じてダイヤフラム９が変位し、この変
位に応じて各静電容量Ｃ1,Ｃ2 が変化し、この変化に基
づいて差圧を測定することができる。ところで、図５に
示した差圧検出器は、各圧力Ｐ1,Ｐ2 を受圧する二つの
図示してないシールダイヤフラムによって密閉されたハ
ウジング内に収納され、このハウジング内に圧力伝達用
の非圧縮性流体たとえばシリコーンオイルが封入され
る。つまり、各空隙29, 30および各導圧孔25,26 にはシ
リコーンオイルが充填されることになる。
第１のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容
量Ｃ1 が各リードピンＡ，Ｃを介して取出される。ま
た、同様にダイヤフラム９と固定電極20とによって第２
のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容量Ｃ
2 が各リードピンＢ，Ｃを介して取出される。いま、各
圧力Ｐ1,Ｐ2 がダイヤフラム９に作用すると、その差圧
（Ｐ1 〜Ｐ2)に応じてダイヤフラム９が変位し、この変
位に応じて各静電容量Ｃ1,Ｃ2 が変化し、この変化に基
づいて差圧を測定することができる。ところで、図５に
示した差圧検出器は、各圧力Ｐ1,Ｐ2 を受圧する二つの
図示してないシールダイヤフラムによって密閉されたハ
ウジング内に収納され、このハウジング内に圧力伝達用
の非圧縮性流体たとえばシリコーンオイルが封入され
る。つまり、各空隙29, 30および各導圧孔25,26 にはシ
リコーンオイルが充填されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来例では、過大な差
圧を受けたときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電
極とが、その中心部で貼り付き現象を起こす恐れがあ
る。図６は従来例で過大な差圧を受けたときの側面図で
ある。図において、右側の圧力Ｐ2 が、左側の圧力Ｐ1
より非常に大きいとき、つまり過大な差圧が右側から作
用したとき、ダイヤフラム9 の左側面が、相対する固定
電極15の導電性板12の右側面に強く押圧されて空隙29が
消滅する。ダイヤフラム9 の表面も、各固定電極15,20
の対応する導電性板12,17 のダイヤフラム9 との相対面
も微細粗さに表面加工されている。したがって、これら
の広い面間での密着度のために貼り付き現象を起こす。
この貼り付き現象によって、過大差圧が解除された後に
も、この各面が隔離状態に戻るという保証がない。この
貼り付き現象は、これが起きるとそれ以後に正常な差圧
検出が保証できなくなるという重大欠陥である。
圧を受けたときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電
極とが、その中心部で貼り付き現象を起こす恐れがあ
る。図６は従来例で過大な差圧を受けたときの側面図で
ある。図において、右側の圧力Ｐ2 が、左側の圧力Ｐ1
より非常に大きいとき、つまり過大な差圧が右側から作
用したとき、ダイヤフラム9 の左側面が、相対する固定
電極15の導電性板12の右側面に強く押圧されて空隙29が
消滅する。ダイヤフラム9 の表面も、各固定電極15,20
の対応する導電性板12,17 のダイヤフラム9 との相対面
も微細粗さに表面加工されている。したがって、これら
の広い面間での密着度のために貼り付き現象を起こす。
この貼り付き現象によって、過大差圧が解除された後に
も、この各面が隔離状態に戻るという保証がない。この
貼り付き現象は、これが起きるとそれ以後に正常な差圧
検出が保証できなくなるという重大欠陥である。
【０００５】この発明が解決しようとする課題は、従来
の技術がもつ以上の問題点を解消して、過大な差圧を受
けたときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電極と
が、中心部で貼り付き現象を起こすことを防止する静電
容量式差圧検出器を提供することにある。
の技術がもつ以上の問題点を解消して、過大な差圧を受
けたときに、測定ダイヤフラムと相対する固定電極と
が、中心部で貼り付き現象を起こすことを防止する静電
容量式差圧検出器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数個の微
小高さの凸部を、測定ダイヤフラムの各表面の中心部に
同心円上に配して一体形成したり、または、測定ダイヤ
フラムの各表面に相対する固定電極の表面の中心部に同
心円上に配して一体形成する。また、この発明は、微小
高さの円環状凸部を、測定ダイヤフラムの各表面の中心
部に同心に一体形成したり、または、測定ダイヤフラム
の各表面に相対する固定電極表面の中心部に同心に一体
形成することもできる。
小高さの凸部を、測定ダイヤフラムの各表面の中心部に
同心円上に配して一体形成したり、または、測定ダイヤ
フラムの各表面に相対する固定電極の表面の中心部に同
心円上に配して一体形成する。また、この発明は、微小
高さの円環状凸部を、測定ダイヤフラムの各表面の中心
部に同心に一体形成したり、または、測定ダイヤフラム
の各表面に相対する固定電極表面の中心部に同心に一体
形成することもできる。
【０００７】また、この発明は、測定ダイヤフラムの各
表面中心部と、これに相対する固定電極の表面中心部と
の少なくとも一方を、粗く表面加工することもできる。
表面中心部と、これに相対する固定電極の表面中心部と
の少なくとも一方を、粗く表面加工することもできる。
【０００８】
【作用】この発明では、過大な差圧が作用したとき、測
定ダイヤフラム表面の中心部が片方の固定電極に押圧さ
れるが、測定ダイヤフラム表面の中心部に同心円上に配
されて形成された複数個の微小高さの凸部によって、押
圧時の密着度が軽減されるから、押圧箇所の貼り付きが
抑制される。同様に、測定ダイヤフラムと相対する側の
固定電極表面の中心部に形成された複数個の微小高さの
凸部によっても、押圧時の密着度が軽減されるから、過
大差圧に基づく押圧箇所の貼り付きが抑制される。ま
た、同心円上に配されて形成された複数個の微小高さの
凸部の代わりに、同心で微小高さの円環状凸部によれ
ば、正味の押圧接触面積がさらに狭くなるから、密着度
の軽減が支援され、押圧箇所の貼り付きがさらに抑制さ
れる。さらにまた、測定ダイヤフラムの各表面中心部
と、これに相対する固定電極の表面中心部との少なくと
も一方に表面加工された粗さ面によれば、正味の押圧接
触面積が一層狭くなるから、密着度の軽減がさらに支援
され、押圧箇所の貼り付きが一層抑制される。
定ダイヤフラム表面の中心部が片方の固定電極に押圧さ
れるが、測定ダイヤフラム表面の中心部に同心円上に配
されて形成された複数個の微小高さの凸部によって、押
圧時の密着度が軽減されるから、押圧箇所の貼り付きが
抑制される。同様に、測定ダイヤフラムと相対する側の
固定電極表面の中心部に形成された複数個の微小高さの
凸部によっても、押圧時の密着度が軽減されるから、過
大差圧に基づく押圧箇所の貼り付きが抑制される。ま
た、同心円上に配されて形成された複数個の微小高さの
凸部の代わりに、同心で微小高さの円環状凸部によれ
ば、正味の押圧接触面積がさらに狭くなるから、密着度
の軽減が支援され、押圧箇所の貼り付きがさらに抑制さ
れる。さらにまた、測定ダイヤフラムの各表面中心部
と、これに相対する固定電極の表面中心部との少なくと
も一方に表面加工された粗さ面によれば、正味の押圧接
触面積が一層狭くなるから、密着度の軽減がさらに支援
され、押圧箇所の貼り付きが一層抑制される。
【０００９】
【実施例】この発明に係る静電容量式差圧検出器の実施
例について、以下に図を参照しながら説明する。図１は
第１実施例の断面図である。この第１実施例が従来例と
異なる点は、ダイヤフラム10の両側の各表面中心部で、
その有効直径の約半分の直径の同心円上の等分４箇所に
それぞれ高さ１μｍ、径６μｍ程度の単一な微小凸部10
a が一体形成されることである。なお、従来例と同じ部
材には同じ符号を付けてある。第１実施例では、過大な
差圧が作用したとき、ダイヤフラム10の表面の中心部が
片方の固定電極15に押圧されるが、ダイヤフラム10の表
面の凸部10aによって、押圧時の密着度が軽減され、し
たがって、押圧箇所の貼り付きが抑制される。 図２は
第２実施例の断面図である。第２実施例が第１実施例と
異なる点は、左右の各固定電極15,20 の対応する導電性
板12,17 の中心部で、同心円上の等分４箇所に単一微小
凸部12a,17a がそれぞれ一体形成されることである。こ
の各凸部12a,17a の形状, 寸法は第１実施例における凸
部10a と同じで、この第２実施例の作用，効果も第１実
施例と同じである。
例について、以下に図を参照しながら説明する。図１は
第１実施例の断面図である。この第１実施例が従来例と
異なる点は、ダイヤフラム10の両側の各表面中心部で、
その有効直径の約半分の直径の同心円上の等分４箇所に
それぞれ高さ１μｍ、径６μｍ程度の単一な微小凸部10
a が一体形成されることである。なお、従来例と同じ部
材には同じ符号を付けてある。第１実施例では、過大な
差圧が作用したとき、ダイヤフラム10の表面の中心部が
片方の固定電極15に押圧されるが、ダイヤフラム10の表
面の凸部10aによって、押圧時の密着度が軽減され、し
たがって、押圧箇所の貼り付きが抑制される。 図２は
第２実施例の断面図である。第２実施例が第１実施例と
異なる点は、左右の各固定電極15,20 の対応する導電性
板12,17 の中心部で、同心円上の等分４箇所に単一微小
凸部12a,17a がそれぞれ一体形成されることである。こ
の各凸部12a,17a の形状, 寸法は第１実施例における凸
部10a と同じで、この第２実施例の作用，効果も第１実
施例と同じである。
【００１０】図３は第３実施例の断面図である。第３実
施例が第１実施例と異なる点は、ダイヤフラム10の中心
部で、同心円上に配された単一な微小凸部10a の代わり
に、同心で微小高さの円環状凸部10b が一体形成される
ことである。この円環状凸部10b の寸法は、直径がダイ
ヤフラム10の有効直径の約半分で、幅が６μｍ、高さが
１μｍ程度である。この第３実施例の作用，効果は、第
１実施例における単一凸部10a に比べて円環状凸部10b
による方が、正味の押圧接触面積をさらに小さくするか
ら、密着度の軽減が支援され、押圧箇所の貼り付きがさ
らに抑制されることになる。ところで円環状凸部は、ダ
イヤフラム10の中心部の代わりに、各固定電極15,20 の
対応する導電性板12,17 の中心部に一体形成することも
できる。作用, 効果は第３実施例と同様である。
施例が第１実施例と異なる点は、ダイヤフラム10の中心
部で、同心円上に配された単一な微小凸部10a の代わり
に、同心で微小高さの円環状凸部10b が一体形成される
ことである。この円環状凸部10b の寸法は、直径がダイ
ヤフラム10の有効直径の約半分で、幅が６μｍ、高さが
１μｍ程度である。この第３実施例の作用，効果は、第
１実施例における単一凸部10a に比べて円環状凸部10b
による方が、正味の押圧接触面積をさらに小さくするか
ら、密着度の軽減が支援され、押圧箇所の貼り付きがさ
らに抑制されることになる。ところで円環状凸部は、ダ
イヤフラム10の中心部の代わりに、各固定電極15,20 の
対応する導電性板12,17 の中心部に一体形成することも
できる。作用, 効果は第３実施例と同様である。
【００１１】図４は第４実施例の断面図である。第４実
施例が第１，第２，第３の各実施例と異なる点は、単一
凸部または円環状凸部を一体形成する代わりに、ダイヤ
フラム10の両側の各表面中心部を、破線表示の粗面部10
c のように、広い円形範囲にわたって、１μｍ程度に粗
く表面加工したことである。この構成によって、過大な
差圧を受けたとき、正味の押圧接触面積をさらに狭くす
ることができ、密着度の軽減がさらに支援され、押圧箇
所の貼り付きがさらに抑制される。ところで、粗面部の
加工は、ダイヤフラム10の中心部の代わりに、各固定電
極15,20 の対応する導電性板12,17 の中心部に施した
り、または、ダイヤフラム10と各固定電極15,20 の対応
する導電性板12,17 との両方の中心部に施すことができ
る。とくに両方に施すことは、正味の押圧接触面積を小
さくし、密着度の軽減にさらに有効である。
施例が第１，第２，第３の各実施例と異なる点は、単一
凸部または円環状凸部を一体形成する代わりに、ダイヤ
フラム10の両側の各表面中心部を、破線表示の粗面部10
c のように、広い円形範囲にわたって、１μｍ程度に粗
く表面加工したことである。この構成によって、過大な
差圧を受けたとき、正味の押圧接触面積をさらに狭くす
ることができ、密着度の軽減がさらに支援され、押圧箇
所の貼り付きがさらに抑制される。ところで、粗面部の
加工は、ダイヤフラム10の中心部の代わりに、各固定電
極15,20 の対応する導電性板12,17 の中心部に施した
り、または、ダイヤフラム10と各固定電極15,20 の対応
する導電性板12,17 との両方の中心部に施すことができ
る。とくに両方に施すことは、正味の押圧接触面積を小
さくし、密着度の軽減にさらに有効である。
【００１２】
【発明の効果】この発明によれば、過大な差圧が作用し
たとき、測定ダイヤフラム表面の中心部が片方の固定電
極に押圧されるときの密着度が軽減されるから、押圧箇
所の貼り付きが抑制される。しかも、単一凸部より円環
状凸部の方が、また粗面部を測定ダイヤフラムか固定電
極かの片側に、さらには両側に加工した方が、その効果
が増大する。したがって、ときに過大な差圧を受けるこ
とがあっても、正常に差圧検出ができる。しかも、その
方法が、測定ダイヤフラム側か固定電極側かに形成され
る複数個の凸部や、円環状凸部、粗さ面に基づくから、
場合に応じて最適または好適な方法が選択可能で、柔軟
に対応できる。
たとき、測定ダイヤフラム表面の中心部が片方の固定電
極に押圧されるときの密着度が軽減されるから、押圧箇
所の貼り付きが抑制される。しかも、単一凸部より円環
状凸部の方が、また粗面部を測定ダイヤフラムか固定電
極かの片側に、さらには両側に加工した方が、その効果
が増大する。したがって、ときに過大な差圧を受けるこ
とがあっても、正常に差圧検出ができる。しかも、その
方法が、測定ダイヤフラム側か固定電極側かに形成され
る複数個の凸部や、円環状凸部、粗さ面に基づくから、
場合に応じて最適または好適な方法が選択可能で、柔軟
に対応できる。
【図１】この発明に係る第１実施例の断面図
【図２】同じくその第２実施例の断面図
【図３】同じくその第３実施例の断面図
【図４】同じくその第４実施例の断面図
【図５】従来例で差圧を受けないときの断面図
【図６】従来例で過大な差圧を受けたときの断面図
１０ ダイヤフラム １０ａ 凸部 １０ｂ 円環状凸部 １０ｃ 粗面部 １２，１７ 導電性板 １２ａ，１７ａ 凸部 １５，２０ 固定電極
Claims (5)
- 【請求項１】差圧に応じて変位する可動電極としての測
定ダイヤフラムと、この測定ダイヤフラムの各側に配設
される固定電極との間にそれぞれ形成される静電容量に
基づき、その差圧が測定される検出器において、測定ダ
イヤフラムの各表面の中心部に、複数個の微小高さの凸
部が、同心円上に配されて一体形成されてなることを特
徴とする静電容量式差圧検出器。 - 【請求項２】差圧に応じて変位する可動電極としての測
定ダイヤフラムと、この測定ダイヤフラムの各側に配設
される固定電極との間にそれぞれ形成される静電容量に
基づき、その差圧が測定される検出器において、測定ダ
イヤフラムの各表面に相対する固定電極表面の中心部
に、複数個の微小高さの凸部が、同心円上に配されて一
体形成されてなることを特徴とする静電容量式差圧検出
器。 - 【請求項３】差圧に応じて変位する可動電極としての測
定ダイヤフラムと、この測定ダイヤフラムの各側に配設
される固定電極との間にそれぞれ形成される静電容量に
基づき、その差圧が測定される検出器において、微小高
さの円環状凸部が、測定ダイヤフラムの各表面の中心部
に同心に一体形成されてなることを特徴とする静電容量
式差圧検出器。 - 【請求項４】差圧に応じて変位する可動電極としての測
定ダイヤフラムと、この測定ダイヤフラムの各側に配設
される固定電極との間にそれぞれ形成される静電容量に
基づき、その差圧が測定される検出器において、微小高
さの円環状凸部が、測定ダイヤフラムの各表面に相対す
る固定電極表面の中心部に同心に一体形成されてなるこ
とを特徴とする静電容量式差圧検出器。 - 【請求項５】差圧に応じて変位する可動電極としての測
定ダイヤフラムと、この測定ダイヤフラムの各側に配設
される固定電極との間にそれぞれ形成される静電容量に
基づき、その差圧が測定される検出器において、測定ダ
イヤフラムの各表面中心部と、これに相対する固定電極
の表面中心部との少なくとも一方が、粗く表面加工され
てなることを特徴とする静電容量式差圧検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14881394A JPH0815068A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 静電容量式差圧検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14881394A JPH0815068A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 静電容量式差圧検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815068A true JPH0815068A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15461293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14881394A Pending JPH0815068A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 静電容量式差圧検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815068A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001255225A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Anelva Corp | 静電容量型真空センサ |
| JP2004233107A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2004245696A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2016075562A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 大日本印刷株式会社 | 力学量センサおよび力学量測定装置 |
| JP2017049086A (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 微細機械装置 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14881394A patent/JPH0815068A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001255225A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Anelva Corp | 静電容量型真空センサ |
| JP2004233107A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2004245696A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2016075562A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 大日本印刷株式会社 | 力学量センサおよび力学量測定装置 |
| JP2017049086A (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 微細機械装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5447076A (en) | Capacitive force sensor | |
| JP4187923B2 (ja) | 圧力センサー | |
| EP0376631B1 (en) | Differential capacitive pressure sensor with over-pressure protection and method of providing over-pressure protection to a capacitive pressure sensor | |
| JP3447295B2 (ja) | 懸架ダイアフラム圧力センサ | |
| US4998179A (en) | Capacitive semiconductive sensor with hinged diaphragm for planar movement | |
| EP0041886A1 (en) | Capacitive pressure transducer | |
| US6595066B1 (en) | Stopped leadless differential sensor | |
| US4954925A (en) | Capacitive sensor with minimized dielectric drift | |
| US4531415A (en) | Differential pressure transducer | |
| NL8502795A (nl) | Omzetter voor absolute druk. | |
| JP3147778B2 (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JP2008107214A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JPH0815068A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JP4798605B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JP2900235B2 (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
| JPH08193904A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPH06207874A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| GB2266961A (en) | Capacitive differential pressure detector | |
| JP2014126502A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JP2001027571A (ja) | 薄膜型センサ | |
| JP3105087B2 (ja) | 差圧検出器 | |
| JPH0436425Y2 (ja) | ||
| JPH10332511A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JPH0120645Y2 (ja) | ||
| JP2595756B2 (ja) | 静電容量式差圧検出器 |