JP2018031056A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

【課題】成膜被対象物にダメージを与えるのを抑制しつつ、生産効率を向上することができる成膜装置を提供する。【解決手段】成膜装置１は、成膜被対象物６２を固定するための粘着面６０ａを有する搬送媒体６０と、搬送媒体６０が搬入される搬入室１０と、搬送媒体６０が搬出される搬出室２０と、成膜被対象物６２の表面に成膜を行う少なくとも１つの成膜室３０と、搬入室１０、成膜室３０および搬出室２０を連結する複数の連結部４０と、搬送媒体６０を搬送する搬送部３３ａ、３３ｂと、成膜室３０において、上面に搬送媒体６０が配置され、搬送媒体６０に配置された成膜被対象物６２を冷却する冷却台３１とを備え、成膜室３０において、搬送媒体６２を冷却台３１に密着させながら搬送するとともに、成膜被対象物６２の表面に成膜を行う。【選択図】図１

Description

本発明は、成膜装置に関する。

従来、半導体パッケージ等のモジュールは、モジュール内に搭載されている部品が電磁波等の影響を受けるのを抑制するために、モジュールの表面に導電性の薄膜（電磁シールド膜）を有している（例えば、特許文献１参照）。電磁シールド膜は、例えば、スパッタ装置等の成膜装置内でモジュールの表面に成膜されている。

特許文献１に記載の薄膜装置では、トレーに配置されたモジュールをトレーごと成膜装置内に搬入しスパッタすることで、モジュールの表面に電磁シールド膜を形成している。電磁シールド膜を形成する際、モジュールは、端面の一部がトレーに形成されたリブで固定されている。

特開２０１５−１１５５５７号公報

しかし、従来の成膜装置では、トレーに成膜被対象物であるモジュールを固定してトレーごと成膜するため、トレーと接触するモジュールの端面の一部にシールド膜が形成されなかったり、トレーにシールド膜が付着するため次に使用するまでに付着した膜を除去する必要があり、生産効率が向上しないという問題があった。また、成膜時にプラズマエネルギーおよびスパッタ粒子の衝突等の影響によりモジュールが発熱しても、トレーと接触するモジュールの面積が小さいため、トレーを介して放熱を十分に行うことができず、成膜時の発熱によりモジュールがダメージを受けるおそれがあった。

上記課題に鑑み、本発明は、成膜被対象物にダメージを与えるのを抑制しつつ、生産効率を向上することができる成膜装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明にかかる成膜装置の一態様は、成膜被対象物を固定するための粘着面を有する搬送媒体と、前記搬送媒体が搬入される搬入室と、前記搬送媒体が搬出される搬出室と、前記搬入室と前記搬出室との間に配置され、前記成膜被対象物の表面に成膜を行う少なくとも１つの成膜室と、前記搬入室、前記成膜室および前記搬出室を連結する複数の連結部と、前記搬入室、前記成膜室、前記搬出室および前記連結部に設けられ、前記搬送媒体を搬送する搬送部と、前記成膜室において、上面に前記搬送媒体が配置され、前記搬送媒体に配置された前記成膜被対象物を冷却する冷却台とを備え、前記成膜室において、前記搬送媒体を前記冷却台に密着させながら搬送するとともに、前記成膜被対象物の表面に成膜を行う。

これにより、成膜被対象物は、粘着面を有する搬送媒体に固定されて成膜室中を搬送され、搬送されながら成膜される。また、成膜後の成膜被対象物は、搬送媒体から剥離することができる。したがって、成膜被対象物の生産効率を向上することができる。

また、成膜被対象物に成膜するときに搬送媒体が冷却台に密着されるので、搬送媒体に固定された成膜被対象物を十分に冷却することができる。したがって、成膜被対象物が成膜時の発熱によりダメージを受けるのを抑制することができる。

また、前記搬送媒体は、片面に前記粘着面を有するロール式シートであってもよい。

これにより、搬送媒体に複数の成膜被対象物を固定して、搬送媒体を連続して搬送させながら成膜被対象物の表面にシールド膜を形成することができる。したがって、同一条件のシールド膜を効率よく複数個形成することができる。

また、前記搬送媒体は、基材上に前記粘着面を有する粘着層が形成された積層シートであってもよい。

これにより、シールド膜の形成後、積層シートの粘着層が基材から剥離されるので、基材を再利用することができる。

また、前記搬送部は、上搬送ローラおよび下搬送ローラとを有し、前記上搬送ローラおよび前記下搬送ローラとの間に前記搬送媒体を挟んで回転することにより前記搬送媒体を搬送してもよい。

これにより、搬送媒体がロール式シートであっても積層シートであっても、搬送媒体を容易に搬送することができる。

また、前記搬送部は、前記下搬送ローラに代えて、前記搬送媒体に形成された孔と嵌合する突起部を有するチェーンコンベアを有してもよい。

これにより、チェーンコンベアに設けられた突起部と搬送媒体に設けられた孔とが嵌合した状態で搬送媒体が搬送されるので、搬送媒体を安定して搬送することができる。

また、前記上搬送ローラは、前記搬送媒体を前記冷却台に密着させてもよい。

これにより、上搬送ローラが搬送媒体を冷却台に密着させるので、成膜中に成膜被対象物を十分に冷却することができる。

また、前記搬送媒体の進行方向と直交する方向の前記搬送媒体の両側に配置されたガイドを備えてもよい。

これにより、搬送媒体の進行方向の二辺が進行方向にガイドされるので、搬送媒体を安定して搬送することができる。

本発明によれば、成膜被対象物にダメージを与えるのを抑制しつつ、生産効率を向上することができる成膜装置を提供することができる。

実施の形態１にかかる成膜装置の構成を示す概念図である。 実施の形態１にかかる成膜装置の成膜室の構成を示す概念図である。 実施の形態１にかかる成膜装置の成膜室の構成を示す平面図である。 実施の形態１にかかるシートの構成を示す概念図である。 実施の形態１にかかる成膜室におけるシートの移動を説明するための平面図である。 実施の形態１にかかる成膜室におけるシートの移動を説明するための平面図である。 実施の形態１にかかるシートからモジュールを剥離する動作を示す図である。 実施の形態１の変形例にかかる成膜装置の構成の一部を示す図である。 実施の形態２にかかる成膜装置の構成を示す概念図である。 実施の形態２にかかる積層シートの構成を示す概念図である。 実施の形態２にかかる成膜装置の成膜室の構成を示す概念図である。 実施の形態２にかかる成膜室における積層シートの移動を説明するための平面図である。 実施の形態２にかかる積層シートからモジュールを剥離する動作を示す図である。 実施の形態２にかかる積層シートにおいて基材から粘着層を剥離する動作を示す図である。 実施の形態２の変形例にかかる成膜装置の構成の一部を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態などは一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。

（実施の形態１）
以下、実施の形態について、図１〜図８を用いて説明する。

［１．成膜装置の構成］
はじめに、本実施の形態にかかる成膜装置１の構成について説明する。図１は、本実施の形態にかかる成膜装置１の構成を示す概念図である。図２は、本実施の形態にかかる成膜装置１の成膜室３０の構成を示す概念図である。図３は、本実施の形態にかかる成膜装置１の成膜室３０の構成を示す平面図である。図４は、本実施の形態にかかるロール式シート６０の構成を示す概念図である。

本実施の形態にかかる成膜装置１は、シート状の搬送媒体上に配置された複数のモジュールの表面に同時にスパッタを行い、電磁シールドとなる導電性の薄膜（シールド膜）を形成する装置である。

図１に示すように、成膜装置１は、搬入室１０と、搬出室２０と、３つの成膜室３０と、連結部４０と、搬入室１０、搬出室２０および成膜室３０それぞれと連結部４０との間の空間を分離するシャッター５０と、搬送媒体であるロール式シート６０とを備えている。

成膜装置１は、搬入室１０、搬出室２０、３つの成膜室３０および連結部４０に一体に設けられたチャンバー１ａを有している。チャンバー１ａにより、搬入室１０、搬出室２０、３つの成膜室３０および連結部４０の内部の雰囲気は、成膜装置１の外部の雰囲気と分離されている。なお、図１では、成膜装置１の構成についての理解を容易にするために、チャンバー１ａのみ断面図として示している。

搬入室１０は、ロール状に巻き取って使用することが可能なロール式シート６０を搬送媒体として成膜装置１内に搬入し配置する処理室である。搬入室１０は、開閉部（図示せず）を有しており、開閉部を通じて外部から搬入室１０へロール式シート６０が搬入される。ロール式シート６０には、後に詳述するように、成膜被対象物であるモジュール６２が配置されている。

搬入室１０は、シートローラ１２と、巻き取りローラ１４と、複数の搬送ローラ１６を有している。シートローラ１２は、ロール式シート６０がロール状に設置されるローラである。ロール式シート６０の片面は粘着性を有するため、シートローラ１２は、離型フィルムを挟んで巻き取られている。

巻き取りローラ１４は、ロール式シート６０を搬入室１０から成膜室３０へ送り出すときに、上述した離型フィルムを巻き取るための回転ローラである。

また、搬送ローラ１６は、円柱状のローラであり、ロール式シート６０を搬入室１０から成膜室３０へと送り出すためのローラである。搬送ローラ１６は、搬送ローラ１６とシートローラ１２との間、または、搬送ローラ１６同士の間にロール式シート６０を挟みつつ回転することで、ロール式シート６０を搬送する。

搬出室２０は、シールド膜が形成された後のロール式シート６０を巻き取り、成膜装置１から外部へ搬出するための処理室である。搬出室２０は、開閉部（図示せず）を有しており、開閉部を通じて搬出室２０内から外部へロール式シート６０が搬出される。搬出室２０は、巻き取りローラ２２と、複数の搬送ローラ２６とを有している。

巻き取りローラ２２は、シールド膜が成膜されたロール式シート６０を巻き取るための回転ローラである。巻き取りローラ２２は、例えばモータ（図示せず）を備えており、モータにより回転してロール式シート６０を巻き取る。

搬送ローラ２６は、円柱状のローラであり、搬送ローラ２６と巻き取りローラ２２との間、または、搬送ローラ２６同士の間にロール式シート６０を挟みつつ回転することで、ロール式シート６０を巻き取りローラ２２に搬送する。

成膜室３０は、ロール式シート６０上に配置されたモジュール６２に対して成膜を行う処理室である。成膜方法は、例えばスパッタ法である。成膜室３０を複数設けることにより、多層構造の薄膜を形成することができる。多層構造の場合、各層を形成する薄膜の材料および膜厚は適宜変更してもよい。なお、成膜方法は、スパッタ法に限らず蒸着法など他の方法であってもよい。

成膜室３０は、図２および図３に示すように、冷却台３１と、スパッタターゲット３２と、上搬送ローラ３３ａ、３４ａ、３５ａ、３５ｂおよび３５ｃと、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂと、ガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂとを有している。また、成膜室３０は、一般的なスパッタ装置と同様、陽極、陰極、永久磁石、コイル、高周波電源（図示せず）等を備えていてもよい。

冷却台３１は、成膜被対象物であるモジュール６２が配置されたロール式シート６０を載置する載置台であり、冷却機構（図示せず）を有している。また、冷却台３１は、スパッタ装置における陽極としての機能を有する。

冷却機構は、例えば水冷式の機構であり、冷却台の内部に設けられたパイプに冷却水を循環させながら冷却する。なお、冷却機構は、ペルチェ素子を利用したものであってもよいし、冷却台３１の表面にガス噴出口を設置してロール式シート６０にガスを吹き付けて冷却するなど他の方法を用いてもよい。

冷却台３１では、図２に示すように、ロール式シート６０の端部を上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃで冷却台３１に押しつけてロール式シート６０を冷却台３１に密着させつつ搬送する。これにより、ロール式シート６０に配置されたモジュール６２を冷却する。

スパッタターゲット３２は、モジュール６２の表面に形成されるシールド膜の材料を、所定の形状に形成したターゲットである。シールド膜の材料としては、例えばＡｌ、Ｃｕ、Ｎｉ等の金属材料を用いる。多層構造のシールド膜を形成する場合は、必要に応じて材料を変更してもよい。たとえば、モジュール本体との密着層には樹脂材料と密着性が高いＴｉ、ＳＵＳ等の金属材料を選択、最外層には防錆性が高いＮｉ、ＳＵＳ等の金属材料を選択、密着層と最外層の間の層には導電性が高いＡｌ、Ｃｕ等の金属材料やＮｉ等の磁性金属材料を選択してもよい。また、密着層と最外層の間の層は導電性が高い金属材料と磁性金属材料を交互に複数層積層してもよい。スパッタターゲット３２は、冷却台３１に配置されたロール式シート６０と対向するように、ロール式シート６０に対して冷却台３１と反対側の位置に設けられている。スパッタターゲット３２のロール式シート６０と対向する面と反対側の面には、陰極（図示せず）が配置されている。なお、成膜時には、ロール式シート６０に固定されたモジュール６２は、スパッタターゲット３２と対向する位置に配置される。

上搬送ローラ３３ａと下搬送ローラ３３ｂとは、ロール式シート６０を挟んで対となって配置されている。上搬送ローラ３３ａと下搬送ローラ３３ｂは、搬送部として、回転しながらロール式シート６０を搬送する。なお、上搬送ローラ３３ａおよび下搬送ローラ３３ｂは、例えば、少なくとも一方にモータ（図示せず）を有し、モータにより回転してロール式シート６０を搬送する構成であってもよいし、モータを備えない構成であってもよい。同様に、上搬送ローラ３４ａと下搬送ローラ３４ｂとは、ロール式シート６０を挟んで対となって配置されている。上搬送ローラ３４ａと下搬送ローラ３４ｂとは、搬送部として、回転しながらロール式シート６０を搬送する。上搬送ローラ３４ａおよび下搬送ローラ３４ｂは、上搬送ローラ３３ａと下搬送ローラ３３ｂと同様、モータを備えてもよいしモータを備えない構成であってもよい。

上搬送ローラ３３ａおよび３４ａは、円柱状のローラであり、図２および図３に示すように、ロール式シート６０の進行方向に沿った冷却台３１の対向する二辺側に、下端が冷却台３１の上面と略同一の高さとなるように配置されている。また、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂは、ロール式シート６０の進行方向と直交する方向の冷却台３１の幅と略同一の長さを有する円柱状のローラである。下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂは、上端が冷却台３１の上面と略同一の高さとなるように配置されている。

上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃは、円柱状のローラであり、上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃのそれぞれと冷却台３１との間にロール式シート６０を挟むように、ロール式シート６０の進行方向に沿った冷却台３１の対向する二辺に配置されている。これにより、ロール式シート６０は、ロール式シート６０の進行方向に沿った両側の端部が上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃのそれぞれと冷却台３１との間に挟まれ、ロール式シート６０は冷却台３１に接触することとなる。したがって、ロール式シート６０の上に固定されたモジュール６２は、冷却台３１により冷却される。

ガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂは、ロール式シート６０の進行方向と直交する方向の両側に配置されている。ガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂは、ロール式シート６０の進行方向と直交する方向にロール式シート６０がずれるのを抑制するガイドである。図３に示すように、ガイド３６ａおよび３６ｂは、上搬送ローラ３５ａと３５ｂとの間に配置されている。同様に、ガイド３７ａおよび３７ｂは、上搬送ローラ３５ｂと３５ｃとの間に配置されている。

連結部４０は、搬入室１０と成膜室３０、搬出室２０と成膜室３０、および成膜室３０同士を連結するための連結部である。連結部４０は、図１に示したように、上搬送ローラ４２ａおよび４４ａと、下搬送ローラ４２ｂおよび４４ｂとを有している。上搬送ローラ４２ａおよび下搬送ローラ４２ｂとは、ロール式シート６０を挟んで対となって配置されている。同様に、上搬送ローラ４４ａおよび下搬送ローラ４４ｂとは、ロール式シート６０を挟んで対となって配置されている。

上搬送ローラ４２ａおよび４４ａと、下搬送ローラ４２ｂおよび４４ｂとは、上述した上搬送ローラ３３ａおよび３４ａ、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂと同様、搬送部として、回転しながらロール式シート６０を搬送する。上搬送ローラ４２ａおよび４４ａと下搬送ローラ４２ｂおよび４４ｂとは、上搬送ローラ３３ａと下搬送ローラ３３ｂと同様、モータを備えてもよいしモータを備えない構成であってもよい。

シャッター５０は、連結部４０と、搬入室１０、搬出室２０および成膜室３０との間にそれぞれ設けられている。シャッター５０は、搬入室１０、搬出室２０および成膜室３０それぞれと連結部４０との間の空間を分離し、連結部４０と、搬入室１０、搬出室２０および成膜室３０のそれぞれの雰囲気（例えば、真空度）を保つための開閉扉である。シールド膜の形成時にはロール式シート６０は搬入室１０から搬出室２０まで連続して配置されるので、連結部４０と、搬入室１０、搬出室２０および成膜室３０のそれぞれにおけるシャッター５０は、すべて開放状態とされる。また、ロール式シート６０を搬入室１０へ搬入するとき、および、ロール式シート６０を搬出室２０から搬出するときには、シャッター５０はすべて閉塞状態とされる。なお、シャッター５０は、手動で開閉されるものであってもよいし、モータ等により開閉されるものであってもよい。

ロール式シート６０は、図４に示すように、片面が粘着面６０ａである長尺の粘着シートである。ロール式シート６０は、長尺の粘着シートがロール状に巻かれた、ロール式のシートである。ロール式シート６０の粘着面６０ａには、モジュール６２が固定されている。上述したように、ロール式シート６０は、粘着面６０ａにモジュール６２が固定された状態で、ロール状に巻かれている。このとき、粘着面６０ａがロール式シート６０の裏側に貼り付かないように、離型フィルムを挟んでいてもよい。

図５および図６は、本実施の形態にかかる成膜室３０におけるロール式シート６０の移動の状態を説明するための平面図である。

成膜室３０においてシールド膜を形成するときには、ロール式シート６０は、図５および図６に示すように、上搬送ローラ３３ａ、３４ａと下搬送ローラ３３ｂ、３４ｂにより、ロール式シート６０の端から順に一定の速度で搬送される。また、連結部４０においては、ロール式シート６０は、上搬送ローラ４２ａおよび４４ａと下搬送ローラ４２ｂおよび４４ｂとにより一定の速度で搬送される。これにより、ロール式シート６０に固定されたモジュール６２は、搬入室１０から成膜室３０を通過して搬出室２０まで一定の速度で通過する。このとき、各成膜室３０でスパッタが行われることにより、各モジュール６２に対して同一条件の複数のシールド膜が連続して形成される。

また、このとき、ロール式シート６０は、上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃにより冷却台３１に密着させられつつ搬送される。これにより、シールド膜の形成中、ロール式シート６０に配置されたモジュール６２は冷却される。

シールド膜の厚さの調整には、各成膜室３０でのスパッタレートを調整したり、スパッタターゲット３２の大きさおよび個数を調整したり、ロール式シート６０の搬送速度を調整することで対応することができる。また、同材料のスパッタターゲット３２を有する成膜室３０を連続して複数室連結することで、成膜の回数を増加してもよい。

図７は、本実施の形態にかかるシートからモジュールを剥離する動作を示す図である。シールド膜が形成されたモジュール６２は、搬出室２０からロール式シート６０が取り出された後、図７に示すように、ロール式シート６０から剥離される。これにより、個々のモジュール６２を得ることができる。ロール式シート６０から剥離されたモジュール６２では、ロール式シート６０と接触していなかった面にはシールド膜が形成され、ロール式シート６０と接触していた面のみシールド膜が形成されていない。なお、モジュール６２が剥離された後のロール式シート６０は廃棄される。

［２．効果等］
以上、本実施の形態にかかる成膜装置１によると、粘着面６０ａを有するロール式シート６０にモジュール６２を固定して、ロール式シート６０を一定の速度で連続して成膜室３０を通過させながらシールド膜を形成することができる。したがって、同一条件のシールド膜が形成された複数のモジュール６２を得ることができる。また、ロール式シート６０を一定の速度で連続して移動させながらシールド膜を形成するので、モジュール６２の生産効率は向上する。

また、ロール式シート６０は、成膜室３０に配置された冷却台３１の上に密着されるので、モジュール６２を冷却しながらシールド膜を形成することができる。したがって、モジュール６２が発熱によりダメージを受けるのを抑制することができる。

さらに、シールド膜の形成後は、モジュール６２はロール式シート６０から剥離され、ロール式シート６０は廃棄されるので、従来のように、トレーに付着したシールド膜を除去する必要はない。

以上により、成膜装置１において、モジュール６２にダメージを与えるのを抑制しつつ、生産効率を向上することができる。

（変形例）
次に、本実施の形態の変形例１について説明する。本変形例における成膜装置は、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂに代えてチェーンコンベア４６を備えている点が、実施の形態１に示した成膜装置１と異なっている。

図８は、本実施の形態の変形例にかかる成膜装置の構成の一部を示す図である。図８の（ａ）および（ｂ）では、成膜室３０における冷却台３１の、ロール式シート６０の進行方向の前後両側に配置されるチェーンコンベア４６とその周辺の構成を示している。

チェーンコンベア４６は、成膜室３０における冷却台３１の、ロール式シート６０の進行方向の左右両側に配置されている。つまり、チェーンコンベア４６は、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂに代えて配置されている。

チェーンコンベア４６は、図８の（ａ）に示すように、ロール式シート６０の進行方向に沿った両端の下に配置されている。チェーンコンベア４６は、例えば合金等により構成された複数の板状の部材がチェーン状に組み合わされ、回転する構成をしていてもよい。チェーンコンベア４６は、板状の本体部４６ａと、本体部４６ａの表面に突出するように配置された突起部４７とを有している。また、ロール式シート６０には、突起部４７と嵌合する孔６４が形成されている。突起部４７の高さは、例えば図８の（ｂ）に示すように、ロール式シート６０の厚さより高くなっている。なお、突起部４７の高さは、ロール式シート６０と同一の高さであってもよいし、ロール式シート６０の高さよりも低くてもよい。

チェーンコンベア４６の上方には、上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃが配置されている。上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃは、円柱状のローラである。上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃは、上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃのそれぞれとチェーンコンベア４６との間にロール式シート６０の進行方向に沿った両端を挟むように、チェーンコンベア４６の上に配置されている。これにより、ロール式シート６０は、チェーンコンベア４６の移動に伴って搬送される。

この構成では、ロール式シート６０は、突起部４７が孔６４に嵌合した状態で搬送されるので、ロール式シート６０の進行方向と直交する方向にずれることなく安定して搬送される。したがって、実施の形態１にかかる成膜装置１が備えていたガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂを設ける必要がないので、装置の構成を簡略化することができる。

なお、本変形例にかかる成膜装置は、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂに代えてチェーンコンベア４６を用いる場合であっても、ガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂを有していてもよい。

（実施の形態２）
次に、実施の形態２について、図９〜１４を用いて説明する。

本実施の形態にかかる成膜装置２が実施の形態１にかかる成膜装置１と異なる点は、実施の形態１に示したロール式シート６０に代えて、積層シート１１０を用いる点である。なお、以下において、実施の形態１に示した成膜装置１と同様の構成については、詳細な説明は省略する。

図９は、本実施の形態にかかる成膜装置２の構成を示す概念図である。図１０は、本実施の形態にかかる積層シート１１０の構成を示す概念図である。

図９に示すように、成膜装置２は、実施の形態１に示した成膜装置１と同様、搬入室１０と、搬出室２０と、３つの成膜室３０と、連結部４０と、シャッター５０と、搬送媒体である積層シート１１０とを備えている。

搬入室１０は、後に詳述する積層シート１１０を成膜装置２内に搬入し配置する処理室である。積層シート１１０には、成膜被対象物であるモジュール６２が配置されている。
積層シート１１０は、図９に示すように、ラック１０１に配置された状態でラック１０１ごと搬入室１０に配置される。ラック１０１は、複数の積層シート１１０が配置されるように、複数の段を有するラックである。

また、搬入室１０は、上搬送ローラ１０２ａおよび１０３ａと、下搬送ローラ１０２ｂおよび１０３ｂとを有している。上搬送ローラ１０２ａおよび下搬送ローラ１０２ｂとは、積層シート１１０を挟んで対となって配置されている。同様に、上搬送ローラ１０３ａおよび下搬送ローラ１０３ｂとは、積層シート１１０を挟んで対となって配置されている。

上搬送ローラ１０２ａおよび１０３ａと、下搬送ローラ１０２ｂおよび１０３ｂとは、上述した上搬送ローラ３３ａおよび３４ａ、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂと同様、搬送部として、回転しながら積層シート１１０を搬送する。上搬送ローラ１０２ａおよび下搬送ローラ１０２ｂは、上搬送ローラ３３ａと下搬送ローラ３３ｂと同様、モータを備えてもよいしモータを備えない構成であってもよい。

搬出室２０は、シールド膜が形成された後の積層シート１１０を成膜装置２から搬出するための処理室である。

シールド膜が形成された後の積層シート１１０は、図９に示すように、ラック２０１に配置され、ラック２０１に配置された状態でラック２０１ごと搬入室１０から搬出される。ラック２０１は、ラック１０１と同様の構成であり、複数の積層シート１１０が配置されるように、複数の段を有するラックである。

また、搬出室２０は、上搬送ローラ２０２ａおよび２０３ａと、下搬送ローラ２０２ｂおよび２０３ｂとを有している。上搬送ローラ２０２ａおよび下搬送ローラ２０２ｂとは、積層シート１１０を挟んで対となって配置されている。同様に、上搬送ローラ２０３ａおよび下搬送ローラ２０３ｂとは、積層シート１１０を挟んで対となって配置されている。

上搬送ローラ２０２ａおよび２０３ａと、下搬送ローラ２０２ｂおよび２０３ｂは、上述した上搬送ローラ１０２ａおよび１０３ａ、下搬送ローラ１０２ｂおよび１０３ｂと同様の構成であるため、詳細な説明は省略する。

積層シート１１０は、図１０に示すように、基材１１１と粘着層１１２とを有している。基材１１１は、例えば、Ａｌ等の熱伝導率が高い金属で構成されている。粘着層１１２は、両面が粘着性を有する粘着面である。粘着層１１２の一方の面は、基材１１１に貼り付けられている。粘着層１１２の他方の面には、図１０に示すように、モジュール６２が固定されている。

積層シート１１０の大きさは、積層シート１１０が搬送されるときの進行方向の長さが、冷却台３１と上搬送ローラ３３ａおよび３４ａとの間の距離よりも大きければどのような大きさであってもよい。また、積層シート１１０の大きさは、上搬送ローラ３４ａと上搬送ローラ４２ａ、上搬送ローラ４４ａと上搬送ローラ３３ａとの間の距離よりも大きければよい。

図１１は、本実施の形態にかかる成膜装置２の成膜室３０の構成を示す概念図である。図１２は、本実施の形態にかかる成膜室３０における積層シート１１０の移動を説明するための平面図である。

成膜室３０においてシールド膜を形成するときには、積層シート１１０は、図１１に示すように、上搬送ローラ３３ａ、３４ａと下搬送ローラ３３ｂ、３４ｂにより一定の速度で搬送される。また、連結部４０においては、積層シート１１０は、上搬送ローラ４２ａおよび４４ａと下搬送ローラ４２ｂおよび４４ｂとにより一定の速度で搬送される。これにより、積層シート１１０に固定されたモジュール６２は、搬入室１０から成膜室３０を通過して搬出室２０まで一定の速度で通過する。このとき、各成膜室３０でスパッタが行われることにより、各モジュール６２に対して同一条件の複数のシールド膜が連続して形成される。

また、このとき、積層シート１１０は、図１２に示すように、上搬送ローラ３５ａ、３５ｂおよび３５ｃにより冷却台３１に密着させられつつ搬送される。これにより、シールド膜の形成中、積層シート１１０に配置されたモジュール６２は冷却される。

なお、本実施の形態にかかる成膜室３０は、実施の形態１に示した成膜室３０と同様、積層シート１１０の進行方向と直交する方向の両側にガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂを有してもよい。ガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂにより、積層シート１１０の進行方向と直交する方向に積層シート１１０がずれるのを抑制することができる。

また、シールド膜の厚さの調整には、各成膜室３０でのスパッタレートを調整したり、スパッタターゲット３２の大きさおよび個数を調整することで対応することができる。また、同材料のスパッタターゲット３２を有する成膜室３０を連続して複数室連結することで、成膜の回数を増加してもよい。

図１３は、本実施の形態にかかる積層シート１１０からモジュール６２を剥離する動作を示す図である。

シールド膜が形成されたモジュール６２は、搬出室２０から積層シート１１０が取り出された後、図１３に示すように、積層シート１１０から剥離される。搬出室２０からから搬出された積層シート１１０は、粘着層の粘着力を低下させるために加熱される。そして、粘着力が低下した積層シート１１０から、モジュール６２が剥離される。これにより、個々のモジュール６２を得ることができる。

なお、積層シート１１０から剥離されたモジュール６２では、積層シート１１０と接触していなかった面にはシールド膜が形成され、積層シート１１０と接触していた面のみシールド膜が形成されていないこととなる。

図１４は、本実施の形態にかかる積層シート１１０において基材１１１から粘着層１１２を剥離する動作を示す図である。上述したように、搬出室２０からから搬出された積層シート１１０は、粘着層の粘着力を低下させるために加熱される。これにより、積層シート１１０の粘着層１１２は基材１１１から剥離しやすい状態となる。モジュール６２が剥離された後、図１４に示すように、積層シート１１０の粘着層１１２は基材１１１から剥離される。剥離された粘着層１１２は、廃棄される。

以上、本実施の形態にかかる成膜装置２によると、基材１１１に粘着層１１２が形成された積層シート１１０にモジュール６２を固定し、積層シート１１０を一定の速度で連続して成膜室３０を通過させながらシールド膜を形成することができる。したがって、同一条件のシールド膜が形成された複数のモジュール６２を得ることができる。また、積層シート１１０を一定の速度で連続して移動させながらシールド膜を形成するので、モジュール６２の生産効率は向上する。

また、積層シート１１０は、成膜室３０に配置された冷却台３１の上に密着されるので、モジュール６２を冷却しながらシールド膜を形成することができる。したがって、モジュール６２が発熱によりダメージを受けるのを抑制することができる。

さらに、シールド膜の形成後は、積層シート１１０の粘着層１１２は、基材１１１から剥離されるので、従来のように、トレーに付着したシールド膜を除去する必要はなく、基材１１１を再度使用することができる。

なお、本実施の形態にかかる成膜装置２においても、実施の形態１の変形例と同様、下搬送ローラ３３ｂおよび３４ｂに代えてチェーンコンベア４６を備える構成としてもよい。

図１５は、本実施の形態の変形例にかかる成膜装置の構成の一部を示す図である。図１５の（ａ）および（ｂ）では、成膜室３０における冷却台３１の、積層シート１１０の進行方向の前後両側に配置されるチェーンコンベア４６とその周辺の構成を示している。

すなわち、チェーンコンベア４６は、図１５の（ａ）に示すように、積層シート１１０の進行方向に沿った両端の下に配置されている。チェーンコンベア４６は、板状の本体部４６ａと、本体部４６ａの表面に突出するように配置された突起部４７とを有している。また、積層シート１１０には、突起部４７と嵌合する孔１６４が形成されている。また、チェーンコンベア４６の上方には、上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃが配置されている。

なお、チェーンコンベア４６および上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃの構成については、実施の形態１に示したチェーンコンベア４６および上搬送ローラ４５ａ、４５ｂおよび４５ｃと同様であるため、詳細な説明は省略する。

この構成では、積層シート１１０は、突起部４７が孔１６４に嵌合した状態で搬送されるので、積層シート１１０の進行方向と直交する方向にずれることなく安定して搬送される。したがって、上述した成膜装置２が備えていたガイド３６ａ、３６ｂ、３７ａおよび３７ｂを設ける必要がないので、装置の構成を簡略化することができる。

（その他の実施の形態）
なお、本発明は、上述した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、例えば以下に示す変形例のように、適宜変更を加えてもよい。

例えば、上述した実施の形態にかかる成膜装置では、成膜方法としてスパッタを用いたが、スパッタに限らず蒸着法など他の方法を用いてもよい。

また、上述した実施の形態にかかる成膜装置では、成膜室に配置された冷却台の冷却機構として水冷式の機構を用いたが、冷却機構は、ペルチェ素子を利用したものであってもよいし、冷却台の表面にガス噴出口を設置してシートにガスを吹き付けて冷却する方法など他の方法を用いてもよい。

また、搬送媒体であるシートは、片面のみ粘着性を有するものに限らず、両面に粘着性を有するものであってもよい。この場合、シートの粘着面が互いに接触するのを防ぐために、シートを巻き取るときにシートの間に離型フィルムを挟んでもよい。

また、シートは、ロール状のシートに限らず、基材に粘着層が形成された積層シートであってもよい。この場合、搬入室への積層シートの搬入、および、搬出室からの積層シートの搬出は、ラックを用いてラックごと積層シートを搬入および搬出してもよい。

また、シートまたは積層シートの搬送には、上搬送ローラおよび下搬送ローラを用いることに限らず、例えば、下搬送ローラの代わりにチェーンコンベアを用いてもよい。

また、成膜被対象物であるモジュールの表面に形成されるシールド膜の厚さの調整には、各成膜室でのスパッタレートを調整したり、スパッタターゲットの大きさおよび個数を調整したり、シートの搬送速度を調整することで対応してもよい。また、同材料のスパッタターゲットを有する成膜室を連続して複数室連結することで、成膜の回数を増加してもよい。

その他、上述の実施の形態及び変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、又は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上述の実施の形態及び変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

本発明は、基板の両面に配置された電子部品等が樹脂封止された成膜装置、当該成膜装置を備えた回路装置等に利用することができる。

１、２ 成膜装置
１ａ チャンバー
１０ 搬入室
１２ シートローラ
１４、２２ 巻き取りローラ
１６、２６ 搬送ローラ
２０ 搬出室
３０ 成膜室
３１ 冷却台
３２ スパッタターゲット
３３ａ、３４ａ、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、４２ａ、４４ａ、４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、１０２ａ、１０３ａ、２０２ａ、２０３ａ 上搬送ローラ
３３ｂ、３４ｂ、４２ｂ、４４ｂ、１０２ｂ、１０３ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ 下搬送ローラ
３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂ ガイド
４０ 連結部
４６ チェーンコンベア
４６ａ 本体部
４７ 突起部
５０ シャッター
６０ ロール式シート（搬送媒体）
６２ モジュール（成膜被対象物）
６４、１６４ 孔
１０１、２０１ ラック
１１０ 積層シート（搬送媒体）
１１１ 基材
１１２ 粘着層

Claims (7)

1. 成膜被対象物を固定するための粘着面を有する搬送媒体と、
   前記搬送媒体が搬入される搬入室と、
   前記搬送媒体が搬出される搬出室と、
   前記搬入室と前記搬出室との間に配置され、前記成膜被対象物の表面に成膜を行う少なくとも１つの成膜室と、
   前記搬入室、前記成膜室および前記搬出室を連結する複数の連結部と、
   前記搬入室、前記成膜室、前記搬出室および前記連結部に設けられ、前記搬送媒体を搬送する搬送部と、
   前記成膜室において、上面に前記搬送媒体が配置され、前記搬送媒体に配置された前記成膜被対象物を冷却する冷却台とを備え、
   前記成膜室において、前記搬送媒体を前記冷却台に密着させながら搬送するとともに、前記成膜被対象物の表面に成膜を行う、
   成膜装置。
2. 前記搬送媒体は、片面に前記粘着面を有するロール式シートである、
   請求項１に記載の成膜装置。
3. 前記搬送媒体は、基材上に前記粘着面を有する粘着層が形成された積層シートである、
   請求項１または２に記載の成膜装置。
4. 前記搬送部は、上搬送ローラおよび下搬送ローラとを有し、前記上搬送ローラおよび前記下搬送ローラとの間に前記搬送媒体を挟んで回転することにより前記搬送媒体を搬送する、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置。
5. 前記搬送部は、前記下搬送ローラに代えて、前記搬送媒体に形成された孔と嵌合する突起部を有するチェーンコンベアを有する、
   請求項４に記載の成膜装置。
6. 前記上搬送ローラは、前記搬送媒体を前記冷却台に密着させる、
   請求項４または５に記載の成膜装置。
7. 前記搬送媒体の進行方向と直交する方向の前記搬送媒体の両側に配置されたガイドを備える、
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の成膜装置。

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