JP2018026138A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 流体を分配するための装置であって、
   チャンバ入口開口部とチャンバ出口開口部とを有するチャンバを画定する作動液ハウジングと、
   前記チャンバ内に配置された細長いブラダであって、該細長いブラダは、前記チャンバ入口開口部から前記チャンバ出口開口部まで延び、前記チャンバ入口開口部と前記チャンバ出口開口部との間で直線的な流体流路を画定し、前記チャンバ内で横方向に膨張しおよび横方向に収縮するように構成され、その結果、前記細長いブラダがプロセス流体の体積を含むとき、前記細長いブラダ内のプロセス流体の前記体積が増大可能および減少可能である、細長いブラダと、
   前記チャンバ出口開口部を分配ノズルに接続するプロセス流体導管と、
   前記装置のノズル領域内の前記プロセス流体のメニスカスの位置を連続的に監視するように構成されたメニスカスセンサであって、メニスカス位置データを連続的に伝達するように構成されたメニスカスセンサと、
   前記メニスカス位置データを受信するように構成された制御器であって、該制御器は、前記細長いブラダの膨張を引き起こしつつ前記細長いブラダの外面に対する作動液圧力を選択的に低減し、および、前記細長いブラダの収縮を引き起こしつつ前記細長いブラダの前記外面に対する作動液圧力を選択的に増大する圧力制御システムを起動することによって、前記ノズル領域内の所定の位置に前記プロセス流体の前記メニスカスの位置を維持するように構成された制御器と、を含み、
   前記装置はさらに、前記細長いブラダの外面に及ぼされる作動液圧力を増大することによって、前記分配ノズルからの前記プロセス流体の分配を開始するように構成され、および
   前記装置はさらに、前記細長いブラダの前記外面に及ぼされる作動液圧力を低減することによって、前記分配ノズルからの前記プロセス流体の分配を停止し、前記ノズル領域内の所定の位置に前記メニスカスの前記プロセス流体の位置をサックバックするように構成される、
   装置。
2. 前記制御器は、前記メニスカスセンサからの連続的に受信されるメニスカス位置データに基づいて、前記細長いブラダの前記外面に対する作動液圧力を連続的に調整するように構成される、請求項１に記載の装置。
3. 前記メニスカスセンサは、光学センサ、容量性センサ、ビジョンカメラシステム、超音波センサ、および時間領域反射率計から構成される群から選択されたセンサを含む、請求項１に記載の装置。
4. 前記光学センサは、前記分配ノズルの前記ノズル領域に取り付けられたカメラを含む、請求項３に記載の装置。
5. 前記光学センサは、前記分配ノズルの前記ノズル領域を確認するために配置される、請求項３に記載の装置。
6. 前記メニスカスセンサは、１秒当たり１０サンプルを超える頻度でメニスカスの位置データを取得するように構成される、請求項１に記載の装置。
7. 前記メニスカスセンサは前記分配ノズルに配置される、請求項１に記載の装置。
8. 前記制御器は、前記細長いブラダの外面に及ぼされる作動液圧力を低減することによってサックバック動作を実行するように構成される、請求項１に記載の装置。
9. 前記ノズル領域は、前記分配ノズルのテーパ部分を少なくとも含む、請求項１に記載の装置。
10. 前記細長いブラダは、プロセス流体が前記分配ノズルから分配されていない間に、および、前記プロセス流体の前記メニスカスの位置を前記ノズル領域内の所定の位置に維持している間に、膨張して、プロセス流体のある充填量を収集するように構成される、請求項１に記載の装置。
11. 前記装置はプロセス流体弁およびプロセス流体フィルタを含み、前記プロセス流体フィルタは前記細長いブラダの上流に配置され、前記プロセス流体弁は前記プロセス流体フィルタの上流に配置され、前記制御器は、前記プロセス流体弁が開放状態にある間に、前記メニスカスを前記所定の領域内に維持するようにさらに構成される、請求項１に記載の装置。
12. 前記制御器は、前記プロセス流体弁が開放状態にある間に、前記プロセス流体を前記所定のメニスカス位置までサックバックするようにさらに構成される、請求項１１に記載の装置。
13. 前記装置は、前記細長いブラダと前記分配ノズルとの間に、前記プロセス流体導管を通るプロセス流体流を完全に遮断できる弁がない、請求項１２に記載の装置。
14. 前記分配ノズル内のプロセス流体と接触することなく前記分配ノズルを部分的に取り囲むまたは完全に取り囲む蒸発防止装置をさらに含む、請求項１に記載の装置。
15. 前記プロセス流体の前記メニスカスと接触するように溶媒を流すことができるように気相の前記溶媒を前記分配ノズルの開口領域に送達するように構成された溶媒送達ユニットをさらに含む、請求項１に記載の装置。
16. 流体を分配するための装置であって、
    チャンバ入口開口部とチャンバ出口開口部とを有するチャンバを画定する作動液ハウジングと、
    前記チャンバ内に配置された細長いブラダであって、該細長いブラダは、前記チャンバ入口開口部から前記チャンバ出口開口部まで延び、前記チャンバ入口開口部と前記チャンバ出口開口部との間で直線的な流体流路を画定し、前記チャンバ内で横方向に膨張しおよび横方向に収縮するように構成され、その結果、前記細長いブラダがプロセス流体の体積を含むとき、前記細長いブラダ内のプロセス流体の前記体積が増大可能および減少可能である、細長いブラダと、
    前記チャンバ出口開口部を分配ノズルに接続するプロセス流体導管と、
    前記装置のノズル領域内の前記プロセス流体のメニスカスの位置を連続的に監視するように構成されたメニスカスセンサであって、メニスカス位置データを連続的に伝達するように構成されたメニスカスセンサと、
    前記メニスカス位置データを受信するように構成された制御器であって、該制御器は、前記細長いブラダの膨張を引き起こしつつ前記細長いブラダの外面に対する作動液圧力を選択的に低減し、および、前記細長いブラダの収縮を引き起こしつつ前記細長いブラダの前記外面に対する作動液圧力を選択的に増大する圧力制御システムを起動することによって、前記ノズル領域内の所定の位置に前記プロセス流体の前記メニスカスの位置を維持するように構成された制御器と、
    前記チャンバに挿入可能でありかつ前記チャンバから後退可能である変位部材をさらに含む、
    装置。
17. 前記制御器は、前記チャンバから前記変位部材の一部を後退させることによって前記細長いブラダの膨張を引き起こしつつ前記細長いブラダに対する作動液圧力を選択的に低減する体積制御システムを起動するように構成され、前記制御器が、前記作動液ハウジングに前記変位部材の一部を挿入することによって前記細長いブラダの収縮を引き起こしつつ前記細長いブラダに対する作動液圧力を選択的に増大する体積制御システムを起動するように構成される、請求項１６に記載の装置。
18. 流体を分配するための装置であって、
    チャンバ入口開口部とチャンバ出口開口部とを有するチャンバを画定する作動液ハウジングと、
    前記チャンバ内に配置された細長いブラダであって、該細長いブラダは、前記チャンバ入口開口部から前記チャンバ出口開口部まで延び、前記チャンバ入口開口部と前記チャンバ出口開口部との間で直線的な流体流路を画定し、前記チャンバ内で横方向に膨張しおよび横方向に収縮するように構成され、その結果、前記細長いブラダがプロセス流体の体積を含むとき、前記細長いブラダ内のプロセス流体の前記体積が増大可能および減少可能である、細長いブラダと、
    前記チャンバ出口開口部を分配ノズルに接続するプロセス流体導管と、
    前記装置のノズル領域内の前記プロセス流体のメニスカスの位置を連続的に監視するように構成されたメニスカスセンサであって、メニスカス位置データを連続的に伝達するように構成されたメニスカスセンサと、
    前記メニスカス位置データを受信するように構成された制御器であって、該制御器は、前記細長いブラダの膨張を引き起こしつつ前記細長いブラダの外面に対する作動液圧力を選択的に低減し、および、前記細長いブラダの収縮を引き起こしつつ前記細長いブラダの前記外面に対する作動液圧力を選択的に増大する圧力制御システムを起動することによって、前記ノズル領域内の所定の位置に前記プロセス流体の前記メニスカスの位置を維持するように構成された制御器と、
    前記細長いブラダの所定の容量までの膨張を許容し、前記所定の容量を超える膨張を防止するようにサイズを決められたブラダ膨張抑制部分をさらに含み、前記ブラダ膨張抑制部分は、前記チャンバが作動液を含むときに前記作動液が前記細長いブラダの外面と接触するように１つまたは複数の開口部を画定する、
    装置。