JP2008128178A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- 容積可変部材の変位に伴うポンプ室内の容積変化により吸入口から吸入された薬液を吐出口を介して吐出する薬液供給ポンプと、
前記吐出口及び前記吸入口の少なくとも一方を電気的に開閉する開閉手段と、
前記容積可変部材を介して前記ポンプ室内に圧力を印加する圧力印加手段と、
前記容積可変部材の変位量を検出する検出手段と、
前記少なくとも一方を開口させる際に前記検出手段によって検出される変動量をフィードバック制御すべく、前記少なくとも一方の開口前に前記圧力印加手段によって前記ポンプ室内に印加される圧力を操作するフィードバック手段とを備えることを特徴とする薬液供給システム。 - 前記フィードバック手段は、前記変動量の目標値をゼロとすることを特徴とする請求項１記載の薬液供給システム。
- 前記開閉手段は、前記吐出口を電気的に開閉する手段であり、
前記フィードバック手段は、前記吐出口を開口させる際に前記検出手段によって検出される変動量をフィードバック制御することを特徴とする請求項１又は２記載の薬液供給システム。 - 前記薬液供給ポンプを複数備え、
該複数の薬液供給ポンプの吐出口を共通の薬液供給口に接続するとともに、薬液の吸入期間と吐出期間とを複数の薬液供給ポンプ間で重複させることで前記薬液供給口を介して連続的に薬液を外部に供給することを特徴とする請求項３記載の薬液供給システム。 - 前記容積可変部材の変位により前記ポンプ室内の容積を拡大することで薬液を吸入する際、前記容積可変部材の変位量を前記ポンプ室内の容積が最大値未満となるように制限する制限手段を備えることを特徴とする請求項３又は４記載の薬液供給システム。
- 前記圧力印加手段は、前記容積可変部材を介して前記ポンプ室から仕切られる圧力作用室内の気体の圧力によって前記ポンプ室内に圧力を印加する手段であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の薬液供給システム。
- 前記薬液の吐出に際し、前記容積可変部材の変位速度の目標値を設定する設定手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき前記容積可変部材の実際の変位速度を算出する算出手段と、
前記実際の変位速度をその目標値にフィードバック制御すべく、前記圧力作用室内の圧力を調節する手段とを更に備えることを特徴とする請求項６記載の薬液供給システム。 - 前記容積可変部材は、軸方向に伸縮可能なベローズを備えて構成され、
前記検出手段は、前記ベローズの伸縮量を前記変位量として検出することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の薬液供給システム。 - 容積可変部材の変位に伴うポンプ室内の容積変化により吸入口から吸入された薬液を吐出口を介して吐出する薬液供給ポンプと、前記吐出口及び前記吸入口の少なくとも一方を電気的に開閉する開閉手段と、前記容積可変部材を介して前記ポンプ室内に圧力を印加する圧力印加手段と、前記容積可変部材の変位量を検出する検出手段とを備える薬液供給装置について、前記検出手段の検出結果に基づき薬液の供給量を制御する薬液供給制御装置において、
前記少なくとも一方を開口させる際に前記検出手段によって検出される変動量をフィードバック制御すべく、前記少なくとも一方の開口前に前記圧力印加手段によって前記ポンプ室内に印加される圧力を操作するフィードバック手段を備えることを特徴とする薬液供給制御装置。 - 前記フィードバック手段は、前記変動量の目標値をゼロとすることを特徴とする請求項９記載の薬液供給制御装置。
- 前記開閉手段は、前記吐出口を電気的に開閉する手段であり、
前記フィードバック手段は、前記吐出口を開口させる際に前記検出手段によって検出される変動量をフィードバック制御することを特徴とする請求項９又は１０記載の薬液供給制御装置。 - 前記薬液供給装置は、前記薬液供給ポンプを複数備えて且つ、該複数の薬液供給ポンプの吐出口が共通の薬液供給口に接続されており、
薬液の吸入期間と吐出期間とを前記複数の薬液供給ポンプ間で重複させるように制御することで前記薬液供給口を介して連続的に薬液を外部に供給することを特徴とする請求項１１記載の薬液供給制御装置。 - 前記容積可変部材の変位により前記ポンプ室内の容積を拡大することで薬液を吸入する際、前記容積可変部材の変位量を前記ポンプ室内の容積が最大値未満となるように制限する制限手段を備えることを特徴とする請求項１１又は１２記載の薬液供給制御装置。
- 前記圧力印加手段は、前記容積可変部材を介して前記ポンプ室から仕切られる圧力作用室内の気体の圧力を調節する手段であり、
前記薬液の吐出に際し、前記容積可変部材の変位速度の目標値を設定する設定手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき前記容積可変部材の実際の変位速度を算出する算出手段と、
前記実際の変位速度をその目標値にフィードバック制御すべく、前記圧力作用室内の圧力を調節する手段とを更に備えることを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載の薬液供給制御装置。
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