JP2018023030A - モード変換器及びモード変換器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このピンは、基板にレーザー光を照射して、基板の一方の主面から所定の深さまで改質部を形成し、この改質部をエッチングにより除去して孔部を形成し、この孔部の内部に導電性物質を導入することで形成することができる。
なお、孔部の先端部の直径を大きくする目的でエッチング時間を長くした場合、上述の通りエッチングが等方的に進行するため、基板の一方の主面側における孔部の直径も大きくなってしまう。この場合、基板の一方の主面側において伝送線路からピンに導かれるミリ波信号の反射を抑えるために、伝送線路の設計変更が必要になり、また、伝送線路の配線パターン面積が大きくなるといった問題がある。
(3)上記(2)に記載されたモード変換器であって、前記先端部の直径をa、前記縮径部の最小径をbとしたときに、1.1≦a/b≦1.3の関係を有してもよい。
(4)上記(2)または(3)に記載されたモード変換器であって、前記孔部の先端から前記先端部の中心までの距離をc、前記先端部の中心から前記縮径部の最小径までの距離をdとしたときに、0<d<cの関係を有してもよい。
(5)上記(2)〜(4)に記載されたモード変換器であって、前記先端部の直径をa、前記孔部の先端から前記先端部の中心までの距離をcとしたときに、a≦2cの関係を有してもよい。
本実施形態のモード変換器100は、図1及び図2に示すように、基板101と、基板に設けられた導波路110と、導波路110の内部に挿入されたピン123と、ピン123に接続された伝送線路122(平面回路)と、を有する。
導体柱114は、広壁111,112と同材の導体からなる同一径寸法の円筒状とされており、それぞれの端部が広壁111と広壁112とに接続されている。複数の導体柱114は、導波路110を平面視して開口部102に対応する部分である一辺をのぞいた略矩形となるように配列されて狭壁110Bおよびショート壁110Aを形成している。
ピン123は、少なくともその表面がCu、Ag、Auなどの導体から形成されていればよく、その内側面の導体122aが表面と同様の導体から形成され、導体122aの内側面が空洞、あるいは、絶縁樹脂等で占有される構造とすることができる。この導体の形成方法には、めっき法、スパッタ法を用いる方法などがある。また、ピン123は、その内部が導体で充填されていてもよく、例えば、導電性ペーストを充填し、それを加熱・焼成した導体としてもよい。
図4に示すように、ピン123を形成する孔部10は、基板101の一方の主面101aから所定の深さまで形成されている。この孔部10は、膨らんだ先端部11と、基板101の内部に進むに従って細くなる縮径部12と、を有する。
図5は、一実施形態に係るモード変換器100の製造方法を示す工程図である。図6は、図5に示すモード変換器100の製造方法における孔部形成工程を説明する説明図である。図7は、従来のモード変換器の製造方法における孔部形成工程を説明する説明図である。
次いで、図5(b)及び図5(c)に示すように、基板101に、ピン123を形成するための孔部10と、導体柱114を形成するための孔部20と、を形成する(孔部形成工程)。
まず、図5(d)に示すように、シード層121aを基板101の一方の主面101aおよび孔部10,20の内部に形成するとともに、図5(e)に示すように、シード層121bを基板101の他方の主面101bに形成する。シード層121a、121bは、例えば、Cr/Cu、Ti/Cuなどで厚みは10nm〜500nmとされ、スパッタリングで形成することができる。
さらに、基板101の他方の主面101bに形成されたシード層121bに広壁112を形成する。
なお、銅めっき法で形成されたピン123、導体柱114は、孔部10,20の内壁面を導体で覆い、且つ、孔部10,20の中心軸には導体が配されていない形態となる。あるいは、孔部10,20の内部を完全に充填してもよい。
孔部10周辺の開口部124aは、その外径寸法H2となるように設定され、これによって、図2に示すように、ランド123cに接続される部分の導体122aの外径寸法H2を設定する。
なお、開口部124aにおいて円環部123e上に除去しきれなかった感光性樹脂が残る場合、これらの除去にはCF4ガスやO2ガスによるRIE(Reactive Ion Etching)プロセスの実施が大変有効である。
図8は、一実施形態に係るモード変換器100の信号反射のシミュレーションモデルを示す図である。図9は、図8に示すシミュレーションモデルを用いて信号反射のシミュレーション結果を示すグラフである。
図10に示す孔部10は、略楕円の球形状に膨らんだ先端部11Aを有する。先端部11Aは、楕円の長軸が基板101の厚み方向に沿って設定され、楕円の短軸が基板101の幅方向に沿って設定された縦長の楕円形状を有する。この先端部11Aは、例えば、図6(a)に示す第2のピッチP2の間隔を少し広げることで形成することができる。
一方、図11に示す孔部10は、縮径部12の軸心に対して偏心した略真円の球形状の先端部11Bを有する。先端部11Bは、孔部10の片側にのみ膨出部15を形成している。この先端部11Bは、例えば、レーザー光Lの焦点Fを、基板101の深さ方向だけでなく幅方向にも走査することで形成することができる。
図10及び図11に示す構成であっても、孔部10に形成されるピン123の先端部の直径を太らせ、設計値に近付けることができるため、信号の反射損を低減することができる。なお、先端部11の形状は、球状に限らず、例えば、立方体や直方体、その他の多角形の立体や、球体や多角形の立体が歪んだ異形の立体であっても良い。なお、これら変形例であっても、1.1≦a/b≦1.3の関係、0<d<cの関係、及びa≦2cの関係を満たすことが好ましい。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の一方の主面及び前記他方の主面に形成された接地導体からなる広壁と、前記基板を貫通して形成されて前記広壁同士を接続する導体からなる狭壁及びショート壁と、から形成された導波路と、
前記基板の一方の主面から所定の深さまで形成された孔部の内部に設けられた導体からなるピンと、
前記基板の一方の主面側に形成されて前記ピンに接続された伝送線路と、を備え、
前記孔部は、膨らんだ先端部を有する、ことを特徴とするモード変換器。 - 前記孔部は、前記基板の一方の主面から離れるに従って細くなる縮径部を有し、
前記先端部は、前記縮径部の最小径よりも大きい直径を有する球状に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のモード変換器。 - 前記先端部の直径をa、前記縮径部の最小径をbとしたときに、
1.1 ≦ a/b ≦ 1.3
の関係を有する、ことを特徴とする請求項2に記載のモード変換器。 - 前記孔部の先端から前記先端部の中心までの距離をc、前記先端部の中心から前記縮径部の最小径までの距離をdとしたときに、
0 < d < c
の関係を有する、ことを特徴とする請求項2または3に記載のモード変換器。 - 前記先端部の直径をa、前記孔部の先端から前記先端部の中心までの距離をcとしたときに、
a ≦ 2c
の関係を有する、ことを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載のモード変換器。 - 基板と、
前記基板の一方の主面及び前記他方の主面に形成された接地導体からなる広壁と、前記基板を貫通して形成されて前記広壁同士を接続する導体からなる狭壁及びショート壁と、から形成された導波路と、
前記基板の一方の主面から所定の深さまで形成された孔部の内部に設けられた導体からなるピンと、
前記基板の一方の主面側に形成されて前記ピンに接続された伝送線路と、を備えるモード変換器の製造方法であって、
先端部が膨らんだ前記孔部を形成する孔部形成工程を有する、ことを特徴とするモード変換器の製造方法。 - 前記孔部形成工程は、
前記基板の一方の主面側からレーザー光を照射することにより前記基板に改質部を形成し、該改質部の前記基板の前記所定の深さにおけるピッチを、前記基板の一方の主面側におけるピッチよりも密にする第一工程と、
前記改質部を除去することにより、先端部が膨らんだ前記孔部を形成する第二工程と、を有する、ことを特徴とする請求項6に記載のモード変換器の製造方法。
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