JP2018018876A - ヘテロ接合バイポーラトランジスタ - Google Patents
ヘテロ接合バイポーラトランジスタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018018876A JP2018018876A JP2016146038A JP2016146038A JP2018018876A JP 2018018876 A JP2018018876 A JP 2018018876A JP 2016146038 A JP2016146038 A JP 2016146038A JP 2016146038 A JP2016146038 A JP 2016146038A JP 2018018876 A JP2018018876 A JP 2018018876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- emitter
- electrode
- cap
- bipolar transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Bipolar Transistors (AREA)
Abstract
【課題】ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるエミッタ寄生抵抗がより削減できるようにする。【解決手段】基板101の上に形成されたコレクタ層102と、コレクタ層102の上に形成されたベース層103と、ベース層103の上に形成されたエミッタ層104と、エミッタ層104の上に形成されたキャップ層105とを備える。また、このHBTは、基板101の上に形成されたサブコレクタ層106を備え、コレクタ層102はサブコレクタ層106の上に形成されている。エミッタ電極113の側面およびキャップ層105の側面に接して形成された側面電極114を備える。【選択図】 図1
Description
本発明は、コレクタ、ベース、エミッタ、および、キャップが順次積層されたヘテロ接合バイポーラトランジスタに関する。
ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)の動作速度を向上させるためには、素子の微細化を進めることが効果的である。しかしながら、素子の微細化を進めると、エミッタ寄生抵抗やコレクタ寄生容量の影響が相対的に大きくなる。従って、素子の微細化においては、エミッタ寄生抵抗やコレクタ寄生容量に対して適切に対処しないと、本来あるべき微細化の効果が打ち消されてしまうことになる。特に、エミッタ寄生抵抗は、電流駆動力に対して大きな影響を与えるため、HBTを集積回路に応用したときに、動作速度の向上を制限してしまうだけではなく、利得や波形振幅などの回路性能を逆に劣化させてしまう要因にもなりうる。高性能なHBTを実現するには、素子微細化と同時にエミッタ寄生抵抗も削減していく必要がある。
以下、一般的なHBTの構成について図5を用いて説明する。HBTは、基板501の上に形成されたコレクタ層502、ベース層503、エミッタ層504、キャップ層505を備える。コレクタ層502は、サブコレクタ層506の上に形成されている。
基板501は、半絶縁性InPから構成され、サブコレクタ層506は、高濃度に不純物が添加された比較的厚いn型のInPと高濃度に不純物が添加された比較的薄いn型のInGaAsの積層構造から構成され、コレクタ層502は、n型のInPから構成されている。また、ベース層503は、高濃度に不純物が添加されたp型のGaAsSbから構成され、エミッタ層504は、n型のInPから構成され、キャップ層505は、高濃度に不純物が添加されたn型のInGaAsから構成されている。
また、コレクタ層502の周囲のサブコレクタ層506の上には、コレクタ層502に電気的に接続するコレクタ電極511が形成され、エミッタ層504の周囲のベース層503の上にはベース電極512が形成され、キャップ層505の上にはエミッタ電極513が形成されている。
また、この一例では、平面視で、エミッタ層504はキャップ層505を包含するように形成されており、キャップ層505周囲の外部ベース上には、エミッタ層504の一部を用いてレッジ構造504aが形成されている。さらに、レッジ構造504aの上にはSiNからなるレッジ保護膜521が形成されている(非特許文献1参照)。
なお、レッジ構造504aは、外部ベース表面における再結合電流を抑制する公知の構造であり、微細HBT素子において電流利得の劣化を回避するために用いられる。また、サブコレクタ層506を構成する比較的厚いInPの層は基板501側に、比較的薄いInGaAsの層はコレクタ層502やコレクタ電極511側に配置される。比較的厚いInPの層は放熱特性を良くするために用いられ、比較的薄いInGaAsの層はコレクタ電極511とのコンタクト抵抗を低減するために用いられる。
一般に、エミッタ寄生抵抗は、エミッタ電極513とキャップ層505との界面におけるコンタクト抵抗によって決定される。エミッタ電極513とキャップ層505との単位面積当たりのコンタクト抵抗率をρc、エミッタ電極513とキャップ層505との接触面積をAとすれば、このコンタクト抵抗は(ρc/A)で表現される。図5に示すように、通常のHBTでは、エミッタ電極513は、キャップ層505上面全体と接するように形成されており、エミッタ電極513とキャップ層505の接触面積Aを最大にすることによって、両者のコンタクト抵抗を最小にするような工夫がなされている。このような構造は、キャップ層505をエミッタ電極513に対して自己整合的に形成することによって比較的容易に実現することが可能である(非特許文献2参照)。
N. Kashio, K. Kurishima, M. Ida, and H. Matsuzaki, "0.25μm emitter InP/InAlGaAs/GaAsSb double heterojunction bipolar transistor with passivation ledge exhibiting a current gain of over 100", Electronics Letters, Vol. 50, No. 22, 23rd Oct. 2014, pp. 1631-1633.
N. Kashio, K. Kurishima, Y. K. Fukai, M. Ida, and S. Yamahata, "High-speed and high-reliability InP-based HBTs with a novel emitter," IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 57, No. 2, Feb. 2010, pp. 373-379.
エミッタ電極とキャップ層との間で発生するコンタクト抵抗(ρc/A)を削減するために、これまで、コンタクト抵抗率ρc自体の低減についても多くの検討がなされてきた。このコンタクト抵抗率は、主に、エミッタ電極とキャップ層との界面で形成されるエネルギー障壁によって決定されるが、これを低減するには、このエネルギー障壁幅や障壁高さを低減することが重要となる。例えば、前述した従来のInP系HBTにおいては、結晶成長条件を最適化することによってキャップ層を構成するn型InGaAsの不純物添加濃度を増加させ、エネルギー障壁幅の低減を図っている。あるいは、エミッタ電極とキャップ層との界面付近において、キャップ層を構成しているInGaAsのIn組成を増加させることによって、このエネルギー障壁高さを低減させるような試みも実施されている。
しかしながら、こうした試みは、これまでに多くの研究機関が既に検討しつくしており、これ以上の最適化を実施できる余地はあまりないのが現状である。従って、素子をより微細化するために、より一層のエミッタ寄生抵抗削減が要求されている。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるエミッタ寄生抵抗がより削減できるようにすることを目的とする。
本発明に係るヘテロ接合バイポーラトランジスタは、基板の上に形成されたコレクタ層と、コレクタ層の上に形成されたベース層と、ベース層の上に形成されたエミッタ層と、エミッタ層の上に形成されたキャップ層と、コレクタ層に電気的に接続されたコレクタ電極と、エミッタ層の周囲のベース層の上に形成されたベース電極と、キャップ層の上に形成されたエミッタ電極と、エミッタ電極の側面およびキャップ層の側面に接して形成された側面電極とを備える。
上記ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、キャップ層は、平面視でエミッタ層より小さい面積に形成されてエミッタ層の内側に配置されている構成とすることで、レッジ構造とすることができる。
上記ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、側面電極は、エミッタ層とは離間して形成されているとよい。また、側面電極は、エミッタ層とショットキー接合を形成して接触していてもよい。
上記ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、キャップ層は、InGaAsから構成し、エミッタ層は、InP、InGaP、InAlP、InAlGaP、またはInGaAsPのいずれかから構成し、側面電極のキャップ層との接触箇所は、Ti、Pt、Mo、W、またはWを主成分とする金属材料のいずれかから構成すればよい。
以上説明したように、本発明によれば、エミッタ電極の側面およびキャップ層の側面に接して側面電極を形成したので、ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるエミッタ寄生抵抗がより削減できるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)の構成を示す構成図である。このヘテロ接合バイポーラトランジスタは、基板101の上に形成されたコレクタ層102と、コレクタ層102の上に形成されたベース層103と、ベース層103の上に形成されたエミッタ層104と、エミッタ層104の上に形成されたキャップ層105とを備える。また、このHBTは、基板101の上に形成されたサブコレクタ層106を備え、コレクタ層102はサブコレクタ層106の上に形成されている。
はじめに、本発明の実施の形態1について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)の構成を示す構成図である。このヘテロ接合バイポーラトランジスタは、基板101の上に形成されたコレクタ層102と、コレクタ層102の上に形成されたベース層103と、ベース層103の上に形成されたエミッタ層104と、エミッタ層104の上に形成されたキャップ層105とを備える。また、このHBTは、基板101の上に形成されたサブコレクタ層106を備え、コレクタ層102はサブコレクタ層106の上に形成されている。
また、実施の形態1におけるHBTは、コレクタ層102に電気的に接続されたコレクタ電極111を備える。コレクタ電極111は、コレクタ層102の周囲のサブコレクタ層106の上に形成されている。コレクタ電極111は、サブコレクタ層106を介してコレクタ層102に電気的に接続されている。また、エミッタ層104の周囲のベース層103の上に形成されたベース電極112と、キャップ層105の上に形成されたエミッタ電極113とを備える。上述した構成は、よく知られたHBTと同様である。
なお、実施の形態1では、キャップ層105は、平面視でエミッタ層104より小さい面積に形成されてエミッタ層104の内側に配置され、キャップ層105の周囲にレッジ構造104aを形成している。
上述した構成に加え、本発明の実施の形態1におけるHBTは、エミッタ電極113の側面およびキャップ層105の側面に接して形成された側面電極114を備えることを大きな特徴としている。側面電極114は、例えば、キャップ層105の側面およびエミッタ電極113の側面の全周を囲う状態に形成されている。なお、側面電極114は、厚さ方向(積層方向)に、キャップ層105の側面からエミッタ電極113の側面にかけて連続して形成されていればよく、側面全周を囲う状態とされていなくてもよい。
また、実施の形態1では、側面電極114は、エミッタ層104とは離間して形成されている。なお、レッジ構造104aの上にはレッジ保護膜121を備え、側面電極114は、レッジ保護膜121に保護されている。
例えば、基板101は、半絶縁性のInPから構成され、サブコレクタ層106は、高濃度に不純物が添加されたn型のInP層と高濃度に不純物が添加されたn型のInGaAs層との積層構造から構成されている。また、コレクタ層102は、n型のInPから構成され、ベース層103は、高濃度に不純物が添加されたp型のGaAsSbから構成され、エミッタ層104は、n型のInPから構成され、キャップ層105は、高濃度に不純物が添加されたn型のInGaAsから構成されている。
また、エミッタ電極113は、より薄いTiの層と比較的厚いTiWの層との積層構造から構成されている。エミッタ電極113のTiの層は、エミッタ電極113の下部に形成されてキャップ層105の上面全体と接している。また、側面電極114は、薄いTiの層と比較的厚いTiWの層から構成されている。また、レッジ保護膜121は、SiNから構成されている。
実施の形態1におけるHBTは、キャップ層105上面に通常のエミッタ電極113を備え、キャップ層105の側面に本発明の特徴である側面電極114を備え、両者は物理的に接触しかつ電気的に接続している。このため,エミッタ電極113とキャップ層105との実効的な接触面積は、従来と比べて数倍に増加し,コンタクト抵抗を数分の一に低減することが可能となる。
ところで、側面電極114がレッジ構造104aに接触(オーミック接続)していると、エミッタ電極113→キャップ層105→エミッタ層104→ベース層103の経路(第1経路)に加え、側面電極114→レッジ構造104a(エミッタ層104)→ベース層103の電流経路(第2経路)が形成される。これらの間の電流の状態は同一ではないため、HBTの動作制御が困難となる。このため、側面電極114がレッジ構造104aに接触(オーミック接続)している状態は、好ましくない。
これに対し、実施の形態1では、前述したように、側面電極114はエミッタ層104の一部であるレッジ構造104aには接触していない。このため、上述したようにエミッタ層104とベース層103が電気的に短絡し、HBTが正常動作しないことが防止できる。
次に、実施の形態1におけるHBTの製造方法について、図2A〜図2Jを用いて説明する。図2A〜図2Jは、本発明の実施の形態1におけるヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造途中の状態を示す断面図である。
まず、図2Aに示すように、Feをドープすることで高抵抗とされた半絶縁性のInPからなる(001)面を主表面とした基板101の上に、サブコレクタ形成層201,コレクタ形成層202,ベース形成層203,エミッタ形成層204,キャップ形成層205,エミッタ電極形成層206を形成する。
例えば、基板101の上に、Siなどのn型不純物を高濃度に添加した比較的厚いInPの層(層厚300nm)、および比較的薄いInGaAsの層(層厚30nm)を順次に成長させることで、サブコレクタ形成層201とする。基板101の側のInPの層は、放熱特性をよくするために用いられ、この上のInGaAsの層は、コレクタ電極111とのコンタクト抵抗を低減するために用いられる。
また、サブコレクタ形成層201の上に、n型不純物を低濃度に添加したInP(層厚100nm)を成長させることで、コレクタ形成層202とする。また、コレクタ形成層202の上に、例えばCなどのp型不純物を高濃度に添加したGaAsSb(層厚25nm)を成長させることで、ベース形成層203とする。
また、ベース形成層203の上に、n型不純物を低濃度に添加したInP(層厚20nm)を成長させることで、エミッタ形成層204とする。また、エミッタ形成層204の上に、n型不純物を高濃度に添加したInGaAs(層厚300nm)を成長させることで、キャップ形成層205とする。
上述したサブコレクタ形成層201,コレクタ形成層202,ベース形成層203,エミッタ形成層204,キャップ形成層205の形成は、例えば有機金属気相堆積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition:MOCVD)法などを用いて、順次にエピタキシャル成長させることで実施すればよい。
以上のようにして、各化合物半導体の層を成長した後、キャップ形成層205の上に、比較的薄いTiの層(層厚2nm)、および比較的厚いTiWの層(層厚300nm)を、例えば電子ビーム蒸着法やスパッタ法などを用いて順次に堆積することで、エミッタ電極形成層206とする。キャップ形成層205の側のTiの層は、キャップ層105に対して十分小さいコンタクト抵抗率ρcを実現するために使用される。この上のTiWの層は、エミッタ電極形成層206を加工しやすくするために使用される。
次に、エミッタ電極形成層206をパターニングすることで、図2Bに示すように、キャップ形成層205の所定箇所にエミッタ電極113を形成する。例えば、エミッタ電極形成層206の上に、公知のリソグラフィー技術を用いてレジストパタンを形成し、形成したレジストパタンをマスクとし、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)法を用いてエミッタ電極形成層206を選択的にエッチングすることで、エミッタ電極113が形成できる。
次に、エミッタ電極113をマスクとしたエッチングにより、キャップ形成層205をパターニングし、図2Cに示すように、キャップパタン205aを形成する。例えば、誘導結合型プラズマ反応性イオンエッチング(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching:ICP−RIE)法を用い、エミッタ電極113の周囲の露出しているキャップ形成層205を途中までエッチングすることで、キャップパタン205aを形成し、この周囲にスラブ層205bが残る状態とする。例えば、厚さ300nmのキャップ形成層205に対して250nm程度をエッチングすればよい。この工程において、キャップ層105とするキャップパタン205aの平面視の寸法は、図2Cの紙面左右方向の幅を0.25μmとし、図2Cの紙面手前から奥の方向の長さを1μmとする。キャップパタン205aを形成した後、エミッタ電極113の形成に用いたレジストパタンを除去する。
次に、図2Dに示すように、金属層207を形成する。例えば、電子ビーム蒸着法やスパッタ法などを用い、厚さ2nmのTi層および厚さ50nmのTiW層を順次に堆積して積層構造の金属層207とすればよい。Ti層は、InGaAsからなるキャップ層105となるキャップパタン205aの側面に対して十分小さいコンタクト抵抗率ρcを実現するために使用される。また、TiW層は、後述する側面電極114を形成しやすくするために使用される。
ただし、キャップ層105の側面に接触する材料としては、Tiの他に、Pt、Mo、W、あるいは、Wを主成分とする金属材料などが使用されていてもよい。また、TiWの代わりに、W、あるいは、Wを主成分とする別の金属材料が使用されていてもよい。なお、Wを主成分とする金属材料(合金,化合物)としては、TiWの他に、WSiやWSiNなどがある。
次に、金属層207をパターニングすることで、図2Eに示すように、側面電極114を形成する。例えば、公知のサイドウオール形成技術を用い、RIE法により適切なエッチング条件で金属層207をエッチングすることで、キャップパタン205aの側面および一部のエミッタ電極113側面に、側面電極114を残すことができる。なお、側面電極114は、エミッタ電極113と物理的に接触しかつ電気的に接続した状態で形成することを注意しておく。
次に、スラブ層205bを除去することで、図2Fに示すように、エミッタ形成層204の上に、キャップ層105およびエミッタ電極113が形成され、これらの側部に側面電極114が形成された状態とする。例えば、クエン酸系ウェットエッチング液を用いたエッチング処理により、表面が露出しているスラブ層205bを選択的にエッチング除去し、この領域のエミッタ形成層204を暴露させる。このエッチング処理では、側面電極114直下のInGaAsからなるスラブ層205bに対してもサイドエッチングが入るため、図2Fに示すように、側面から見た形状が矩形とされているキャップ層105が実現される。
次に、図2Gに示すように、絶縁層208を形成する。例えば、プラズマアシスト気相堆積(Chemical Vapor Deposition:CVD)法などを用い、キャップ層105の形成領域を含むエミッタ形成層204の上の全域にSiNを堆積することで、絶縁層208を形成する。
次に、絶縁層208の上のエミッタ層104とする領域にレジストパタンを形成し、形成したレジストパタンをマスクとし、RIE法により絶縁層208を選択的にエッチング除去する。次いで、絶縁層208の上記エッチングにより残った部分をマスクとしてエミッタ形成層204を塩酸系ウェットエッチング液でエッチングし、上記レジストパタンを除去する。
この結果、図2Hに示すように、ベース形成層203の上にエミッタ層104を形成し、また、エミッタ層104の上部において、キャップ層105,エミッタ電極113,および側面電極114の部分を覆う状態に絶縁保護膜121aが形成される。キャップ層105(エミッタ電極113)は、平面視でエミッタ層104より小さい面積に形成しているので、キャップ層105の周囲にエミッタ層104がはみ出す部分が形成され、レッジ構造104aが形成される。よく知られているように、レッジ構造104aは、外部ベース表面における再結合電流を抑制する構造であり、微細HBT素子においては電流利得の劣化を回避するために使用される。
以上のようにして、エミッタ電極113および側面電極114を有するエミッタメサ構造を形成した後に、公知のプロセス技術を用い、図2Iに示すようにベース電極112、ベース層103、コレクタ層102、コレクタ電極111、サブコレクタ層106を形成する。この状態では、エミッタ電極113の上面が絶縁保護膜121aで被覆されている。
次に、例えば、基板101上の全域にベンゾシクロブテン(Benzocyclobutene:BCB)をスピン塗布して熱硬化して樹脂膜を形成し、RIE法を用いてこの樹脂膜に対して全面エッチバックを実施して絶縁保護膜121aの上部を除去することで、図2Jに示すように、レッジ構造104aの上に、側面電極114の外側側面を被覆する状態にレッジ保護膜121を形成し、エミッタ電極113の上部を露出させる。HBTの素子部は、上記樹脂膜による素子保護膜122で保護された状態となる。この後、配線形成工程において、素子保護膜122の上に図示しない配線構造(不図示)を形成すれば、エミッタ電極113に比較的容易に所定の配線を接続させることができる。
以上に説明したように、サイドウオール形成技術を用いることで、通常のエミッタ電極113に加え、本発明の特徴である側面電極114を形成することができる。この結果,エミッタ電極113とキャップ層105との実効的な接触面積を拡大し、コンタクト抵抗を効果的に削減することが可能となる。例えば、TiとInGaAsとのコンタクト抵抗率ρcを5Ωμm2と仮定して計算すると、側面電極114を用いない場合はエミッタ寄生抵抗は20Ωとなるが、側面電極114を用いるとエミッタ寄生抵抗は7Ωまで削減される。このように、実施の形態1によれば、HBT微細化とエミッタ寄生抵抗低減とが両立して実現できる。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2について図3を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態2におけるHBTの構成を示す構成図である。このHBTは、基板101の上に形成されたコレクタ層102と、コレクタ層102の上に形成されたベース層103と、ベース層103の上に形成されたエミッタ層104と、エミッタ層104の上に形成されたキャップ層105とを備える。また、このHBTは、基板101の上に形成されたサブコレクタ層106を備え、コレクタ層102はサブコレクタ層106の上に形成されている。
次に、本発明の実施の形態2について図3を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態2におけるHBTの構成を示す構成図である。このHBTは、基板101の上に形成されたコレクタ層102と、コレクタ層102の上に形成されたベース層103と、ベース層103の上に形成されたエミッタ層104と、エミッタ層104の上に形成されたキャップ層105とを備える。また、このHBTは、基板101の上に形成されたサブコレクタ層106を備え、コレクタ層102はサブコレクタ層106の上に形成されている。
また、実施の形態2におけるHBTは、コレクタ層102に電気的に接続されたコレクタ電極111を備える。コレクタ電極111は、コレクタ層102の周囲のサブコレクタ層106の上に形成されている。コレクタ電極111は、サブコレクタ層106を介してコレクタ層102に電気的に接続されている。また、エミッタ層104の周囲のベース層103の上に形成されたベース電極112と、キャップ層105の上に形成されたエミッタ電極113とを備える。上述した構成は、よく知られたHBTと同様である。
なお、実施の形態2では、キャップ層105は、平面視でエミッタ層104より小さい面積に形成されてエミッタ層104の内側に配置され、キャップ層105の周囲にレッジ構造104aを形成している。
上述した構成に加え、本発明の実施の形態2におけるHBTは、エミッタ電極113の側面およびキャップ層105の側面に接して形成された側面電極314を備えることを大きな特徴としている。なお、側面電極314は、例えば、キャップ層105の側面およびエミッタ電極113の側面の全周を囲う状態に形成されている。なお、側面電極314は、厚さ方向(積層方向)に、キャップ層105の側面からエミッタ電極113の側面にかけて連続して形成されていればよく、側面全周を囲う状態とされていなくてもよい。
また、実施の形態2では、側面電極314が、エミッタ層104とショットキー接合を形成して接触している。なお、レッジ構造104aの上にはレッジ保護膜321を備え、側面電極314は、レッジ保護膜321に保護されている。
例えば、基板101は、半絶縁性のInPから構成され、サブコレクタ層106は、高濃度に不純物が添加されたn型のInP層と高濃度に不純物が添加されたn型のInGaAs層との積層構造から構成されている。また、コレクタ層102は、n型のInPから構成され、ベース層103は、高濃度に不純物が添加されたp型のGaAsSbから構成され、エミッタ層104は、n型のInPから構成され、キャップ層105は、高濃度に不純物が添加されたn型のInGaAsから構成されている。
また、エミッタ電極113は、より薄いTiの層と比較的厚いTiWの層との積層構造から構成されている。エミッタ電極113のTiの層は、エミッタ電極113の下部に形成されてキャップ層105の上面全体と接している。また、側面電極314は、薄いPtの層と比較的厚いTiWの層から構成されている。また、レッジ保護膜321は、SiNから構成されている。
実施の形態2におけるHBTは、キャップ層105上面に通常のエミッタ電極113を備え、キャップ層105の側面に本発明の特徴である側面電極314を備え、両者は物理的に接触しかつ電気的に接続している。このため,エミッタ電極113とキャップ層105との実効的な接触面積は、従来と比べて数倍に増加し,コンタクト抵抗を数分の一に低減することが可能となる。
ところで、前述した実施の形態1と同様に、側面電極314がレッジ構造104aに接触(オーミック接続)していると、エミッタ電極113→キャップ層105→エミッタ層104→ベース層103の経路(第1経路)に加え、側面電極314→レッジ構造104a(エミッタ層104)→ベース層103の電流経路(第2経路)が形成される。これらの間の電流の状態は同一では無いため、HBTの動作制御が困難となる。このため、側面電極314がレッジ構造104aに接触(オーミック接続)している状態は、好ましくない。
これに対し、実施の形態2では、前述したように、側面電極314はエミッタ層104の一部であるレッジ構造104aにショットキー接合を形成して接触している。このため、上述したようにエミッタ層104とベース層103が電気的に短絡し、HBTが正常動作しないことが防止できる。
例えば、側面電極314を構成するPtがエミッタ層104に接触している状態とすればよい。Ptは、InGaAsからなるキャップ層105には、十分小さいコンタクト抵抗率ρcを実現し、InPからなるエミッタ層104に対してはショットキー接合が実現できる。なお、前述した実施の形態1と同様に、側面電極314を構成するTiWは、側面電極314を形成しやすくするために使用される。
なお、InPからなるエミッタ層104との間でショットキー接合が形成できる金属材料は、Ptの他に、Ti、Mo、W、あるいは、Wを主成分とする金属材料のいずれかを用いることができる。また、側面電極314を形成する他方の材料は、TiWに限らず、W、あるいはWを主成分とする別の金属材料(WSi,WSiN)が使用されていてもよい。さらに、エミッタ層104を構成する半導体材料として、InPの他に、InGaP、InAlP、InAlGaP、InGaAsPのいずれかを用いても良い。
次に、実施の形態2におけるHBTの製造方法について説明する。まず、前述した実施の形態1と同様に、基板101の上に、サブコレクタ形成層201,コレクタ形成層202,ベース形成層203,エミッタ形成層204,キャップ形成層205,エミッタ電極形成層206を形成する(図2A)。また、キャップ形成層205の所定箇所にエミッタ電極113を形成する(図2B)。
次に、実施の形態2では、エミッタ電極113をマスクとしたエッチングにより、キャップ形成層205をパターニングし、図4Aに示すように、キャップ層105を形成する。実施の形態2では、この段階で、キャップ層105の周囲においては、下層のエミッタ形成層204を露出させる。例えば、ICP−RIE法を用い、エミッタ電極113の周囲の露出しているキャップ形成層205の途中までをエッチングする。次いで、残った部分をクエン酸系ウェットエッチング液を用いたエッチング処理により除去し、キャップ層105周囲のエミッタ形成層204を露出させる。クエン酸系ウェットエッチングによれば、InPに対してInGaAsを選択的にエッチングすることができ、エミッタ形成層204をエッチング停止層として機能させることができる。
次に、例えば、電子ビーム蒸着法やスパッタ法などを用い、厚さ2nmのPt層および厚さ50nmのTiW層を順次に堆積し、エミッタ電極113,キャップ層105の部分を覆う状態にエミッタ形成層204の上に積層構造の金属層を形成する。Pt層は、InGaAsからなるキャップ層105の側面に対して十分小さいコンタクト抵抗率ρcを実現し、かつ、エミッタ層104となるエミッタ形成層204に対してショットキー接合を実現するために使用される。また、TiW層は、側面電極314を形成しやすくするために使用される。
次に、上述した金属層をパターニングすることで、図4Bに示すように、側面電極314を形成する。例えば、公知のサイドウオール形成技術を用い、RIE法により適切なエッチング条件で金属層をエッチングすることで、キャップ層105の側面および一部のエミッタ電極113側面に、側面電極314を残すことができる。なお、側面電極314は、エミッタ電極113と物理的に接触しかつ電気的に接続した状態で形成する。また、実施の形態2では、側面電極314の基板101側下面が、エミッタ形成層204と接触し、ショットキー接合を形成している。
次に、図2G〜図2Jを用いた説明と同様にすることで、ベース電極112、ベース層103、コレクタ層102、コレクタ電極111、サブコレクタ層106を形成する。また、レッジ保護膜321を形成する。
以上に説明したように、本発明によれば、エミッタ電極の側面およびキャップ層の側面に接して側面電極を形成したので、ヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるエミッタ寄生抵抗がより削減できるようになる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。上述では、超高速集積回路を実現する上で有望なnpn型InP/GaAsSb系HBTについて詳細に述べたが、同様の効果は、他のHBTに対しても有効である。また、上述では、いわゆるレッジ構造を備えるHBTを例に説明したが、これに限るものではなく、レッジ構造を備えないHBTにも適用できることは言うまでもない。
101…基板、102…コレクタ層、103…ベース層、104…エミッタ層、104a…レッジ構造、105…キャップ層、106…サブコレクタ層、111…コレクタ電極、112…ベース電極、113…エミッタ電極、114…側面電極、121…レッジ保護膜。
Claims (5)
- 基板の上に形成されたコレクタ層と、
前記コレクタ層の上に形成されたベース層と、
前記ベース層の上に形成されたエミッタ層と、
前記エミッタ層の上に形成されたキャップ層と、
前記コレクタ層に電気的に接続されたコレクタ電極と、
前記エミッタ層の周囲の前記ベース層の上に形成されたベース電極と、
前記キャップ層の上に形成されたエミッタ電極と、
前記エミッタ電極の側面および前記キャップ層の側面に接して形成された側面電極と
を備えることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記キャップ層は、平面視で前記エミッタ層より小さい面積に形成されて前記エミッタ層の内側に配置されていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1または2記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記側面電極は、前記エミッタ層とは離間して形成されていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1または2記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記側面電極は、前記エミッタ層とショットキー接合を形成して接触していることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記キャップ層は、InGaAsから構成され、
前記エミッタ層は、InP、InGaP、InAlP、InAlGaP、またはInGaAsPのいずれかから構成され、
前記側面電極の前記キャップ層との接触箇所は、Ti、Pt、Mo、W、またはWを主成分とする金属材料のいずれかから構成されている
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016146038A JP2018018876A (ja) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016146038A JP2018018876A (ja) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018018876A true JP2018018876A (ja) | 2018-02-01 |
Family
ID=61082053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016146038A Pending JP2018018876A (ja) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018018876A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024105724A1 (ja) * | 2022-11-14 | 2024-05-23 | 日本電信電話株式会社 | バイポーラトランジスタおよびその製造方法 |
-
2016
- 2016-07-26 JP JP2016146038A patent/JP2018018876A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024105724A1 (ja) * | 2022-11-14 | 2024-05-23 | 日本電信電話株式会社 | バイポーラトランジスタおよびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3628873B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4999246B2 (ja) | コレクタ−アップ・ヘテロ接合バイポーラ・トランジスタとその製造方法 | |
US6885042B2 (en) | Hetero-junction bipolar transistor and a manufacturing method of the same | |
JP3507828B2 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ及びその製造方法 | |
CN109994540B (zh) | 半导体装置 | |
US6873029B2 (en) | Self-aligned bipolar transistor | |
US10680077B2 (en) | Fabrication of heterojunction bipolar transistors with a selectively grown collector/sub-collector | |
JP2018018876A (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
JP3874919B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP6262612B2 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
JP5329315B2 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
JP6611182B2 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 | |
JP2007005428A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2015041723A (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
WO2021214866A1 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 | |
JPH09246281A (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
JP4092597B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2014120503A (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ | |
JP2005294804A (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ及びその製造方法 | |
JP2006344884A (ja) | ヘテロ接合型半導体装置及びその製造方法 | |
KR100352375B1 (ko) | 이종접합 쌍극자 트랜지스터의 제조방법 | |
JP5536514B2 (ja) | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 | |
JP3558881B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2008218636A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JPH07273126A (ja) | ヘテロ接合トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180829 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190423 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20191029 |