JP2018010942A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018010942A5 JP2018010942A5 JP2016137957A JP2016137957A JP2018010942A5 JP 2018010942 A5 JP2018010942 A5 JP 2018010942A5 JP 2016137957 A JP2016137957 A JP 2016137957A JP 2016137957 A JP2016137957 A JP 2016137957A JP 2018010942 A5 JP2018010942 A5 JP 2018010942A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mold
- abnormality
- unit
- imprint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016137957A JP6706983B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US15/637,421 US10871709B2 (en) | 2016-07-12 | 2017-06-29 | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
| KR1020170084715A KR102172881B1 (ko) | 2016-07-12 | 2017-07-04 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016137957A JP6706983B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018010942A JP2018010942A (ja) | 2018-01-18 |
| JP2018010942A5 true JP2018010942A5 (enExample) | 2020-04-09 |
| JP6706983B2 JP6706983B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=60940918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016137957A Active JP6706983B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10871709B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6706983B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102172881B1 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7091138B2 (ja) | 2018-05-15 | 2022-06-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法 |
| JP7233174B2 (ja) | 2018-05-17 | 2023-03-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品製造方法、平坦化層形成装置、情報処理装置、及び、決定方法 |
| JP7265824B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2023-04-27 | キヤノン株式会社 | 成形装置および物品製造方法 |
| JP7383450B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-11-20 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP7657631B2 (ja) * | 2021-03-29 | 2025-04-07 | キヤノン株式会社 | 評価装置、プログラム、評価方法、成形システム、および物品製造方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| JP2010147294A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Canon Inc | 基板保持方法及び基板保持装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP5665336B2 (ja) * | 2009-04-06 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | 基板保持装置、及びそれを用いたリソグラフィー装置 |
| JP5173944B2 (ja) * | 2009-06-16 | 2013-04-03 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP5455583B2 (ja) | 2009-11-30 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置 |
| WO2011118006A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム |
| US20120261849A1 (en) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, and article manufacturing method using same |
| JP6004738B2 (ja) | 2011-09-07 | 2016-10-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| JP2014033050A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Toshiba Corp | インプリントシステム及びインプリント方法 |
| US9269712B2 (en) * | 2013-10-31 | 2016-02-23 | Stmicroelectronics, Inc. | Semiconductor device providing enhanced fin isolation and related methods |
| JP6315963B2 (ja) | 2013-12-09 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
| JP6413533B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2018-10-31 | 大日本印刷株式会社 | 物品の品質判別方法、物品の品質判別システムおよび物品の製造方法 |
-
2016
- 2016-07-12 JP JP2016137957A patent/JP6706983B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-29 US US15/637,421 patent/US10871709B2/en active Active
- 2017-07-04 KR KR1020170084715A patent/KR102172881B1/ko active Active