JP2018010942A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記モールドを吸着することで保持するモールド保持部と、前記基板を吸着することで保持する基板保持部と、前記モールド保持部に保持された前記モールドのパターン領域を視野に含むように構成され、押印動作の間に前記モールドと前記インプリント材とが接触する面の画像を撮像できるように配置されている撮像部と、前記モールド保持部による前記モールドの吸着圧、及び、前記基板保持部による前記基板の吸着圧の少なくとも一方を計測する計測部と、前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離すための離型動作の後に、前記撮像部で撮像された画像と前記計測部で計測された前記吸着圧とに基づいて、前記離型動作において前記モールドが前記基板上の硬化したインプリント材から引き離されたかどうかを判定する制御部と、を有し、前記制御部は、前記離型動作が正常に行われていない場合、前記離型動作の後に、前記撮像部で撮像された画像と前記計測部で計測された吸着圧とに基づいて、前記離型動作の異常を分類することを特徴とする。

Claims (10)

1. モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
   前記モールドを吸着することで保持するモールド保持部と、
   前記基板を吸着することで保持する基板保持部と、
   前記モールド保持部に保持された前記モールドのパターン領域を視野に含むように構成され、押印動作の間に前記モールドと前記インプリント材とが接触する面の画像を撮像できるように配置されている撮像部と、
   前記モールド保持部による前記モールドの吸着圧、及び、前記基板保持部による前記基板の吸着圧の少なくとも一方を計測する計測部と、
   前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離すための離型動作の後に、前記撮像部で撮像された画像と前記計測部で計測された前記吸着圧とに基づいて、前記離型動作において前記モールドが前記基板上の硬化したインプリント材から引き離されたかどうかを判定する制御部と、
   を有し、
   前記制御部は、前記離型動作が正常に行われていない場合、前記離型動作の後に、前記撮像部で撮像された画像と前記計測部で計測された吸着圧とに基づいて、前記離型動作の異常を分類することを特徴とするインプリント装置。
2. 前記制御部は、前記画像の明るさが基準よりも暗い場合には、前記モールドが前記基板上の硬化したインプリント材から引き離されていないと判定することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記制御部は、
   前記画像の明るさが基準よりも暗く、且つ、前記離型動作が行われた後に前記計測部で計測された吸着圧に異常がない場合には、前記モールド保持部及び前記基板保持部の少なくとも一方の駆動制御の異常が生じていると判定し、
   前記画像の明るさが基準よりも暗く、且つ、前記離型動作の後に前記計測部で計測された吸着圧に異常がある場合には、前記モールド保持部からの前記モールドの脱離又は前記基板保持部からの前記基板の脱離を含むデチャックが生じていると判定し、
   前記画像の明るさが基準よりも明るく、且つ、前記離型動作の後に前記計測部で計測された吸着圧に異常がない場合には、前記離型動作の異常が生じていないと判定し、
   前記画像の明るさが基準よりも明るく、且つ、前記離型動作の後に前記計測部で計測された吸着圧に異常がある場合には、前記基板保持部による前記基板の保持の異常が生じていると判定することを特徴とする請求項１又は２に記載のインプリント装置。
4. 前記制御部は、
   前記画像の明るさが基準よりも暗く、且つ、前記離型動作の後に前記計測部で計測された前記モールドの吸着圧に異常がある場合には、前記モールド保持部からの前記モールドの脱離が生じたと判定し、
   前記画像の明るさが基準よりも暗く、且つ、前記離型動作の後に前記計測部で計測された前記基板の吸着圧に異常がある場合には、前記基板保持部からの前記基板の脱離が生じたと判定することを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
5. 前記基板保持部による前記基板の保持の異常は、前記基板保持部に保持された前記基板の位置ずれ、又は、前記基板保持部の周囲を取り囲む保護板への前記基板の乗り上げを含むことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
6. 前記制御部は、前記離型動作の異常としてデチャックが生じていると判定した場合には、当該デチャックを解消するためのリカバリ処理を自動で行うことを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
7. 前記制御部は、前記離型動作の異常として前記基板保持部による前記基板の保持の異常が生じていると判定した場合には、前記インプリント処理を停止することを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
8. 前記制御部は、前記基板保持部による前記基板の保持の異常が生じていることをユーザに通知することを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
9. 前記制御部は、前記離型動作の異常の種類を分類した後に、前記異常の種類に応じた動作が行われるように制御することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
10. 請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。