JP2018006497A - 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 - Google Patents
樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018006497A JP2018006497A JP2016129604A JP2016129604A JP2018006497A JP 2018006497 A JP2018006497 A JP 2018006497A JP 2016129604 A JP2016129604 A JP 2016129604A JP 2016129604 A JP2016129604 A JP 2016129604A JP 2018006497 A JP2018006497 A JP 2018006497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- substrate
- mold
- sealing
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 149
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 149
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 120
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 393
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 61
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 86
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 72
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 270
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 15
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 14
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- -1 sheet Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/565—Moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
- B29C2043/181—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles encapsulated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C2043/3602—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles with means for positioning, fastening or clamping the material to be formed or preforms inside the mould
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
- B29C2043/5833—Measuring, controlling or regulating movement of moulds or mould parts, e.g. opening or closing, actuating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
- B29C2043/5891—Measuring, controlling or regulating using imaging devices, e.g. cameras
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】樹脂成形装置は、互いに対向して配置される第1の型23及び第2の型12を有する成形型24と、第1の型23の型面に基板を供給する基板供給機構10と、少なくとも基板を含む位置決め対象物5を位置決めする位置決め機構と、成形型24を型締めする型締機構と、成形型24が型開きされた状態で、第1の型23と第2の型12との間に配置可能なカメラ11と、カメラ11により撮像された画像データに基づき処理を行うプロセッサとを備え、第1の型23は、カメラ11の撮像により認識可能な基準マーク29、30を有し、カメラ11は、位置決めされた対象物5と基準マーク29、30とを撮像し、プロセッサは、カメラ11により撮像された対象物5と基準マーク29、30との画像データに基づいて、対象物5が正常に位置決めされているか否かを判断する。
【選択図】図4
Description
〔実施形態1〕
本発明に係る実施形態1の樹脂成形装置の構成について、図1を参照して説明する。図1に示される樹脂成形装置1は、例えば、圧縮成形法を使用した樹脂成形装置である。樹脂材料として流動性樹脂である液状樹脂を使用する例を示す。
図1〜図2を参照して、樹脂成形装置1において、基板に装着されたチップを樹脂成形して樹脂封止する動作について説明する。樹脂成形装置1の動作として成形モジュール3Bを使用する場合について説明する。
図3〜図5を参照して、成形型24に供給された封止前基板5の位置決め動作と、供給された封止前基板5が正常に位置決めされているか否かを検証する動作とについて説明する。本実施形態においては、成形型24の上型23に封止前基板5を供給する場合を示す。
機能ブロック図である図6とフローチャートである図7を用いて、上述した基板の位置決め検証動作における基本的なデータ処理の一例について説明する。
本実施形態では、樹脂成形装置1は、互いに対向して配置される第1の型である上型23及び第2の型である下型12を有する成形型24と、上型23及び下型12のいずれか一方の型である上型23の型面に基板を供給する基板供給機構10と、少なくとも基板を含む位置決め対象物である封止前基板5を型面において位置決めする位置決め機構33、34と、成形型24を型締めする型締機構13と、成形型24が型開きされた状態で、上型23と下型12との間に配置可能なカメラ11(C)と、カメラ11(C)により撮像された画像データに基づき処理を行うプロセッサ21(P)とを含む構成としている。
〔実施形態2〕
以下、実施形態2において、封止前基板5が正常に位置決めされているか否かを検証する動作を説明する。本実施形態では、例えば、図8(a)に示されるように、封止前基板5のX方向に沿う端部の任意の位置P3及びP4と基準マーク29との間の距離Y3及びY4をそれぞれ計測する。同様にして、封止前基板5のY方向に沿う端部の任意の位置P5及びP6と基準マーク30との間の距離X5及びX6をそれぞれ計測する。これらの4点の位置と基準マークとの間の距離を計測することによって、封止前基板5が、X方向、Y方向及びθ方向に正常に位置決めされているか否かを検証することができる。
本実施形態によれば、封止前基板5のX方向に沿う端部の位置P3及びP4と基準マーク29との間の距離Y3及びY4をそれぞれ計測する。同様にして、封止前基板5のY方向に沿う端部の位置P5及びP6と基準マーク30との間の距離X5及びX6をそれぞれ計測する。これらの計測された距離Y3、Y4、X5、X6と予め設定された許容範囲とを比較することによって、封止前基板5が、X方向、Y方向及びθ方向に正常に位置決めされているか否かを検証することができる。したがって、位置決めに起因する成形不良の発生を低減することができる。
〔実施形態3〕
〔実施形態4〕
〔実施形態5〕
2 基板供給・収納モジュール
3A、3B、3C 成形モジュール
4 樹脂供給モジュール
5 封止前基板(基板、位置決め対象物)
6 封止前基板供給部
7 封止済基板
8 封止済基板収納部
9 基板載置部
10 基板搬送機構
11 カメラ
12 下型(第2の型、第1の型)
13 型締機構
14 キャビティ
15 離型フィルム供給機構
16 ディスペンサ
17 樹脂搬送機構
18 樹脂吐出部
19 制御部
20 メモリ
21 プロセッサ
22 チップ
23 上型(第1の型、第2の型)
24 成形型
25 離型フィルム
26 液状樹脂
27 硬化樹脂
28 成形品
29、30 基準マーク
31、32 位置決めピン(位置決め部材)
33、34 位置決め機構
35 位置合わせ用のマーク
36 コの字型の基準マーク(基準マーク)
37、38 矩形の基準マーク(基準マーク)
S1、R1、M1、C1 所定位置
P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8,P9、P10 封止前基板の端部における位置
Y1、Y3、Y4、Y7、Y8 計測された距離
X2、X5、X6、X7、X8 計測された距離
L1、L2 計測された距離
A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A8、A9、A10 領域
D1、D2、D3、D4,D5、D6、D7、D8 画像データ
T0 基準値
d 許容値
(T0−d)、(T0+d):許容限界値
C カメラ
P プロセッサ
M メモリ
O 情報出力部
Claims (8)
- 互いに対向して配置される第1の型及び第2の型を有する成形型と、
前記第1の型及び前記第2の型のいずれか一方の型の型面に基板を供給する基板供給機構と、
少なくとも前記基板を含む位置決め対象物を前記型面において位置決めする位置決め機構と、
前記成形型を型締めする型締機構と、
前記成形型が型開きされた状態で、前記第1の型と前記第2の型との間に配置可能なカメラと、
前記カメラにより撮像された画像データに基づき処理を行うプロセッサとを備え、
前記一方の型は、前記カメラの撮像により認識可能な位置決め用の基準マークを有し、
前記カメラは、前記位置決め機構により位置決めされた前記位置決め対象物と前記基準マークとを撮像し、
前記プロセッサは、前記カメラにより撮像された前記位置決め対象物と前記基準マークとの画像データに基づいて、前記位置決め対象物が正常に位置決めされているか否かを判断する、樹脂成形装置。 - 請求項1に記載の樹脂成形装置において、
前記一方の型は、前記位置決め対象物の接触による位置決めに用いられる位置決め部材を有し、
前記位置決め機構は、前記位置決め対象物を前記位置決め部材に接触させることにより位置決めを行う、樹脂成形装置。 - 請求項2に記載の樹脂成形装置において、
前記プロセッサは、前記カメラにより撮像された前記位置決め対象物と前記基準マークとの画像データに基づいて、前記位置決め対象物と前記基準マークとの距離に関する情報を求め、予め設定された許容範囲と比較して、前記位置決め対象物が正常に位置決めされているか否かを判断する、樹脂成形装置。 - 請求項2に記載の樹脂成形装置において、
前記位置決め対象物が前記位置決め部材の少なくとも一部に接触していないと前記プロセッサが判断した場合に、少なくも1回は前記位置決め機構が再度位置決め動作を行う、樹脂成形装置。 - 互いに対向して配置される第1の型及び第2の型を有する成形型のいずれか一方の型の型面に基板を供給する基板供給工程と、
少なくとも前記基板を含む位置決め対象物を前記型面において位置決めする位置決め工程と、
前記位置決め工程において位置決めされた前記位置決め対象物と、前記一方の型に設けられた基準マークとを撮像する撮像工程と、
前記撮像工程において得られた前記位置決め対象物と前記基準マークとの画像データに基づいて、前記位置決め対象物が正常に位置決めされたか否かを判断する判断工程と、
前記判断工程において、前記基板が正常に位置決めされていると判断した場合は前記成形型を型締めして樹脂成形する樹脂成形工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。 - 請求項5に記載の樹脂成形品の製造方法において、
前記位置決め工程は、前記一方の型に設けられた位置決め部材に、前記位置決め対象物を接触させることにより位置決めを行う、樹脂成形品の製造方法。 - 請求項6に記載の樹脂成形品の製造方法において、
前記判断工程は、前記位置決め対象物と前記基準マークとの距離に関する情報を求め、予め設定された許容範囲と比較して、前記位置決め対象物が正常に位置決めされているか否かを判断する、樹脂成形品の製造方法。 - 請求項6に記載の樹脂成形品の製造方法において、
前記判断工程において前記位置決め対象物が前記位置決め部材の少なくとも一部に接触していないと判断した場合に、少なくも1回は前記位置決め工程の位置決め動作を再度行う、樹脂成形品の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016129604A JP6549531B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
CN201710351162.3A CN107553799B (zh) | 2016-06-30 | 2017-05-18 | 树脂成型装置及树脂成型品的制造方法 |
KR1020170064141A KR102050134B1 (ko) | 2016-06-30 | 2017-05-24 | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 |
TW106119140A TWI641091B (zh) | 2016-06-30 | 2017-06-08 | Resin molding device and method for producing resin molded article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016129604A JP6549531B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018006497A true JP2018006497A (ja) | 2018-01-11 |
JP6549531B2 JP6549531B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=60949851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016129604A Active JP6549531B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6549531B2 (ja) |
KR (1) | KR102050134B1 (ja) |
CN (1) | CN107553799B (ja) |
TW (1) | TWI641091B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200063047A (ko) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 토와 가부시기가이샤 | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 |
US11469344B2 (en) | 2020-01-31 | 2022-10-11 | Nichia Corporation | Method of producing light-emitting device |
JP7477404B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-05-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114347341B (zh) * | 2021-12-31 | 2024-04-09 | 佛山市国星光电股份有限公司 | 一种分立器件塑封装置及塑封方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05109797A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JP2008132730A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Apic Yamada Corp | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 |
JP2010080630A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Canon Inc | 押印装置および物品の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3214788B2 (ja) * | 1994-11-21 | 2001-10-02 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 |
JPH1197510A (ja) * | 1997-09-18 | 1999-04-09 | Toshiba Corp | アライメント方法 |
JP2003203950A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Toshiba Corp | 半導体装置製造装置 |
JP3865397B2 (ja) * | 2004-05-25 | 2007-01-10 | 住友ベークライト株式会社 | フレキシブルプリント配線板の位置合せ方法及びその装置 |
JP5128095B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2013-01-23 | Towa株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形装置 |
JPWO2010082298A1 (ja) * | 2009-01-13 | 2012-06-28 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び転写方法 |
KR20120000846A (ko) * | 2010-06-28 | 2012-01-04 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼의 정렬 방법 및 공정 모니터링 방법 |
JP5024494B1 (ja) * | 2012-03-05 | 2012-09-12 | 富士ゼロックス株式会社 | 搭載装置、基板装置の製造方法 |
-
2016
- 2016-06-30 JP JP2016129604A patent/JP6549531B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-18 CN CN201710351162.3A patent/CN107553799B/zh active Active
- 2017-05-24 KR KR1020170064141A patent/KR102050134B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-08 TW TW106119140A patent/TWI641091B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05109797A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JP2008132730A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Apic Yamada Corp | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 |
JP2010080630A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Canon Inc | 押印装置および物品の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200063047A (ko) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 토와 가부시기가이샤 | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 |
KR102288581B1 (ko) | 2018-11-27 | 2021-08-11 | 토와 가부시기가이샤 | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 |
US11469344B2 (en) | 2020-01-31 | 2022-10-11 | Nichia Corporation | Method of producing light-emitting device |
JP7477404B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-05-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107553799A (zh) | 2018-01-09 |
KR20180003424A (ko) | 2018-01-09 |
TWI641091B (zh) | 2018-11-11 |
JP6549531B2 (ja) | 2019-07-24 |
CN107553799B (zh) | 2019-10-22 |
TW201803044A (zh) | 2018-01-16 |
KR102050134B1 (ko) | 2019-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102050134B1 (ko) | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
KR100261935B1 (ko) | 전자다이 자동배치 방법 및 장치 | |
JP7162711B2 (ja) | 試験用キャリア | |
CN109716503B (zh) | 保持装置、检查装置、检查方法、树脂封装装置、树脂封装方法及树脂封装品的制造方法 | |
KR101042654B1 (ko) | 전자부품 시험장치의 캘리브레이션 방법 | |
JPWO2006059553A1 (ja) | 電子部品ハンドリング装置および不良端子判断方法 | |
TWI683374B (zh) | 晶粒接合裝置及半導體裝置之製造方法 | |
JP7379267B2 (ja) | 半導体パッケージの配線補正方法 | |
JP2007333697A (ja) | 電子部品試験装置のキャリブレーション方法 | |
KR101237056B1 (ko) | 반도체 패키지 집합체 정렬방법 | |
JP2013125866A (ja) | 部品搭載方法及び装置及びプログラム | |
KR101087697B1 (ko) | 와이어 검사형 디스펜싱 방법 및 와이어 검사형 디스펜서 | |
KR20100095736A (ko) | 반도체 패키지 가공을 위한 레이저 빔 조사 위치 보정방법 | |
JPWO2009096119A1 (ja) | 電子部品ハンドリング装置および電子部品の位置検出方法 | |
TWI725451B (zh) | 樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法 | |
JP4402810B2 (ja) | 電子部品搭載機 | |
JP2004310343A (ja) | 樹脂封止済基板の外観検査方法 | |
KR20230103832A (ko) | 다이 본딩 설비 및 다이 본딩 설비의 구동 편차 보정 방법 | |
KR20100003432A (ko) | 반도체 칩 패키지 영상 검사를 위한 촬영 방법 | |
JP2023089883A (ja) | 樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 | |
JP4948533B2 (ja) | 電子部品試験装置のキャリブレーション方法 | |
JP2021112905A (ja) | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 | |
KR20090020731A (ko) | 반도체 소자 두께 측정 장치 및 이를 구비하는 수지 몰딩기 | |
JPH05109797A (ja) | 半導体樹脂封止装置 | |
JP2005285962A (ja) | 半導体部品検査方法および半導体部品検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180628 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6549531 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |